ほとんどのガス流量測定に使用できる TH シリーズ サーマルフローメータ 概要 THシリーズサーマルフローメータは熱伝達理論にもとづいた 東京計装オリジナルの気体用熱式流量計です。 従来の気体用の流量計にない数多くの特長で、幅広いご支持 をいただいております。 センサ、コンバータとも各種用途に合わせてラインアップさ れており、最適な組み合わせを選択できます。 特長 (1) 高精度 独自の計測理論で各種ガスの流量を± 1.0%F.S.*1 の高 精度で計測します。 (2) ワイドレンジアビリティ 0.5m/sの低流速域でも十分な実用計測精度があります。 従来のオリフィス式や渦式流量計での気体流量計測の問 題点をクリアしました。 (3) 低圧力損失 流路には金属細管センサがあるだけです。圧力損失はほ とんどありません。 (4) 高耐久 可動部のないセンサ構造で長期的安定性に優れます。 (5) 圧力変化の影響が非常に小さい 計測理論上、ガスの圧力変化は流量精度に影響しずら い。 (6) 温度変化の影響が非常に小さい ガスの温度変化にもほとんど影響されません。温度が大 きく変化するプロセスでは温度信号による自動補正も可 能です。 (7) 質量流量計測 温度補正機能(オプション)を付加することにより、温 度の影響を受けない質量流量計測を行うことができま す。 (8) ガス種類を選ばない 理論的分析の確立した計測理論で各種ガスの計測ができ ます。 (9) コストパフォーマンス 挿入型センサも準備されています。大口径でも手軽に流 量計測できます。 (10)豊富なコンバータユニット 目的、用途に合わせて選択できる3種類のコンバータが 用意されています。 (11)高、低温タイプ 最低− 196℃、最高+ 550℃までカバーできる高・低温 タイプもあります。従来の流量計では困難であったアプ リケーションも OK。 主な用途 ・半導体製造設備ガスライン ・医療用酸素供給ライン、システム ・空調設備 ・一般工業プロセス、ユーティリティライン ・高温乾燥空気ライン ・燃焼ガスライン ・低圧気体ライン ・ごみ焼却設備ライン ・ 電力プラントライン ・ 自動車関連計測ライン ・その他各種気体流量計測ライン *1 一部コンバータでは± 2.0%F.S. となります。 TG-ES395-13 改訂 2014.07 K 5版 2007.12 TH THERMAL FLOWMETER 製品ラインアップ 各種用途に合わせて選択できるセンサ、コンバータをラインアップしました。 ■一般用途センサ 空調、一般ユーティリティライン、医療用酸素ライン …各種用途にあった各種センサがあります。 TH-1100 挿入形 TH-1700 小口径形 TH-1200 フランジ形 TH-1400 挿入長可変形 TH-1800 整流器組込み形 ■パージ機能付センサ ゴミ焼却プラントの各ラインやその他ダスト環境下の 流量計測に最適です。 TH-1100-SP 挿入形 (最高温度:240℃) TH-3200-SP 挿入形 (最高温度:550℃) ■高、低温タイプセンサ 低温用はマイナス196℃まで、高温用は550℃まで計測 できます。いままでの流量計ではカバーできなかった アプリケーションもお任せ下さい。 TH-3100, TH-3200, TH-3300 挿入形 ■高品位センサ(HQシリーズ) 半導体製造プロセスのガスラインでは、ノンパーティ クル、超低リークが流量計に求められる条件です。HQ シリーズ高品位センサはこの厳しい要求に応えます。 接ガス金属部には複合電解研磨処理を施し、シールは 金属シールを採用。配管挿入形TH-1100-HQと配管溶 接形TH-1500-HQがあります。 TH-1100-HQ 挿入形 TH-1500-HQ 配管溶接形 ■一般用途、高品位センサ用コンバータ 目的、用途に合わせて3タイプのコンバータから選択で きます。 TRX-600 一般、防水フィールドマウント TRX-700 インテリジェント、パネル取付け TRX-900 インテリジェント、防水フィールドマウント 2 TOKYO KEISO CO., LTD. TG-ES395-13 TH THERMAL FLOWMETER 組み合わせ使用例 コンバータ 形 式 機 能 流量表示 積算表示 ○ ○ 温度補正 アナログ スケールド デジタル 流量警報 機 能 出 力 パルス出力 出 力 ○ ○ ○ 精 度 %F.S. △ △ ±2.0% ○ ○ ±1.0% ○ ○ ±1.0% (RS-485) TRX-600 ○ ○ ○ ○ ○ (RS-485) TRX-700 ○ ○ ○ ○ ○ (RS-485) TRX-900 ○:標準装備 △:オプション ×:不可 TH-3100 TH-3200 TH-3300 TH-1100 TH-1200 TH-1400 TH-1100-SP TH-1700 TH-3200-SP TH-1800 TH-1100-HQ TH-1500-HQ 測定原理 温度差△T 加熱した金属細管を気流中におくとき、単位時間に金属細管が失う熱 加熱電流I 量 H は質量流速ρ U と加熱された金属細管と気体の温度差△ T の関 数となります。 H = f(ρ U・△ T) ρ:密度 クロメル アルメル 一方、金属細管がジュール熱により発生する熱量 W は金属細管電圧 V、電流Iの積の関数で表されます。 W = f(V・I) 金属細管が熱的に平衡状態にあるとき、発熱量と流体により奪われる 熱量は等しいので△Tを電子回路により一定となるように制御すれば 質量流速ρ U は電圧 V、電流Iより求められます。 ρ U = f(V・I) 流 速 流量 Q は配管またはダクトの断面積を A とし、平均質量流速をρ U とすれば、 Q =ρ U・A 非加熱細管 熱電対 加熱細管 となります。 TG-ES395-13 TOKYO KEISO CO., LTD. 3 TH THERMAL FLOWMETER 一般用途センサ TH-1100 アウトライン TH-1100は、軽量、コンパクトな配管挿入形のセンサです。大口径プ ロセスでも比較的低コストで流量計測ができます。一般配管のほか、 角ダクトの流量計測も可能です。 形式コード 選択項目 形式コード TH−11 ① ② − ③ ④ ⑤ 50A(2B) 5 ① プロセス 配管口径 内 容 6 65A(2-1/2B) 7 80A(3B) 8 100A(4B) 9 125A(5B) A 150A(6B) B 200A(8B) C 250A(10B) D 300A(12B) E 350A(14B) F その他 ② 検出器材質 1 SUS304 2 SUS316 3 SUS316L 配線接続口 φ84 G1/2 特殊 F 32A JIS10K フランジ 1 ③ 接続規格 外形寸法 2 1-1/4"ANSI 150 # フランジ F その他 1 ④ L寸法 F 標準 特殊 W 標準(端子箱タイプ) E EPグレード:電解研磨処理(センサー部除く) ⑤ 特殊仕様 B BAグレード:BA相当の電解研磨処理(センサー部除く) L C C コネクタタイプ 標準仕様 配管挿入形 タイプ φd φD (標準32A JIS10Kフランジ) 50A(2B)∼1500A(60B) 製作口径 ※1500A以上の口径につきましては FLOW お問い合わせ願います。 計測範囲 最小 空気:0∼0.5 m/s(nor) 最大 空気:0∼130 m/s(nor) 最高使用温度区分 80℃/180℃/240℃ センサ 材 質 検出器 シール SUS316 SUS304, SUS316, SUS316L フッ素ゴム, その他 防水構造 IP65相当 上流側直管長(推奨) 約20D(D:配管内径) (注)ケーブルグランドは付属いたしません。 ケーブル外径(φ12mm)に適合したケーブルグランドをご使用願います。 4 プロセス配管口径 1.0MPa 最高使用圧力 TOKYO KEISO CO., LTD. 標準L寸法(mm) 50A∼150A 182 200A∼250A 200 300A∼350A 250 400A以上 ご相談下さい (注) ・弊社標準寸法以外の場合は、L または C 寸法をお知らせ下さい。 ・φd、φD 寸法をお知らせ下さい。 TG-ES395-13 TH THERMAL FLOWMETER TH-1200 アウトライン TH-1200はセンサ部分をT管に取付け、フランジでプロセスラインに 取付けるタイプです。 プロセス配管口径 50A ∼ 150A まで製作いたします。 温度計取付座付で電解研磨の場合、保護管付になります。 形式コード 選択項目 形式コード TH−12 ① ② − ③ ④ ① プロセス 配管口径 内 容 5 50A(2B) 6 65A(2-1/2B) 7 80A(3B) 8 100A(4B) 9 125A(5B) A 150A(6B) ② 検出器材質 1 SUS304 2 SUS316 3 SUS316L F 特殊 ③ 接続規格 標準仕様 配管フランジ接続形 製作口径 50A(2B)∼150A(6B) 最 小 計測範囲 JIS10K フランジ 4 ANSI 150 # フランジ 最高使用圧力 80℃/180℃ W 標準品(端子箱タイプ) ④ 特殊仕様※ S 整流器付属 E EPグレード:電解研磨処理(センサー部除く) B BAグレード:BA相当の電解研磨処理(センサー部除く) T 温度計取付座付(Rc1/8タップ) 空気:0∼40 m/s(nor) [整流器付属の場合] 1.0MPa 最高使用温度区分 その他 空気:0∼0.5 m/s(nor) 空気:0∼130 m/s(nor) [整流器なしの場合] 最 大 3 F タイプ 材 質 センサ SUS316 検出器 SUS304, SUS316, SUS316L シール フッ素ゴム, その他 防水構造 IP65相当 約20D[整流器なしの場合](D:配管内径) C コネクタタイプ 上流側直管長(推奨) 約3D∼5D[整流器ありの場合] ※ 例) 整流付EPグレード、温度計取付座付の場合 形式コード TH-12□□-□WSET となります。 (注)ケーブルグランドは付属いたしません。 ケーブル外径(φ12mm)に適合したケーブルグランドをご使用願います。 外形寸法 配線接続口 φ84 標 準 φ84 温度計取付座付き 16 Rc1/8 182 (378) 180 G1/2 FLOW FLOW 400 300 整流器 プロセス配管口径 L 50A 65A 80A 100A 125A 150A 80 90 100 130 150 190 L TG-ES395-13 TOKYO KEISO CO., LTD. 5 TH THERMAL FLOWMETER TH-1400 アウトライン TH-1400は挿入長可変形の挿入タイプセンサです。ゲートバルブ (お 客先所掌) を設置することにより、運転、加圧中でもセンサを取り外 すことができ、メンテナンスが容易です。 形式コード 選択項目 形式コード TH−14 ① ② − ③ ④ ⑤ 50A(2B) 5 ① プロセス 配管口径 内 容 6 65A(2-1/2B) 7 80A(3B) 8 100A(4B) 9 125A(5B) A 150A(6B) B 200A(8B) C 250A(10B) D 300A(12B) E 350A(14B) F その他 ② 検出器材質 1 SUS304 2 SUS316 3 SUS316L ハンドル 40A JIS10K フランジ 1 2 1-1/2"ANSI 150 # フランジ F その他 標準 1 ④ L寸法 G1/2 特殊 F ③ 接続規格 外形寸法 特殊 F W 標準(端子箱タイプ) ⑤ 特殊仕様 E EPグレード:電解研磨処理(センサー部除く) B BAグレード:BA相当の電解研磨処理(センサー部除く) V C コネクタタイプ 標準仕様 配管挿入形 L タイプ (標準40A JIS 10Kフランジ) プロセス配管 C 50A(2B)∼1500A(60B) 製作口径 ※1500A以上の口径につきましては 空気:0∼130 m/s(nor) 最高使用圧力 1.0MPa 最高使用温度区分 材 質 φd 空気:0∼0.5 m/s(nor) 最 大 80℃/180℃ センサ SUS316 検出器 SUS304, SUS316, SUS316L シール フッ素ゴム/PTFE, その他 防水構造 IP65相当 上流側直管長(推奨) 約20D(D:配管内径) φD 計測範囲 105 お問い合わせ願います。 最 小 FLOW プロセス配管口径 (注)ケーブルグランドは付属いたしません。 ケーブル外径(φ12mm)に適合したケーブルグランドをご使用願います。 標準L寸法(mm) 50A∼150A 182 200A∼250A 200 300A∼350A 250 400A以上 ご相談下さい (注) ・弊社標準寸法以外の場合は、L または C 寸法をお知らせ下さい。 ・φd、φD 寸法をお知らせ下さい。 ・バルブご使用の際はバルブ面間寸法(Ⅴ)をお知らせ下さい。 6 TOKYO KEISO CO., LTD. TG-ES395-13 TH THERMAL FLOWMETER TH-1700 アウトライン TH-1700 シリーズは一般小口径形検出器で呼び口径 15A ∼ 50A まで 製作します。 プロセス接続はフランジ接続のみとなります。 形式コード 形式コード 内 容 ① ② − ③ ④ ⑤ 1 15A(1/2B) 2 20A(3/4B) ① プロセス 25A(1B) 配管口径 3 4 40A(11/2B) 5 50A(2B) 1 標準/温度区分(0∼80℃) ② 仕様温度区分 2 高温/温度区分(0∼180℃) 7 低温/結露対策品(−20∼80℃) 4 SUS304/SCS14 5 SUS316/SCS14 ③ 検出器材質 6 SUS316L/SCS16 選択項目 TH−17 ④ 接続規格 ⑤ 特殊仕様 1 F 注 E B T C 標準仕様 配管フランジ接続形 タイプ 15A(1/2B)∼50A(2B) 製作口径 計測範囲 最 小 空気:0∼0.5 m/s(nor) 最 大 空気:0∼130 m/s(nor) 1.0MPa 最大使用圧力 80℃/180℃ 最高使用温度区分 センサ JIS 10K フランジ その他 注)標準品は未記入 EPグレード:電解研磨処理 BAグレード:BA相当の電解研磨処理 温度計取付座付(Rc1/8タップ付) コネクタータイプ(機器組込用) 材 質 SUS316 検出器 SCS14, SCS16, SUS304, SUS316, SUS316L シール フッ素ゴム, その他 防水構造 IP65相当 上流側直管長(推奨) 約20D(D:配管内径) (注)ケーブルグランドは付属いたしません。 ケーブル外径(φ12mm)に適合したケーブルグランドをご使用願います。 外形寸法 G1/2 φ82 φ82 L2 L2 L1 L1 φ82 φ82 G1/2 Rc1/8 J (140) (182) 温度計取付座付き 標 準 L2 L2 L1 L1 標準タイプの場合 寸法 L1 L2 口径 15A 180 90 20A 25A 40A 300 150 50A TG-ES395-13 J (182) Rc1/8 (140) 温度計取付座付き 標 準 J 15A JIS10Kフランジ 20A JIS10Kフランジ 25A JIS10Kフランジ 40A JIS10Kフランジ 50A JIS10Kフランジ 温度計取付座付きタイプの場合 寸法 L1 J L2 口径 15A 15A JIS10Kフランジ 270 90 20A JIS10Kフランジ 20A 25A 25A JIS10Kフランジ 40A 330 150 40A JIS10Kフランジ 50A 50A JIS10Kフランジ TOKYO KEISO CO., LTD. 7 TH THERMAL FLOWMETER TH-1800 アウトライン TH-1800シリーズ検出器は整流機構を内蔵しているため上流側配管影 響を受けず、上流直管部をほとんど必要としません。尚、整流器内蔵 のため若干圧力損失が発生致します。 (ライン圧力が低い場合、お問 い合わせ願います) 形式コード 選択項目 形式コード TH−18 ① ② − ③ ④ ⑤ ① プロセス 配管口径 内 容 1 15A(1/2B) 2 20A(3/4B) 3 25A(1B) 4 40A(11/2B) 50A(2B) 5 標準/温度区分(0∼80℃) 1 高温/温度区分(0∼180℃) ② 仕様温度区分 2 低温/結露対策品(−20∼80℃) 7 ③ 検出器材質 4 SUS304/SCS14 5 SUS316/SCS14 SUS316L/SCS16 6 1 ④ 接続規格 JIS 10Kフランジ 2 JIS Rcネジ (3/8B) 3 JIS Rcネジ (1/2B) 4 JIS Rcネジ (3/4B) 5 JIS Rcネジ (1B) F その他 標準仕様 注 注)標準品は未記入 E EPグレード:電解研磨処理 B BAグレード:BA相当の電解研磨処理 ⑤ 特殊仕様 T 温度計取付座付(Rc1/8タップ付) C コネクタータイプ(機器組込用) タイプ 配管接続形 製作口径 15A(1/2B)∼50A(2B) 計測範囲 最 小 空気:0∼0.5 m/s(nor) 最 大 空気:0∼45 m/s(nor) 1.0MPa 最大使用圧力 ※口径別製作可能接続規格 最高使用温度区分 呼び径 接続 フランジ Rc3/8 Rc1/2 Rc3/4 Rc1 15A ○ ○ ○ × × 20A ○ × ○ ○ × 25A ○ × × ○ ○ 40A ○ × × × × 50A ○ × × × × 80℃/180℃ センサ 材 質 SUS316 検出器 SCS14, SCS16, SUS304, SUS316, SUS316L シール フッ素ゴム, その他 防水構造 IP65相当 上流側直管長(推奨) 約3D∼5D(D:配管内径) (注)ケーブルグランドは付属いたしません。 ケーブル外径(φ12mm)に適合したケーブルグランドをご使用願います。 注)○:製作可能 ×:製作不可 8 TOKYO KEISO CO., LTD. TG-ES395-13 TH THERMAL FLOWMETER 外形寸法 φ82 L2 L2 L1 L1 φ82 φ82 L1 φ82 φ82 温度計取付座付き (182) L1 標準タイプの場合 TG-ES395-13 (140) L2 L1 40A 50A J Rc1/8 L2 25A G1/2 標 準 呼び口径 40A∼50A 20A J L2 L1 15A (140) Rc1/8 (182) 温度計取付座付き L2 口径 G1/2 標 準 呼び口径 15A∼25A 寸法 (182) φD Rc1/8 J φD J 温度計取付座付き (140) 標 準 呼び口径 15A∼25A W G1/2 φ82 L1 L2 210 180 250 220 280 240 280 320 105 90 145 130 170 150 170 210 温度計取付座付きタイプの場合 J φD W Rc3/8・Rc1/2 φ36 15A JIS10Kフランジ − Rc1/2・Rc3/4 φ36 20A JIS10Kフランジ − Rc3/4・Rc1 φ46 25A JIS10Kフランジ − 40A JIS10Kフランジ − 50A JIS10Kフランジ − 32 − 32 − 41 − − − 寸法 口径 15A 20A 25A 40A 50A L1 L2 300 270 340 310 370 330 350 390 105 90 145 130 170 150 170 210 J φD W Rc3/8・Rc1/2 φ36 15A JIS10Kフランジ − Rc1/2・Rc3/4 φ36 20A JIS10Kフランジ − Rc3/4・Rc1 φ46 25A JIS10Kフランジ − 40A JIS10Kフランジ − 50A JIS10Kフランジ − 32 − 32 − 41 − − − TOKYO KEISO CO., LTD. 9 TH THERMAL FLOWMETER パージ機能付センサ TH-1100-SP / TH-3200-SP アウトライン TH-1100-SP/TH-3200-SPは、パージ機能付センサです。パージガス により、センサ部へのダスト付着防止、付着したダストの除去を行い ます。これにより、安定した流量計測が行えます。 (注) 粘着性のダストに対しては十分な効果が得られない場合がありま すのでご注意願います。 形式コード 標準仕様 形式コード 選択項目 内 容 TH−11 ① ② − ③ ④ ⑤ −SP TH−32 ① プロセス 配管口径 150A(6B) B 200A(8B) C 250A(10B) D 300A(12B) E 350A(14B) F ② 検出器材質 ③ 接続規格 ④ L寸法 TH-1100-SP SUS316 3 SUS316L F 特殊 1 65A JIS10K フランジ F その他 1 標準 F 特殊 配管挿入形 (標準65A JIS10K フランジ) 150A (6B)∼1500A (60B) ※1500A以上の口径につ (6B)∼1500A (60B) きましてはお問い合わ 150A せ願います。 製作口径 最 小 計測範囲 空気:0∼0.5m/s(nor) 空気:0∼5m/s(nor) 空気:0∼75m/s(nor) 最 大 最高使用圧力 1.0MPa 最高使用温度区分 材 質 注)標準品は未記入のこと。 C TH-3200-SP タイプ その他 2 注 ⑤ 特殊仕様 形 式 A コネクタータイプ(端子箱タイプの場合は未記入) 0.1MPa 80℃/240℃ 550℃ センサ SUS316 検出器 SUS304, SUS316, SUS316L シール フッ素ゴム, その他 IP65相当 防水構造 約20D(D:配管内径) 上流側直管長(推奨) (注)ケーブルグランドは付属いたしません。 ケーブル外径(φ12mm)に適合したケーブルグランドをご使用願います。 外形寸法 TH-1100-SP TH-3200-SP G1/2 (180) (250) G1/2 Rc1/4 プロセス配管口径 150A 200A∼250A 300A∼350A 400A以上 10 TOKYO KEISO CO., LTD. φd φD (41) φd φD (38) L L C C Rc1/4 標準L寸法(mm) 182 200 250 ご相談下さい (注) ・弊社標準寸法以外の場合は、Lまたは C 寸法をお知らせ下さい。 ・φd、φD 寸法をお知らせ下さい。 TG-ES395-13 TH THERMAL FLOWMETER 高、低温タイプ TH-3100/ TH-3200/ TH-3300 アウトライン THサーマルフローメータには従来の流量計では計測が困難な高、低 温域をカバーする高、低温タイプが用意されています。低温用はマイ ナス196℃まで、高温用はプラス550℃までの気体流量を計測するこ とができます。 TRX-600 専用コンバータと組み合わせて使用します。 形式コード 形式コード 選択項目 内 容 ① ② ③ − 0 ④ ⑤ 1 高温用1.0MPaまで 2 高温用0.1MPaまで 低温用0.1MPaまで 3 65A(2-1/2B)※TH-3200/TH-3300のみ 6 80A(3B) 8 100A(4B) 9 125A(5B) A 150A(6B) B 200A(8B) C 250A(10B) D 300A(12B) E 350A(14B) ● TH-3200, TH-3300 G1/2 G1/2 SUS316 3 SUS316L (280) SUS304 2 標準 C 特殊 標準 F 特殊 L 115 1 L 特殊 F φD φd 1 ⑤ L寸法 ● TH-3100 (280) 1 F ④ 接続規格 ●センサ その他 F ③ 検出器材質 外形寸法 C ② プロセス 配管口径 7 φD φd ① タイプ 126 TH−3 φ57 φ34 FLOW FLOW 標準仕様 TH-3100 形 式 プロセス配管口径 配管挿入形 タイプ 製作口径 計測範囲 標準65A JIS10K フランジ 標準32A JIS10K フランジ 80A(3B)∼1500A(60B) 65A(2-1/2B)∼1500A(60B) 最 小 空気:0∼ 5m/s(nor) 最 大 空気:0∼75m/s(nor) 最高使用圧力 0∼550℃ (高温用) 標準L寸法(mm) 80∼150 182 200∼250 200 300∼350 250 400A以上 ご相談下さい TH-3200, TH-3300 0.1MPa 1.0MPa 使用温度範囲 材 質 TH-3300 TH-3200 TH-3100 プロセス配管口径 −196∼0℃ (低温用) 標準L寸法(mm) 65∼150 182 センサ SUS316 200∼250 200 検出器 SUS304, SUS316, SUS316L 300∼350 250 400A以上 ご相談下さい 防水構造 上流側直管長(推奨) IP65相当 約20D (D:配管内径) (注)ケーブルグランドは付属いたしません。 ケーブル外径(φ12mm)に適合したケーブルグランドをご使用願います。 TG-ES395-13 (注) ・弊社標準寸法以外の場合は、L または C 寸法をお知らせ下さい。 ・φd、φD 寸法をお知らせ下さい。 TOKYO KEISO CO., LTD. 11 TH THERMAL FLOWMETER 高品位タイプセンサ TH-1100-HQ アウトライン TH-1100-HQは配管挿入形の高品位タイプセンサです。接ガス金属部 に複合電解研磨処理を施し、またシールにメタルシールを採用し、半 導体製造設備のガスラインに要求される、ノンパーティクル、低リー クを達成しました。 形式コード 形式コード 内 容 TH-11 ① ② −HQ ① プロセス配管口径 ② 検出器材質 5 50A 6 65A 7 80A 8 100A 1 標準 F 特殊 外形寸法 標準仕様 タイプ 高品位センサ(配管挿入形) (特殊専用フランジノズル) 製作口径 50A(2B)∼100A(4B) 最 小 空気:0∼0.5 m/s(nor) 最 大 空気:0∼75 m/s(nor) 計測範囲 最大使用圧力 1.0MPa 最高使用温度 120℃ (特注で180℃まで承ります。ご相談下さい。) 本 体 材 質 センサ シール 検出器 SUS316L, 複合電解研磨(EP) 表面粗度Rmax.≦0.7μm 特殊専用フランジ SUS316, KOVAR(Ni, Co合金), アルミナセラミック, 金ロー, Niメッキの組合せ, 金属表面光輝処理(BA) 本体部 PTFE被覆メタルOリング センサ部 SUS316 プロセス配管 -10 Heリーク性能 1×10 Pa・m3/s(He)以下 構 造 防水構造(IP65相当) 標準品では 1) センサ 2)特殊フランジピース (配管溶接用) 所掌範囲 3) メタルOリング のセットで納入いたします。ご指定により配管へ直接 溶接で設置する短管取付けを行い納入も致します。 メータサイズ 50A 65A 80A 100A 12 TOKYO KEISO CO., LTD. 寸法(mm) L 94 94 120 120 TG-ES395-13 TH THERMAL FLOWMETER TH-1500-HQ アウトライン TH-1500-HQは配管溶接形の高品位タイプセンサです。接ガス金属部 に複合電解研磨処理を施し、またシールにメタルシールを採用し、半 導体製造設備のガスラインに要求される、ノンパーティクル、低リー クを達成しました。 形式コード 形式コード 内 容 TH-15 ① ② − ③ HQ ① プロセス配管口径 1 15A 2 20A 3 25A 1 ② 検出器材質 標準 F 特殊 ③ 接続規格 1 溶接タイプ(I開先) F その他 外形寸法 標準仕様 タイプ 高品位センサ(プロセス配管溶接形) 製作口径 15A(1/2B)∼25A(1B) 最 小 空気:0∼0.5 m/s(nor) 最 大 空気:0∼75 m/s(nor) 計測範囲 最大使用圧力 1.0MPa 最高使用温度 120℃ (特注で180℃まで承ります。ご相談下さい。) 本 体 センサ 材 質 シール SUS316L, 複合電解研磨(EP) 表面粗度Rmax.≦0.7μm SUS316, KOVAR(Ni, Co合金), アルミナセラミック, 金ロー, Niメッキの組合せ, 金属表面光輝処理(BA) 本体部 メタルOリング (PTFE被覆) センサ部 SUS316 -10 Heリーク性能 1×10 Pa・m3/s(He)以下 構 造 防水構造(IP65相当) メータサイズ 15A 20A 25A TG-ES395-13 J φ21.7×1.65t φ27.2×1.65t φ34.0×1.65t L 350 寸法(mm) H1 H2 H3 20 95 115 PB1 PB2 BH 30 40 4-M4 (深 6) TOKYO KEISO CO., LTD. 13 TH THERMAL FLOWMETER TRX-600 アウトライン TRX-600 は防水構造のフィールド設置形のサーマルフローメータ用 コンバータです。搭載 CPU の性能向上により高精度・高機能を達成 しました。ほとんどのオペレーションファクターはフロントパネル上 のキー操作によりユーザーフレンドリーに設定、変更が可能です。ま た、最大7種類までのデータをあらかじめプログラミングすることが できます。さらにオプション基板により種々の機能拡張することが可 能です。 形式コード 形 式 コ ー ド − − 0 温度補正 1 (入力信号)2 3 1 2 3 電 源 4 5 6 1 2 3 4 ケーブル長 5 6 7 8 F 1 配線接続口 2 0 2Bパイプ取付金具 1 0 パージ制御入力 1 2 オプション基板 (注) パージ出力 オプション機能が 無い場合は空欄 標準仕様 内 容 TRXー6 0 1 2 1 2 3 4 接点出力 高電流タイプ仕様 補正なし Pt100Ω測温抵抗体 DC4∼20mA温度信号 DC1∼5V温度信号 AC100V±10% AC110V±10% AC115V±10% AC200V±10% AC220V±10% AC240V±10% 5m 10m 15m 20m 25m 30m 40m 50m その他 G1/2 その他 なし あり パージ制御なし オープンコレクタ (標準) 接点入力 パージ制御なし 接点出力 AC電源出力 フロースイッチ(H-L) フロースイッチ(H) フロースイッチ(L) 異常警報出力 TH-3100, 3200, 3300, -H 3200-SPと組合せて使用の 場合 外形寸法 24 取付け 保護構造 精 度 表 示 表 示 出 力 積 算 12 φ9 瞬時流量・温度より選択表示 流量:6桁LED(0.000∼99999.9) 温度:4桁LED(-25.0∼550.0) (※1) 下 段 積算流量・温度より選択表示 積算:8桁LED(0.000∼99999999) 温度:4桁LED(-25.0∼550.0) (※1) 右 下 DC4∼20mA/許容負荷抵抗500Ω以下 パルス出力 オープンコレクタ出力 PhotoMOS relay, DC30V/100mA (max) デジタル出力 RS-485 2400/4800/9600bps(選択可能) IDアドレス:0∼99 プロトコル:8N1 出力:瞬時流量・積算流量・温度 エラーコード 温度補正機能 Pt100Ω測温抵抗体(3導線式) アナログ出力付き温度計(別途必要) (DC4-20mAまたはDC1-5V温度信号) 警報出力 (オプション) 【H】&【L】,【H】上限,【L】下限 【E】異常のうち1点(任意に設定可能) SPDTリレー接点出力 AC240V/0.4A (DC30V/2A) 応答速度 電気接続 消費電力 280 パネル【Alarm】に表示 【H】上限【L】下限【E】異常 アナログ出力 電 源 300 TH-1100(-HQ)/1200/1400/1500-HQ /1700/1800/3000/1100-SP/3200-SP 壁取付けまたは2Bパイプ取付け(オプション) 防噴流形(IP65相当) ±2.0%F.S.±1digit ±2.0%F.S. ±2.0%F.S. 上 段 パージ制御機能 (オプション) 110 234 222 組合せ検 出器 ハウジング 寸 法 質 量 周囲温度 周囲湿度 AC240V/0.4A (DC30V/2A) パージ動作用バルブ制御出力機能 パージ周期・時間等の設定が可能。 出力:AC(入力電源同一)または接点 3∼5秒(63%ステップ応答) 棒状差込端子 AC100, 110, 115, 200, 220, 240V±10% 50/60Hz 約30VA アルミダイキャスト/コバルトブルーorシルバー 234W×300H×110D(mm) 5.4kg(壁取付) 7.4kg(2Bパイプ取付) -10∼60℃ 10∼90%RH(結露しないこと) ※1: 温度表示は別途温度計が必要です。 9 36 110 30 160 56 110 14 配線接続口 G1/2 TOKYO KEISO CO., LTD. TG-ES395-13 TH THERMAL FLOWMETER 標準仕様 TRX-700 / TRX-900 アウトライン 組合せ検出器 TRX-700/TRX-900はインテリジェントタイプのサーマルフローメー 取付け タ用コンバータです。ダブル CPU 搭載の信号処理回路で高精度、高 ネル上のキー操作によりユーザーフレンドリーに設定、変更が可能で 能を標準搭載。さらにシリアル通信RS-485により上位でのデータ処 TRX-700:IP20相当(屋内仕様)TRX-900:IP54相当(屋外仕様) 瞬時流量 ± 1%F.S. ± 1digit 積算流量 ± 1.05%F.S. ± 1digit 精 度 す。瞬時流量、積算流量、警報などのプロセス監視、制御に必要な機 1400/1500-HQ/1700/1800 TRX-700:パネル取付(DIN96×96)TRX-900:壁または2Bパイプ 保護構造 機能を達成しました。すべてのオペレーションファクタはフロントパ TH-1100/1100-HQ/1200/ アナログ出力 DC4 ∼ 20mA / 許容負荷抵抗 500Ω以下 オープンコレクタ出力 理も可能になります。 パルス出力 自己診断機能でメンテナンスも簡単。 DC35V/50mA(max.) SPDTリレー接点(上限・下限) 警報接点出力 AC250V/5A(DC24V/5A) DIN96×96、パネルマウントタイプのTRX-700形、防水ハウジング、 1200/2400/4800/9600bps(選択可能) フィールド設置形の TRX-900 があります。 デジタル出力 形式コード (RS-485) 形式コード 7 DIN96×96 パネルマウント 9 防水ハウジング、 フィールド設置形 ② 温度・ 圧力補正 ③ ケーブル長 TG-ES395-13 0 補正なし 1 温度補正 4 温度補正+圧力補正 1 5m 2 10m 3 15m 4 20m 5 25m 6 30m 7 35m 8 40m 9 45m A 50m F 50m∼100m ※ケーブル長ご指示下さい。 出力:瞬時流量 , 積算流量 , バーグラフ , 温度 , 圧力 , 加熱電流 , ファーム ウェアバージョン , シリアル No. 内 容 TRX− ① ② ③ ① タイプ ID アドレス:00 ∼ 99 プロトコル:8N1 エラーメッセージなど ディスプレイ ドットマトリクス LCD 16 文字× 2 段 バックライト付 瞬時流量、積算流量、温度、圧力、 上 段 表 示 下 段 桁 数 加熱電圧、内部温度、SPSリップル より1 つ選択またはエラーメッセージ バーグラフ、瞬時流量、積算流量、温度、 圧力、加熱電流より1 つ選択 またはエラーメッセージ 瞬時流量 5 桁(0.000 ∼ 99999) 積算流量 7 桁(0.00 ∼ 9999999) 温度補正機能 圧力補正機能 Pt100Ω測温抵抗体(3 導線式) ※別途必要 アナログ出力(DC4-20mA)付圧力計 ※別途必要(主に状況下流量表示用) 応答速度 3 秒(63% ステップ応答) 寸 法 96H × 96W × 243D[mm] 質 量 約 1.95kg ケーブル長さ 最大 100m 電 源 AC90 ∼ 264V 50/60Hz 消費電力 最大 60W 電気接続 棒状差込端子 周囲温度 0 ∼ 50℃ 周囲湿度 10 ∼ 90%RH(結露しないこと) TOKYO KEISO CO., LTD. 15 TH THERMAL FLOWMETER TRX-700 TRX-900 外形寸法 ●TRX-700 (パネル取付用) ●TRX-900 (壁取付用) 96 390 92 340 96 92 THERMAL FLOW CONVERTOR 正 面 10 400 200 TOKYO KEISO CO.,LTD 背 面 215 18 φ14 200 300 ●TRX-900(2Bパイプ取付用) 400 側 面 300 200 パネルカット 16 TOKYO KEISO CO., LTD. TG-ES395-13 TH THERMAL FLOWMETER 流量範囲(フルスケール) ■TH-1100/TH-1400 ガス 口径 AIR 空気 単位:m3/h(nor) CO2 二酸化炭素 N2 窒素 O2 酸素 Ar アルゴン 13A 都市ガス 545 905 CH4 メタン 50A 65A 45∼ 840 60∼ 1395 45∼ 840 60∼ 1395 25∼ 1135 30∼ 1885 45∼ 820 60∼ 1360 40∼ 1675 50∼ 2775 40∼ 50∼ 50∼ 65∼ 550 915 80A 100A 70∼ 1965 90∼ 3385 70∼ 1965 90∼ 3380 35∼ 2655 50∼ 4570 70∼ 1915 90∼ 3295 60∼ 3915 80∼ 6735 60∼ 1275 75∼ 1290 80∼ 2195 100∼ 2220 C3 H8 プロパン 15∼ 20∼ 540 895 C4H10 ブタン 10∼ 10∼ NH3 He アンモニア ヘリウム H2 水素 440 735 40∼ 800 55∼ 1330 5∼ 7∼ 34 45 5∼ 7∼ 30 39 20∼ 1260 25∼ 2170 15∼ 1035 20∼ 1785 65∼ 1875 85∼ 3225 10∼ 17∼ 53 69 10∼ 17∼ 47 62 26∼ 37∼ 65∼ 78 89 109 125A 150A 200A 115∼ 5155 115∼ 5145 135∼ 7360 135∼ 7345 175∼ 12650 175∼ 12625 60∼ 6955 115∼ 5020 100∼ 10250 100∼ 3340 120∼ 3380 70∼ 9940 135∼ 7170 120∼ 14640 120∼ 4775 145∼ 4830 90∼ 17080 175∼ 12325 155∼ 25160 155∼ 8205 190∼ 8300 35∼ 3305 40∼ 4720 50∼ 8115 20∼ 2715 105∼ 4910 26∼ 85 25∼ 3880 125∼ 7010 37∼ 98 35∼ 6670 160∼ 12050 1200∼ 1584 250A 300A 220∼ 19685 220∼ 19650 115∼ 26580 220∼ 19180 190∼ 39160 190∼ 12770 235∼ 12920 260∼ 28145 260∼ 28090 150∼ 37995 260∼ 27415 230∼ 55980 230∼ 18255 280∼ 18465 60∼ 12630 75∼ 18060 40∼ 10380 200∼ 18750 1460∼ 2457 1330∼ 1537 60∼ 14835 240∼ 26810 1780∼ 3498 1620∼ 2189 350A 400A 450A 295∼ 35190 295∼ 35125 185∼ 47510 295∼ 34280 270∼ 69995 255∼ 22825 315∼ 23090 90∼ 22580 75∼ 18550 265∼ 33520 2170∼ 4058 1930∼ 2539 335∼ 46460 335∼ 46375 245∼ 62725 335∼ 45260 355∼ 92405 295∼ 30130 360∼ 30485 115∼ 29810 95∼ 24490 305∼ 44255 380∼ 59310 380∼ 59200 310∼ 80070 380∼ 57775 455∼117960 335∼ 38465 410∼ 38915 150∼ 38055 120∼ 31265 345∼ 56490 500A 550A 425∼ 73440 425∼ 73305 385∼ 99150 425∼ 71540 565∼146065 370∼ 47630 455∼ 48190 185∼ 47125 150∼ 38715 385∼ 69950 470∼ 89420 470∼ 89255 465∼120725 470∼ 87110 685∼177850 410∼ 57995 505∼ 58675 225∼ 57380 185∼ 47140 425∼ 85175 600A 650A 700A 510∼106260 510∼106060 555∼143460 510∼103510 815∼211345 445∼ 68920 550∼ 69725 265∼ 68185 215∼ 56020 465∼101215 555∼124170 555∼123940 645∼167635 555∼120960 950∼246965 485∼ 80535 595∼ 81475 310∼ 79675 255∼ 65460 500∼118275 595∼144735 595∼144465 755∼195405 595∼140995 1110∼287870 525∼ 93875 640∼ 94970 360∼ 92875 295∼ 76300 540∼137865 750A 800A 645∼166885 645∼166575 870∼225305 645∼162570 1280∼331920 560∼108240 690∼109505 415∼107090 340∼ 87980 615∼158960 735∼190610 735∼190260 990∼257340 715∼185685 1460∼379115 600∼123630 735∼125075 470∼122315 390∼100490 700∼181560 850A 900A 1000A 1100A 1200A 1300A 1400A 1500A 830∼215920 935∼242815 1155∼299520 1405∼365118 1675∼435020 1965∼511050 2280∼593200 2620∼681490 830∼215520 935∼242365 1155∼298965 1405∼364440 1675∼434215 1965∼510105 2280∼592105 2620∼680225 1125∼291510 1265∼327815 1555∼404370 1900∼492930 2260∼587310 2655∼689955 3080∼800870 3540∼920060 810∼210340 910∼236535 1125∼291775 1370∼355675 1630∼423775 1915∼497840 2225∼577870 2555∼663870 1655∼429455 1860∼482940 2295∼595725 2795∼726190 3330∼865225 640∼140045 680∼157485 755∼194265 915∼236810 1085∼282150 3910∼1016445 1275∼331465 4540∼1179850 1480∼384750 5215∼1355435 1700∼442010 785∼141685 830∼159330 925∼196540 1020∼239580 1115∼285450 1290∼335340 1500∼389250 1720∼447175 535∼138555 600∼155810 740∼192200 905∼234295 1075∼279150 1265∼327940 1460∼380660 1685∼437310 440∼113830 495∼128005 610∼157900 740∼192485 885∼229335 1040∼269420 1205∼312730 1385∼359270 CH4 メタン C3 H8 プロパン C4H10 ブタン 795∼205670 890∼231285 1100∼285300 1340∼347780 1600∼414365 1875∼486785 2175∼565045 2500∼649135 ■TH-1200 [整流器を付加しない場合] ガス 口径 AIR 空気 CO2 二酸化炭素 N2 窒素 50A 65A 80A 100A 125A 45∼ 60∼ 70∼ 90∼ 115∼ 840 45∼ 1395 60∼ 1965 70∼ 3385 90∼ 5155 115∼ 840 1395 1965 3380 5145 150A 135∼ 7360 135∼ 7345 25∼ 30∼ 35∼ 50∼ 60∼ 単位:m3/h(nor) O2 酸素 1135 45∼ 1885 60∼ 2655 70∼ 4570 90∼ 6955 115∼ Ar アルゴン 820 40∼ 1360 50∼ 1915 60∼ 3295 80∼ 5020 100∼ 13A 都市ガス NH3 He アンモニア ヘリウム 1675 40∼ 545 50∼ 550 2775 50∼ 905 65∼ 915 3915 60∼ 1275 75∼ 1290 6735 80∼ 2195 100∼ 2220 10250 100∼ 3340 120∼ 3380 15∼ 540 20∼ 895 20∼ 1260 25∼ 2170 35∼ 3305 10∼ 440 40∼ 10∼ 735 55∼ 15∼ 1035 65∼ 20∼ 1785 85∼ 20∼ 2715 105∼ 800 1330 1875 3225 4910 5∼ 7∼ 10∼ 17∼ 26∼ 34 45 53 69 85 5∼ 7∼ 10∼ 17∼ 26∼ 30 39 47 62 78 70∼ 9940 135∼ 7170 120∼ 14640 120∼ 4775 145∼ 4830 40∼ 4720 25∼ 3880 125∼ 701 37∼ 98 37∼ 89 ■TH-1200 [整流器を付加した場合] ガス 口径 AIR 空気 CO2 二酸化炭素 N2 窒素 H2 水素 単位:m3/h(nor) O2 酸素 Ar アルゴン CH4 メタン C3 H8 プロパン C4H10 ブタン NH3 He アンモニア ヘリウム H2 水素 50A 5∼ 285 5∼ 285 5∼ 385 5∼ 275 565 5∼ 185 5∼ 185 5∼ 180 5∼ 150 5∼ 270 5∼ 99 5∼ 61 65A 80A 10∼ 10∼ 450 690 10∼ 10∼ 450 690 10∼ 15∼ 610 930 10∼ 10∼ 440 670 15∼ 895 20∼ 1375 5∼ 10∼ 290 445 5∼ 10∼ 295 450 5∼ 10∼ 290 440 5∼ 5∼ 235 365 5∼ 10∼ 430 655 7∼ 10∼ 180 254 7∼ 10∼ 108 159 15∼ 1170 25∼ 1760 35∼ 2540 30∼ 2390 45∼ 3600 65∼ 5185 10∼ 780 15∼ 1175 25∼ 1690 15∼ 1145 25∼ 1725 35∼ 2480 17∼ 26∼ 37∼ 428 645 916 17∼ 26∼ 37∼ 267 403 573 100A 125A 150A 15∼ 1200 25∼ 1810 35∼ 2605 15∼ 1200 25∼ 1810 35∼ 2605 20∼ 1625 35∼ 2445 45∼ 3520 0∼ 13A 都市ガス 10∼ 790 15∼ 1185 25∼ 1710 10∼ 770 15∼ 1160 25∼ 1670 10∼ 635 15∼ 955 20∼ 1375 [注意事項] (1)上記流量は20℃、1atmで使用した場合の値を0℃、1atmに換算した値です。 各口径の流量範囲において使用条件が0.1MPa以上かつ最大流量が表の最大流量の40%以下の場合弊社までお問い合せ下さい。 (2)使用流体が混合ガスの場合の物性値はVol%でご指示下さい。 TG-ES395-13 TOKYO KEISO CO., LTD. 17 TH THERMAL FLOWMETER ■TH-1700 ガス 単位:L /min(nor) AIR 空気 口径 N2 窒素 CO2 二酸化炭素 O2 酸素 Ar アルゴン 13A 都市ガス CH4 メタン C 3 H8 プロパン 65∼ 870 90∼ 1560 C4H10 ブタン NH3 He アンモニア ヘリウム H2 水素 15A 20A 235∼ 1355 235∼ 1355 120∼ 1830 235∼ 1320 205∼ 2700 205∼ 880 250∼ 890 315∼ 2430 315∼ 2430 165∼ 3285 315∼ 2370 275∼ 4840 275∼ 1575 340∼ 1595 45∼ 715 215∼ 1290 60∼ 1280 285∼ 2315 8∼ 15∼ 160 280 8∼ 15∼ 100 170 25A 40A 400∼ 3900 400∼ 3895 210∼ 5270 400∼ 3800 350∼ 7760 350∼ 2530 430∼ 2560 115∼ 2505 75∼ 2055 365∼ 3715 620∼ 9295 620∼ 9280 320∼ 12550 620∼ 9055 545∼ 18490 545∼ 6030 665∼ 6100 175∼ 5965 115∼ 4900 565∼ 8855 20∼ 50∼ 350 530 20∼ 50∼ 260 480 50A 775∼ 14815 775∼ 14790 400∼ 20005 775∼ 14435 680∼ 29470 675∼ 9610 830∼ 9720 215∼ 9505 145∼ 7810 705∼ 14115 70∼ 670 70∼ 600 ■TH-1800 ガス 口径 単位:L /min(nor) AIR 空気 N2 窒素 CO2 二酸化炭素 O2 酸素 Ar アルゴン 13A 都市ガス 365 655 CH4 メタン 5∼ 10∼ 370 660 C 3 H8 プロパン 15A 20A 10∼ 560 15∼ 1010 10∼ 560 15∼ 1010 10∼ 760 15∼ 1365 10∼ 15∼ 550 985 15∼ 1120 25∼ 2010 5∼ 10∼ 5∼ 10∼ 360 645 25A 40A 20∼ 1620 40∼ 3540 20∼ 1620 40∼ 3535 25∼ 2185 55∼ 4780 20∼ 1580 40∼ 3450 40∼ 3225 80∼ 7045 15∼ 1050 30∼ 2295 15∼ 1060 30∼ 2325 15∼ 1040 25∼ 2270 50A 65∼ 5855 65∼ 5845 90∼ 7905 65∼ 5705 130∼ 11645 45∼ 3795 45∼ 3840 45∼ 3755 C4H10 ブタン 5∼ 10∼ 295 530 NH3 He アンモニア ヘリウム 10∼ 15∼ 535 960 2∼ 3∼ 130 240 1∼ 2∼ 80 150 10∼ 855 25∼ 1865 20∼ 1545 40∼ 3370 5∼ 10∼ 400 940 3∼ 6∼ 240 570 35∼ 3085 65∼ 5575 16∼ 1520 10∼ 920 ■TH-1100-HQ ガス 口径 単位:m3/h(nor) AIR 空気 N2 窒素 CO2 二酸化炭素 O2 酸素 Ar アルゴン 13A 都市ガス 50A 65A 50∼ 935 60∼ 1455 50∼ 930 60∼ 1450 25∼ 1260 30∼ 1965 50∼ 910 60∼ 1415 45∼ 1860 55∼ 2895 45∼ 55∼ 80A 100A 70∼ 1995 90∼ 3355 70∼ 1990 90∼ 3350 35∼ 2695 45∼ 4530 70∼ 1945 90∼ 3265 60∼ 3970 80∼ 6670 60∼ 1295 80∼ 2175 605 945 CH4 メタン 50∼ 65∼ 610 955 75∼ 1310 95∼ 2200 C 3 H8 プロパン 15∼ 20∼ 600 935 20∼ 1280 25∼ 2150 C4H10 ブタン 10∼ 15∼ NH3 He アンモニア ヘリウム 口径 15A 20A 25A 45∼ 890 55∼ 1385 5∼ 7∼ 34 45 5∼ 7∼ 30 39 15∼ 1050 20∼ 1765 65∼ 1900 80∼ 3195 10∼ 17∼ 53 69 10∼ 17∼ 47 62 単位:L /min(nor) AIR 空気 N2 窒素 CO2 二酸化炭素 O2 酸素 Ar アルゴン 13A 都市ガス CH4 メタン C 3 H8 プロパン 260∼ 1655 260∼ 1655 135∼ 2235 260∼ 1615 230∼ 3295 225∼ 1075 280∼ 1085 75∼ 1060 340∼ 2825 340∼ 2820 175∼ 3820 340∼ 2755 300∼ 5625 300∼ 1835 365∼ 1855 95∼ 1815 440∼ 4705 440∼ 4695 230∼ 6350 440∼ 4580 385∼ 9355 385∼ 3050 470∼ 3085 125∼ 3015 C4H10 ブタン NH3 He アンモニア ヘリウム 50∼ 875 235∼ 1575 40∼ 65∼ 1490 310∼ 2695 60∼ 85∼ 2480 400∼ 4480 100∼ ■TH-3100/TH-3200/TH-3300 ガス 口径 * 65A 80A 100A 125A 150A 200A 250A AIR 空気 60∼ 80∼ 135∼ 200∼ 285∼ 485∼ 820 1140 1960 2980 4250 7245 N2 窒素 60∼ 80∼ 135∼ 200∼ 285∼ 485∼ 820 1140 1955 2975 4245 7230 CO2 二酸化炭素 75∼ 105∼ 180∼ 270∼ 385∼ 655∼ 1105 1540 2645 4020 5740 9780 O2 酸素 60∼ 75∼ 130∼ 195∼ 280∼ 470∼ 800 1110 1910 2900 4140 7055 Ar アルゴン 110∼ 155∼ 260∼ 395∼ 565∼ 965∼ 13A 都市ガス CH4 メタン 1630 55∼ 530 65∼ 2270 60∼ 740 75∼ 3900 85∼ 1270 100∼ 5925 130∼ 1930 130∼ 8460 185∼ 2755 190∼ 14405 315∼ 4695 320∼ C 3 H8 プロパン C4H10 ブタン 535 35∼ 525 30∼ 750 50∼ 730 40∼ 1285 85∼ 1255 70∼ 1955 130∼ 1910 105∼ 2790 185∼ 2730 150∼ 4750 310∼ 4645 255∼ 430 600 1030 1570 2240 3815 NH3 He アンモニア ヘリウム 55∼ 75∼ 125∼ 190∼ 270∼ 460∼ 780 7∼ 45 1085 10∼ 53 1865 17∼ 69 2835 26∼ 85 4050 37∼ 98 6900 1200∼ 1584 500A 550A 2760∼ 41375 2755∼ 41295 3725∼ 55860 2690∼ 40305 5490∼ 82290 1790∼ 26835 1810∼ 27150 1770∼ 26550 1455∼ 21810 2630∼ 39410 3365∼ 50430 3360∼ 50335 4540∼ 68080 3275∼ 49125 6690∼100300 2185∼ 32705 2210∼ 33090 2160∼ 32360 1775∼ 26585 3205∼ 48035 600A 650A 700A 4000∼ 59985 3995∼ 59870 5400∼ 80985 3900∼ 58435 7955∼119305 4680∼ 70160 4670∼ 70030 6315∼ 94720 4560∼ 68345 9305∼139545 5460∼ 81860 5450∼ 81710 7370∼110515 5320∼ 79745 10855∼162815 6300∼ 94470 6290∼ 94295 8505∼127545 6135∼ 92030 12530∼187900 7200∼107995 7190∼107795 9720∼145805 7015∼105205 14320∼214800 1100A 1200A 1300A 1400A 1500A 24∼ 40∼ 80∼ 120 200 300 H2 水素 7∼ 10∼ 17∼ 26∼ 37∼ 65∼ 39 47 62 78 89 109 745∼ 11140 745∼ 11120 1005∼ 15040 725∼ 10850 1480∼ 22155 485∼ 7225 490∼ 7310 480∼ 7145 395∼ 5870 710∼ 10610 1460∼ 2457 1330∼ 1537 1060∼ 1320∼ 1745∼ 2230∼ 850A 900A 1000A 190 250 310 H2 水素 単位:m3/h(nor) 300A 350A 400A 450A 750A 800A H2 水素 490 765 ■TH-1500-HQ ガス H2 水素 15855 19800 26135 33385 1060∼ 1320∼ 1740∼ 2225∼ 15825 19765 26090 33320 1430∼ 1785∼ 2355∼ 3005∼ 21400 26735 35285 45070 1030∼ 1290∼ 1700∼ 2170∼ 15445 19290 25460 32520 2105∼ 2630∼ 3470∼ 4430∼ 31535 39385 51985 66400 690∼ 860∼ 1130∼ 1445∼ 10280 12845 16950 21650 695∼ 870∼ 1145∼ 1460∼ 10400 12995 17150 21905 680∼ 850∼ 1120∼ 1430∼ 10175 12705 16770 21420 560∼ 700∼ 920∼ 1175∼ 8355 10440 13780 17600 1010∼ 1260∼ 1660∼ 2120∼ 15100 1780∼ 3498 1620∼ 2189 18860 2170∼ 4058 1930∼ 2539 24895 31800 2595∼ 38905 2625∼ 39360 2570∼ 38490 2110∼ 31620 3810∼ 57135 3035∼ 45505 3070∼ 46035 3005∼ 45020 2470∼ 36985 4455∼ 66830 3540∼ 53095 3585∼ 53715 3505∼ 52530 2880∼ 43155 5200∼ 77975 4085∼ 61275 4135∼ 61990 4045∼ 60620 3320∼ 49805 6000∼ 89985 4670∼ 70045 4725∼ 70865 4620∼ 69300 3800∼ 56935 6860∼102870 8165∼122430 8150∼122205 11020∼165290 7955∼119265 16235∼243510 9185∼137780 9170∼137525 12405∼186015 8950∼134220 18270∼274035 11345∼170175 11325∼169860 15320∼229745 11055∼165775 22565∼338465 13850∼207680 13820∼207295 18695∼280385 13490∼202315 27540∼413065 16515∼247685 16480∼247225 22295∼334390 16090∼241280 19415∼291220 19380∼290685 26215∼393170 18915∼283695 22555∼338295 22515∼337665 30450∼456720 21970∼329550 25930∼388900 25880∼388180 35005∼525040 25260∼378845 5295∼ 79410 5360∼ 80335 5240∼ 78565 4305∼ 64545 7775∼116620 5960∼ 89365 6030∼ 90410 5895∼ 88410 4845∼ 72635 8750∼131240 7360∼110375 7445∼111665 7280∼109200 5985∼ 89715 10810∼162095 8980∼134700 9085∼136275 8885∼133270 7300∼109485 13190∼197820 32845∼492630 10710∼160645 10835∼162525 10600∼158940 8705∼130575 15730∼235925 38615∼579225 12595∼188885 12740∼191095 12460∼186875 10235∼153530 18495∼277395 44860∼672845 14630∼219415 14800∼221980 14475∼217080 11890∼178345 21485∼322235 51570∼773495 16820∼252240 17015∼255185 16640∼249555 13670∼205025 24700∼370435 *TH-3200/TH-3300のみ [注意事項] (1)上記流量は20℃、1atmで使用した場合の値を0℃、1atmに換算した値です。 各口径の流量範囲において使用条件が0.1MPa以上かつ最大流量が表の最大流量の40%以下の場合弊社までお問い合せ下さい。 (2)使用流体が混合ガスの場合の物性値はVol%でご指示下さい。 18 TOKYO KEISO CO., LTD. TG-ES395-13 TH THERMAL FLOWMETER ■TH-1100-SP ガス 口径 AIR 空気 単位:m3/h(nor) N2 窒素 CO2 二酸化炭素 O2 酸素 Ar アルゴン 13A 都市ガス CH4 メタン C3H8 プロパン C4H10 ブタン NH3 アンモニア 150A 200A 120∼ 3800 120∼ 3790 165∼ 6840 165∼ 6830 65∼ 5130 120∼ 3700 105∼ 7560 105∼ 2465 130∼ 2490 85∼ 9235 165∼ 6665 145∼ 13610 145∼ 4435 175∼ 4490 35∼ 2435 45∼ 4390 25∼ 2000 110∼ 3620 30∼ 3605 150∼ 6515 250A 300A 210∼ 10870 210∼ 10850 110∼ 14675 210∼ 10590 185∼ 21620 185∼ 7050 225∼ 7130 255∼ 15715 255∼ 15685 145∼ 21215 255∼ 15310 220∼ 31255 220∼ 10190 270∼ 10310 60∼ 6975 70∼ 10085 40∼ 5730 190∼ 10355 55∼ 8285 230∼ 14970 350A 400A 450A 285∼ 19755 285∼ 19720 180∼ 26670 285∼ 19245 265∼ 39295 250∼ 12810 305∼ 12960 85∼ 12675 70∼ 10415 260∼ 18815 330∼ 26220 330∼ 26175 240∼ 35400 330∼ 25545 350∼ 52155 290∼ 17005 355∼ 17205 115∼ 16825 95∼ 13825 300∼ 24975 375∼ 33600 375∼ 33540 305∼ 45365 375∼ 32730 450∼ 66830 330∼ 21790 400∼ 22045 145∼ 21560 120∼ 17715 340∼ 32005 500A 550A 420∼ 41720 420∼ 41640 380∼ 56325 420∼ 40640 555∼ 82980 365∼ 27060 450∼ 27375 180∼ 26770 150∼ 21995 380∼ 39740 460∼ 50905 460∼ 50810 460∼ 68725 460∼ 49590 675∼101245 405∼ 33015 495∼ 33400 220∼ 32665 180∼ 26835 420∼ 48485 600A 650A 700A 505∼ 60585 505∼ 60475 545∼ 81795 505∼ 59020 805∼120505 440∼ 39295 540∼ 39755 260∼ 38875 215∼ 31940 460∼ 57710 545∼ 70885 545∼ 70755 640∼ 95700 545∼ 69055 940∼140990 480∼ 45975 585∼ 46515 305∼ 45485 250∼ 37370 495∼ 67520 590∼ 82720 590∼ 82565 745∼111675 590∼ 80580 1100∼164520 520∼ 53650 635∼ 54275 355∼ 53080 295∼ 43605 535∼ 78790 750A 640∼ 95460 640∼ 95285 860∼128880 635∼ 92995 1270∼189870 555∼ 61915 685∼ 62640 410∼ 61255 340∼ 50325 610∼ 90930 800A 850A 900A 1000A 730∼109115 825∼123685 930∼139165 1145∼171815 730∼108915 825∼123455 930∼138905 1145∼171495 985∼147315 1115∼166985 1255∼187880 1550∼231960 710∼106295 805∼120485 905∼135565 1120∼167370 1450∼217030 1640∼246000 1845∼276790 2280∼341725 595∼ 70770 635∼ 80220 675∼ 90260 750∼111435 730∼ 71600 780∼ 81160 825∼ 91315 920∼112740 470∼ 70020 530∼ 79365 595∼ 89300 735∼110250 385∼ 435∼ 490∼ 605∼ 1100A 1400∼209585 1400∼209200 1890∼282960 1365∼204170 2780∼416855 910∼135935 1015∼137525 900∼134490 740∼110490 1335∼199635 1200A 1300A 1400A 1670∼249850 1670∼249385 2250∼337315 1625∼243390 3315∼496935 1080∼162050 1110∼163945 1070∼160325 880∼131715 1590∼237985 1960∼293645 1960∼293100 2645∼396440 1910∼286055 3895∼584040 1270∼190455 1285∼192685 1260∼188430 1035∼154805 1865∼279705 2275∼340975 2275∼340345 3070∼460340 2215∼332160 4525∼678180 1475∼221155 1495∼223740 1460∼218800 1200∼179760 2165∼324785 1500A 2615∼391840 2615∼391115 3530∼529010 2545∼381710 5200∼779345 1695∼254145 1715∼257115 1680∼251440 1380∼206575 2490∼373235 ガス AIR 空気 345∼ 615∼ 975∼ 1415∼ 1775∼ 2360∼ 3025∼ 3755∼ 4580∼ 5450∼ 5150 9185 14625 21165 26620 35350 45310 56275 68675 81745 16655∼249810 16625∼249350 22485∼337265 19575∼293605 19540∼293065 26430∼396390 22730∼340940 22690∼340305 30690∼460290 26120∼391800 26075∼391075 35265∼528960 250∼ 445∼ 705∼ 1020∼ 1285∼ 1705∼ 2180∼ 2710∼ 3305∼ 3935∼ 3715 6625 10550 15270 19205 25505 32695 40605 49550 58985 Ar アルゴン 4725∼ 70850 4715∼ 70715 6480∼ 95650 4605∼ 69015 9395∼140915 5515∼ 82680 5505∼ 82525 7445∼111625 5370∼ 80540 10965∼164445 6365∼ 95425 6350∼ 95245 8590∼128830 6200∼ 92955 12655∼189790 7275∼109080 7260∼108875 9820∼147265 7085∼106260 14465∼216950 8245∼123645 8230∼123415 11130∼166930 8030∼120450 16395∼245925 9275∼139125 9260∼138870 12525∼187830 9035∼135530 18450∼276715 11455∼171775 11435∼171455 15465∼231910 11160∼167335 22780∼341650 13970∼209550 13945∼209160 18865∼282905 13610∼204130 27785∼416780 1300A 1400A 1500A 3805 6790 10810 15645 19680 26135 33500 41605 50770 60435 O2 酸素 650A 700A 750A 1100A 1200A 255∼ 455∼ 725∼ 1045∼ 1315∼ 1745∼ 2235∼ 2775∼ 3385∼ 4030∼ CO2 二酸化炭素 255∼ 455∼ 725∼ 1045∼ 1315∼ 1750∼ 2240∼ 2780∼ 3395∼ 4040∼ 850A 900A 1000A 3815 6805 10830 15675 19715 26185 33560 41680 50865 60550 N2 窒素 150A 200A 250A 300A 350A 400A 450A 500A 550A 600A 800A 695∼103935 785∼117810 885∼132555 1095∼163655 単位:m3/h(nor) ■TH-3200-SP 口径 57525 65205 73365 90575 510∼ 7585 905∼ 13530 1440∼ 21545 2080∼ 31180 2615∼ 39215 3475∼ 52080 4450∼ 66755 5530∼ 82905 6745∼101170 8030∼120430 16225∼243355 33125∼496860 19070∼286015 38935∼583965 22145∼332125 45210∼678100 25445∼381675 51955∼779270 13A 都市ガス 165∼ 295∼ 470∼ 680∼ 855∼ 1135∼ 1455∼ 1805∼ 2200∼ 2620∼ 2475 4410 7025 10165 12785 16980 21770 27035 32990 39270 CH4 メタン 170∼ 300∼ 475∼ 690∼ 865∼ 1145∼ 1470∼ 1825∼ 2225∼ 2650∼ 2500 4465 7105 10285 12935 17180 22020 27350 33375 39730 C3H8 プロパン 165∼ 295∼ 465∼ 675∼ 845∼ 1120∼ 1440∼ 1785∼ 2180∼ 2590∼ 2445 4365 6950 10060 12650 16800 21535 26745 32640 38855 C4H10 ブタン 135∼ 240∼ 385∼ 555∼ 695∼ 920∼ 1180∼ 1465∼ 1790∼ 2130∼ 2010 3585 5710 8265 10395 13805 17695 21975 26815 31920 NH3 アンモニア 245∼ 435∼ 690∼ 1000∼ 1255∼ 1665∼ 2135∼ 2650∼ 3230∼ 3845∼ 3635 6480 10315 14930 18780 24940 31970 39700 48450 57675 3065∼ 45950 3100∼ 46490 3035∼ 45460 2490∼ 37350 4500∼ 67485 3575∼ 53625 3620∼ 54250 3540∼ 53055 2910∼ 43585 5250∼ 78755 4130∼ 61890 4175∼ 62615 4085∼ 61230 3355∼ 50305 6060∼ 90890 4720∼ 70745 4775∼ 71575 4670∼ 69995 3835∼ 57505 6930∼103900 5350∼ 80195 5410∼ 81135 5290∼ 79345 4350∼ 65185 7855∼117775 6020∼ 90235 6090∼ 91290 5955∼ 89275 4890∼ 73345 8835∼132520 7430∼111410 7515∼112715 7350∼110225 6040∼ 90555 10910∼163620 9065∼135910 9170∼137500 8965∼134465 7365∼110470 13310∼199600 10805∼162025 10930∼163920 10690∼160300 8780∼131695 15865∼237950 12700∼190430 12845∼192655 12565∼188405 10320∼154785 18645∼279665 14745∼221130 14915∼223715 14585∼218780 11985∼179735 21650∼324750 16945∼254120 17140∼257090 16765∼251415 13770∼206555 24880∼373200 ※測定レンジは0∼フルスケール流量となります。 例)TH-1100 50A AIRの場合 最小測定レンジ:0∼ 45 m3/h(nor) 最大測定レンジ:0∼840 m3/h(nor) [注意事項] (1)上記流量は20℃、1atmで使用した場合の値を0℃、1atmに換算した値です。 各口径の流量範囲において使用条件が0.1MPa以上かつ最大流量が表の最大流量の40%以下の場合弊社までお問い合せ下さい。 (2)使用流体が混合ガスの場合の物性値はVol%でご指示下さい。 TG-ES395-13 TOKYO KEISO CO., LTD. 19 TH THERMAL FLOWMETER 電気接続と専用信号ケーブル サーマルフローメータはセンサ(検出器)∼コンバータ(変換器)間を専用信号ケーブルで接続致します。詳細は下記表を参照願います。 ●電気接続と専用信号テーブル 検出器(センサ) 形 式 TH-1100, 1200, 1400, 1700, 1800, 1100-SP, 3200-SP TH-1100-HQ, 1500-HQ TH-3100, 3200, 3300 端末処理 専用コネクタ または M3.5ネジ端子 形 式 専用ケーブル 専用コネクタ M3.5ネジ端子 変換器(コンバータ) 端末処理 最長ケーブル長 TRX-600 棒状差込端子 50m TRX-700 棒状差込端子 100m TRX-900 M3ネジ端子 100m ご使用に際して ・ 一般のサーマルフローメータは、測定原理上、ダスト・ミストを含むガスや結露の可能性のあるガス計測には適しませんが、オプション仕様 としてエアーパージシステムもございますので、お問い合わせください。 ・ サーマルフローメータは流速検出形の流量計です。正確な計測のためには所定の上下流直管長が必要です。 詳細は納入仕様書あるいは取扱説明書をご参照下さい。 ※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。 東京計装株式会社はホームページを開設しています。 http://www.tokyokeiso.co.jp 製品についてのお問い合せを電子メールでも承ります。 anything@tokyokeiso.co.jp 使用可否、形式選定などなんでも(Anything)ご遠慮なくどうぞ。 製造品目 流量計 ● 面積式(パージメータ・パージセット含む) ● 差圧式(オリフィス・V コーン) ● 電磁式 ● 超音波式 ● コリオリ式 ● 渦式 ● 羽根車式 ● フローモニタ ● フロースイッチ ● サーマルフローメータ ● マスフローメータ・コントローラ ● 定流量弁 ● サイトグラス ● 開水路用流量計 液面計 ● フロート式 ● 金属管式 ● サーボバランス式 ● スプリングバランス式 ● トルクチューブ式 ● 磁歪式 ● 電波式 ● 超音波式 ● 圧力式 ● レベルスイッチ(フロート式・ディスプレーサ式・静電容量式) ● 光ファイバ・デジタルタンクゲージシステム ● 舶用液面計システム ● 受信計 その他 ● 各種表示器 ● 圧力発信器 ● 流量積算・記録計 ● 移動式定量出荷装置 ● 自動車用測定装置 ● プロペラ風速計 ● LNG/LPG 用密度計 ■仙台営業所 ■名古屋営業所 TEL 022-773-1451(代) TEL 052-953-4501(代) ■富山営業所 ■大阪営業所 TEL 076-493-8311(代) TEL 06-6312-0471(代) ■茨城営業所 ■岡山営業所 TEL 029-246-0666(代) TEL 086-421-6511(代) ■大宮営業所 ■徳山営業所 TEL 048-652-0388(代) TEL 0834-21-0220(代) ■長野営業所 ■北九州営業所 TEL 0263-40-0162(代) TEL 093-521-4170(代) 計量器製造事業登録事業所・高圧ガス試験製造認定事業所 本社:東京都港区芝公園1-7-24芝東宝ビル(〒105-8558)TEL 03-3434-0441 (代) 20 ■厚木営業所 ■熊本営業所 TEL 046-223-1141(代) TEL 096-375-7327(代) ■静岡営業所 TEL 0545-64-3551(代) TG-ES395-13
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