c t u a t o r s WEB http://www.sigma-koki.com/ E-mail sales@sigma-koki.com 超音波アクチュエータ干渉計アプリケーションシステム PKA 超音波アクチュエータガイダンス高分解能と高速移動を両立し、遠隔操作も可能な超音波アクチュエータです。コンパクトな上、駆動時の静音化を実現しました。摩擦による駆動方式を採用しているため電源OFF時でも位置を保持することができます。光学素子特徴ホルダー ■小型、コンパクト電磁モータと比較して小型なモータですので、コンパクトなシステム光源の構成が可能です。手動タイプとほぼ同等程度のサイズで遠隔操作が可能で、密集ベースしたスペースでの位置調整に適しています。手動ステージ ■微小調整アクチュエータスイッチにより粗動・微動の切替えが可能で、微小な角度・位置専用2軸コントローラ（PKA-ID-02）のSPD SEL HI/LOW切替え調整がスムーズに行えます。自動ステージ ■動作静粛性 PKAシリーズは超音波モータを使用しているので、駆動音は摩擦索引音のみで極めて静粛です。駆動方式超音波モータ駆動システムのPKAシリーズでは摩擦駆動方式を用いてスライダー、アクチュエータの駆動を実現しております。摩擦ヘッドマイクロメータヘッド移動体差動マイクロヘッド振動子微調ネジ超音波モータの先端（摩擦ヘッド）が、円軌道を描くように振動子を制御し、加圧接触させた移動体を動作させることにより、テーブル摩擦ヘッドの動き PKA 面等が駆動します。オプトマイク ACT スライダーカタログコード ◦剛性、真直性に優れたクロスローラーガイド機構を採用したスライダー型アクチュエータです。 ◦小型超音波モータを駆動源にしながら、 20Nの高耐荷重を確保しました。 W8009 外形図 PKA40-15X 56 40 16 16 20 6-M3 深4 20 32 40 ◦テーブルサイズ□40mm、□60mmのラインナップがあります。 4-M2 深3 4-φ3.5 φ6ザグリ深3 80,000 80,000 テーブル面サイズ〔mm〕 40×40 60×60 移動量〔mm〕 15 20 分解能〔μm〕 2以下 2以下保持力〔N〕水平耐荷重〔N〕質量〔kg〕納期の目安 1 1 20 （約2kgf） 20 （約2kgf） 0.1 0.2 76 60 25 20 25 6-M4 深8 ★印深4 ★ 25 価格〔￥〕 PKA60-20X 25 PKA60-20X ★ 4-M2 深3 ケーブル長2.5m 13 PKA40-15X 20 仕様品番 60 PKA60-20X 1 PKA40-15X 1 13 12.5 ケーブル長2.5m 12.5 A 4-φ4.5 φ8.5ザグリ深3 H012 TOKYO TEL.03-5638-6551 FAX.03-5638-6550 OSAKA TEL.06-6307-4835 FAX.06-6307-4834 KYUSHU TEL.092-481-4300 FAX.092-481-4310 遠隔操作ミラーホルダーカタログコード W8010 ◦高安定性を追求したミラーホルダー（MHGシリーズ）をベースに、コンパクトな超音波アクチュエータを搭載しました。アプリケーションシステム仕様品番 PKA-25.4MH 2-M6P1 φ8ザグリ価格〔￥〕 188,000 適応素子サイズ〔mm〕 25.4 21 外形図適応素子厚さ〔mm〕 3～5 9 28 56 φ25.4 φ22 ケーブル長 2.5m 56 28 可動軸数 2 移動量〔° 〕 ±3 分解能〔″〕 0.5以下質量〔kg〕 0.4 納期の目安ミラー厚3∼5 干渉計光学素子ホルダー光源ベース 52.5 小型アクチュエータカタログコード W8011 ◦コンパクトな外形ながら、ボールネジとの組合せで高い推力を兼ね備えています。手動ステージアクチュエータ ◦マイクロメータヘッド（移動量：13mm）との互換性があり、自動化することができます。 ◦高速移動を実現（約0.5㎜/sec）します。自動ステージ仕様外形図移動量13 9.5 41.7 φ9.5 M9.5 P0.5 19 61 5.5 品番 PKA-13ACT 価格〔￥〕 88,000 移動量〔mm〕 13 分解能〔μm〕 1以下保持力〔N〕ケーブル長2.5m 索引 30 最大移動速度〔mm/s〕 0.5以上質量〔kg〕 0.2 納期マイクロメータヘッド差動マイクロヘッド微調ネジ専用2軸コントローラカタログコード W8012 ◦ジョグスティックによりマニュアル操作で簡単に動作させることが可能です。 ◦PCとRS232Cを介して接続し、 PCからの簡単なコマンドにより自動制御することが可能です。ご案内オプトマイク ACT 注意 ▶計測制御用ソフトウエアSGTERM、 SGEMCSに対応しています。 Ⅰ110、 Ⅰ111 ▶WEBより以下のサンプルプログラムをダウンロード可能です。 ◦SGCommander 32ビット版Windows®専用（RS232Cのみ） ◦SGCommander 32/64ビット版Windows®用（RS232Cのみ） ◦LabVIEW RS232C用（v.5.1/v.6i/v7.1/v.8.6/v.2010用） ◦LabVIEW GP-IB用（v.5.1/v.6i/v7.1/v.8.6/v.2010用） ▶PKA-ID-02の電源はDC24V 1.8Aです。 PAT-001-POW1 （ACアダプタ）をご購入いただく、もしくはお客様によりご用意いただく必要があります。仕様外形図 PKA-ID-02 POWER Axis1 JOG1+ JOG1JOG1+ 100 PKA RS232C 品番 PKA-ID-02 価格〔￥〕 80,000 可動軸数 Axis2 JOG1SPD SEL DC+24V HI LOW 2 インターフェイス RS232C マニュアル操作ジョグスティック DC24V 1.8A 電源電圧 142 消費電流〔A〕 9 50 1.8 32 質量〔kg〕 0.53 納期の目安 9 4-M3 固定用タップ 21 100 21 コマンド一覧命令名コマンド絶対座標パルス数設定命令 A 絶対座標値を指定します内容論理原点設定命令命令名コマンド R 座標値をリセットします内容相対移動パルス数設定命令 M 相対移動量を指定しますステータス確認命令 Q 座標値等ステータスを返します駆動命令 G 駆動開始しますステータス確認命令2 ! B （Busy） /R （Ready）を返します論理原点復帰命令 N 論理原点へ復帰します内部情報確認命令 ? 停止命令 L 移動停止します速度設定命令 S 内部情報を返します SPDSELスイッチがLOW側の場合の 1ステップ辺りのパルス数を設定します H013