200 Sources lumineuses DOCUMENTATION TECHNIQUE Simulateurs solaires Oriel 1600 W • Simulateurs solaires Oriel de la plus haute intensité • Faisceau de sortie hautement collimaté, de grande taille (jusqu'à 254 x 254 cm) • Filtres à masse d'air optionnels permettant de modifier les spectres de sortie • Diverses configurations de faisceau sont possibles Ce sont nos simulateurs solaires de plus haute intensité. Ils produisent un faisceau de sortie très uniforme, hautement collimaté, de diverses tailles allant de 51 x 51 mm à 254 x 254 mm, proche du rayonnement solaire. Ajoutez un filtre de masse d'air (cf. page 206) à ces sources et vous pourrez simuler un large éventail de conditions solaires. Nous proposons des simulateurs à spectre complet et des simulateurs solaires à UV. La figure 1 montre la sortie spectrale des deux types de simulateurs. 35 SIMULATEURS SOLAIRES ILLUMINATEURS DE FIBRES & DE MONOCHROMATEURS Simulateurs solaires UV Ces modèles produisent des UV très haute intensité et peu de VIS et d'IR. Soyez très prudent quand vous travaillez avec ces sources. Le tableau 2 montre la sortie typique (W·m-2) du simulateur solaire UV 92291, de taille 50,8 x 50,8 mm. Tableau 2 : Sortie typique du simulateur solaire UV 92291 Sortie classique (W·m-2) 30 25 Irradiance (W.m-2.nm-1) SOURCES INCANDESCENTES LAMPES À ARC SOURCES AU DEUTÉRIUM SOURCES D’ÉTALONNAGE Simulateur solaire 92193. 20 Simulateur solaire ultraviolet Simulateur solaire spectre complet 15 10 5 0 250 Avec ces filtres UV optionnels UVC inférieur à 280 nm UVB entre 280 et 320 nm UVA entre 320 et 400 nm Filtre d'atténuation atmosphérique 0 48 1040 Filtre d'atténuation 0 atmosphérique + filtre de blocage passebande VIS-IR 40 660 Filtre de blocage UVC 0 142 1063 Filtre de blocage UVB/C 0 0,43 836 Éclairement non filtré 369 1150 70 Composants d'un simulateur solaire 750 1250 1750 2250 Boîtier de l'illuminateur Longueur d’onde (nm) Figure 1 : Comparaison des sorties spectrales d'un simulateur solaire 1600 W à spectre complet et d'un simulateur solaire UV 1600 W. Simulateurs solaires à spectre complet Nous proposons 6 modèles de simulateurs solaires à spectre complet 1600 W : cinq produisent des faisceaux de sortie collimatés et le dernier produit un faisceau divergent d'une taille allant jusqu'à 305 x 305 mm. Pour ce modèle, nous avons remplacé la lentille de collimation par une fenêtre de sortie. Le tableau 1 montre la sortie typique de nos modèles collimatés, dans le plan éclairé de départ. Le boîtier de l'illuminateur est un étui à température contrôlée, équipé d'un dispositif de verrouillage de sécurité et d'un système d'inhibition thermique afin d'assurer la sécurité de l'opérateur et la sûreté du système. Un ventilateur intégral et un flux d'air sur le filtre fournissent le refroidissement forcé permettant de garder la lampe, le système optique et le boîtier à une température de fonctionnement sûre. Lampe à arc au xénon 1000 W Les deux familles de simulateurs solaires utilisent une lampe sans ozone dont la sortie en dessous de 260 nm est négligeable. Même sans la sortie UV profond, ces sources émettent des niveaux dangereux de rayonnement UV. ACCESSOIRES INSTRUMENTS DE PHOTOLITHOGRAPHIE Tableau 1 : Sortie typique des simulateurs solaires à spectre complet de 51 x 51 mm à 203 x 203 mm Sortie classique (W·m-2) Avec ce filtre à masse d'air optionnel 51x51 mm de 250 à 2500 nm de 250 à 1100 nm de 250 à 2500 nm 101,6x101,6 mm de 250 à 1100 nm de 250 à 2500 nm 152,4x152,4 mm de 250 à 1100 nm de 250 à 2500 nm 203x203 mm AM1 Direct 14917 10608 3978 2825 1820 1300 1105 780 AM1,5 Direct 13470 9555 3595 2548 1650 1170 985 702 de 250 à 1100 nm AM2 Direct 12675 8840 3380 2365 1560 1092 936 650 AM1,5 Global 9295 7940 2485 2120 1138 975 683 585 AM0 17428 12740 4645 3430 2130 1560 1275 930 Éclairement non filtré 22256 17810 5935 4745 2730 2185 1625 1300 Téléphone : +33 (0)1.60.91.68.68 • Télécopie : +33 (0)1.60.91.68.69 Sources lumineuses Spécifications L'alimentation 69922 est hautement régulée et conserve une sortie lumineuse très stable. Pour les applications dont la stabilité à long terme est critique (> 8 heures), commandez le contrôleur numérique d'exposition 68951 (cf. page 208). Le 69922 possède une interface RS-232 pour ordinateur (et IEEE-488 en option) ; vous pouvez définir les paramètres de la lampe, contrôler la sortie lumineuse et allumer/éteindre la lumière à distance. Compte tenu de la très haute intensité de ces sources, nous vous recommandons de faire fonctionner les lampes à distance. Puissance 1600 W Type de lampe Arc court au xénon <1 % RMS Simulateur solaire entrée 220 V continu, 50/60 Hz, 15 A Régulation en ligne 0,01 % Références pour commander Simulateurs solaires Veuillez spécifier la configuration ascendante, descendante ou latérale du faisceau à la commande. Type de simulateur Taille du faisceau du simulateur solaire mm Référence Simulateur solaire à spectre complet 51x51 92191 92192 Obturateur électronique 152x152 92193 203x203 92194 Nos simulateurs solaires comportent un obturateur électronique. Vous pouvez le commander en externe depuis le panneau de commande numérique sur le boîtier de l'illuminateur, ou via un commutateur manuel, un système de fermeture par contact ou une entrée de niveau logique. Pour le contrôle d'exposition automatisé, commandez l'horloge numérique 68945 (cf. page 208). Divergence jusqu'à 305x305 92190 Certification Simulateur solaire UV 51x51 92291 102x102 92292 152x152 92293 203x203 92294 254x254 92295 LAMPES À ARC 102x102 SOURCES AU DEUTÉRIUM Pour les simulateurs solaires UV, nous remplaçons le miroir aluminisé par un miroir dichroïque, qui transmet la plage entre 280 et 400 nm et réduit nettement le visible et l'IR. Vous pouvez altérer davantage la sortie du simulateur au moyen de filtres de blocage UV placés derrière le miroir dichroïque. ±5 % Fluctuation de l'intensité lumineuse SOURCES D’ÉTALONNAGE Miroir dichroïque UVB/UVA (uniquement pour les simulateurs solaires UV) Uniformité du faisceau DOCUMENTATION TECHNIQUE Alimentation 201 Lampe de rechange Précautions de sécurité Description 062711 1600 W, Xe, sans ozone Accessoires Référence Description 92000 Plan de garantie étendue 68955 Commutateur à distance Pour plus d'informations, consultez notre site Internet. ILLUMINATEURS DE FIBRES & DE MONOCHROMATEURS Les sources émettent des niveaux dangereux de rayonnement UV, nocifs pour les yeux et la peau. Le personnel travaillant à proximité de ces sources doit porter un masque et des gants de protection UV (cf. page 246). Toutes les zones exposées de la peau doivent être couvertes. Référence SOURCES INCANDESCENTES Ces systèmes répondent aux exigences IEC 904 – 9 de Classe B, mais ne sont pas livrés certifiés. SIMULATEURS SOLAIRES INSTRUMENTS DE PHOTOLITHOGRAPHIE ACCESSOIRES e - m a i l : f r a n c e @ n e w p o r t - f r. c o m • w e b : w w w. n e w p o r t . c o m
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