メタルシール

メタルシール
METAL SEALS
機器部品事業部
弊社は、総合シールメーカーとして、
Oリングを代表とするゴムシール製品、
キャップシールなどの樹脂製品及び
メタルOリングなどの金属シール製品の研究開発・生産を行ってまいりました。
これまでに培った技術力、豊富な材料の組み合わせ、
ユニークな発想を十分に生かして最適な形状設計と、
あらゆる分野でのご要求に対応できる体制を確立し、
品質・信頼性に関して常に高い評価を戴いております。
ISO 14001 / ISO 9001 / JIS Ｑ 9100認証取得
※
箕島製作所は、
ＩＳＯ14001、
ＩＳＯ9001、
およびＪＩＳＱ9100 を認証取得
しています。
登録日１９９９年１２月３日
登録日１９９６年１月１２日
ISO 14001
ISO 9001
登録No.JQA−EM0615
登録No.JQA−1139
登録日２００６年５月２６日
登録No.JQA−AS0023
該当製品又はサービスの範囲
ゴム製パッキン・ガスケット・成形品、ふっ素樹脂・高機能樹脂加工品、
メタルOリング・
Cリング・ガスケット及び航空機・自動車用ゴム・樹脂・金属・布の複合精密成形品の設計・
開発及び製造
※ JISQ9100の登録活動範囲は、
航空宇宙用の各種製品の設計・開発及び製造
＊この登録マークは、製品やサービスそのものの品質を保証するものではありません。
おことわり
このカタログに記載している数値は参考値であり、保証値ではありません。
また、性能改善のため予告なしに仕様を変更することがありますので、
ご了承ください。
目次
A
製品案内
1
B
メタルシールの材料
2
C
ご使用上の注意
2
D
メタルシール構成材料の耐薬品性
3
製品別メタルシールの紹介
E
メタルOリング
5
F
メタルCリング
7
G
サンカップ
9
H
メタルレジリエントシール
11
ボスシール
13
J
フレアシール
14
K
サンリーメス® シリーズ
15
L
メタルシールの使用例
19
I
A
製品案内
メタルシールは、高温・高圧・超高真空・極低温などの過酷な条件下で確実なシール性を発揮し
ます。
下表を参考に、流体、圧力、温度などの使用条件、必要な性能から、シール形状をご選定ください。
※サンリーメスシリーズについては、P15に記載しています。
表1
Oリング
Cリング
サンカップ
レジリエントシール
ボスシール
フレアシール
…………
…………
形
状
締
付
力
材
料
SUS321
SUS316L
インコネル600
表
面
被
覆
金、銀、銅、
ニッケル
インジウム等
のめっき
PTFEコーティング
SUS304
インコネルX−750
ジャケット：
インコネルX−750
SUS316L、
インコネルX−750
A286
ニッケル
SUS304
ばね：SUS304
金、銀、銅、
金、銀、銅、
ニッケル
ニッケル
表面被覆なし
インジウム等
インジウム等
（表面粗さ0.4S以下）
のめっき
のめっき
PTFEコーティング
PTFEコーティング
金、銀、銅、
ニッケル
インジウム等
のめっき
PTFEコーティング
ニッケル、
銅、
アルミニウム
SUS304
表面被覆なし
温度
範囲
−270∼700［℃］ −253∼800［℃］ −253∼400［℃］ −253∼800［℃］ −253∼800［℃］ −253∼800［℃］
圧
力
範
囲
1.33×10-10［Pa］ 1.33×10-8［Pa］ 1.33×10-10［Pa］ 1.33×10-8［Pa］ 1.33×10-8［Pa］ 1.33×10-8［Pa］
∼
∼
∼
∼
∼
∼
300［MPa］
80［MPa］
21［MPa］
50［MPa］
50［MPa］
50［MPa］
サイズ
復元量
特
徴
1
490∼4218［N／㎝］ 490∼1275［N／㎝］ 1472∼2943［N／㎝］ 392∼785［N／㎝］
外径：外径：内径：外径：外径：外径： 6.3
∼
2000［mm］
20
∼
200［mm］
4.4
∼
80［mm］
10
∼
260［mm］
15
∼
6
∼
42［mm］
30［mm］
0.1∼0.2［mm］
0.1∼0.2［mm］
…………
0.05［mm］
0.05∼0.15［mm］ 0.1∼0.15［mm］
¡最も実績のあるメ ¡メタル Oリングに ¡復元量が大きく、 ¡ Cリングと比較し ¡AS4395 のフィッ ¡MS24395 のフィ
タルシールです。
比べ締付力小。
温度・圧力サイク
ても、更に低い締
ティングエンド、ッティングエンド
とフレアーチュー
¡超高圧から超高真 ¡ 超高真空までシ
ルに対しシール
付力。
MS33649の
ブ間のガスケット。
空までの幅広い用
ール可能。
性を維持。
¡復元量が大きく、ねじ込み継ぎ手の
¡ 長寿命で再使用
途でシール性を発 ¡金型成形により、 ¡ 表面被覆なしで
フランジのたわみ、ガスケット。
可能。
揮。
大量生産可能。
性能を発揮。
温度・圧力サイク
¡ 高圧ガスでの使
（めっきは最大外径
ルに対しシール
用が可能。
1200mmまで）
性能維持。
B
メタルシールの材料
Ｏ
リ
ン
グ
Ｃ
リ
ン
グ
表2
SUS321
機械的性質は同等。
いずれも汎用材。
SUS304
−270∼500
○
耐食性材料。腐食環境等に使用。
○
Cリングの標準材料。
高強度材料。サンリーメスⅠの標準材料。
SUS630
硬化処理により、ばね性を付与し、高負荷用途に使用可能。
A1050
−270∼130
A5052
−270∼180
A5056
表
面
被
覆
メタルOリングの標準材料。
SUS301
材インコネル600 −270∼700
質インコネルX-750 −270∼800
A286
−270∼700
ニッケル
室温∼500
レ
ジ
リ
エ
ン
ト
ボ
ス
シ
ー
ル
フ
レ
ア
シ
ー
ル
特徴
温度範囲［℃］
SUS316L
サ
ン
カ
ッ
プ
Ni系耐熱材料。500℃以上で使用するOリング素材。
サ
ン
リ
ー
メ
ス
Ⅰ
サ
ン
リ
ー
メ
ス
Ⅱ
サ
ン
リ
ー
メ
ス
Ⅲ
○
○
○ ○
○ ○
○
○
○
Ni系耐熱・耐食性材料。硬化処理により、ばね性を付与し、高負荷用途に使用可能。
○ ○
○
鉄系耐熱・耐食性材料。
○
耐アルカリ性に優れる。
○
純アルミニウム。フレアシール等の標準材料。
○
○
サンリーメスⅡの標準材料。
○
サンリーメスⅢへ使用可能。
○
金
−270∼800
腐食性流体に使用。フランジへのなじみに優れ、耐酸性良好。
○ ○
○ ○
○
○
銀
−270∼500
腐食性流体以外に使用する標準仕様。300℃以下では金めっきと同等のシール性。 ○ ○
○ ○
○
○
銅
−270∼400
安価なめっきで銀めっきよりシール性はやや劣る。
○ ○
○ ○
○
○
ニッケル
室温∼700
高温での液体シールに使用。真空・ガスのシールではフランジの超仕上げが必要。 ○ ○
○ ○
○
○
○ ○
○
○
PTFE
−270∼200
被覆なし特殊研磨（超研磨）
C
―
極低温や低温⇔室温でのヒートサイクル用途に最良。化学的に安定。
○ ○
表面粗さ0.4S以下。シールとともにフランジの超仕上げも必要。
○
○
ご使用上の注意
装着時の注意
● メタルシールの表面にきずをつけないように、十分注意してください。
特にめっき、コーティング品は、表面が柔らかいため取り扱いを慎重に行ってください。
● フランジの溝にシール性能を損なうきず、特にシールラインを横切るきずなどがないことを確認し
てから、装着してください。
● 異物をかみ込むとリークの原因となりますので、フランジの溝はアセトンなどで清浄してからメタ
ルシールを装着してください。
● メタルOリングは、原則として再使用できません。
保管時の注意
● めっき品は酸化して変色しやすいため、湿気の多い場所を避け、ポリエチレン製の袋などに入れ、
密封保管してください。
2
D
メタルシール構成材料の耐薬品性（参考）
メタルシール構成材料の耐薬品（環境抵抗）を、表3-1、表3-2にまとめました。
メタルOリングのチューブの厚さは最小0.25mmであり、表面被覆厚さは約40μmですので、使用可
否の判定は一般の耐食データよりも、厳しいものとしました。
● サンフロン®コーティング（PTFE）の耐薬品性は極めて優れたものですが、
皮膜にマイクロボイドがあるため、ベースメタルの耐食保護材としての効果は
あまり期待できません。
基準
記号
判定
侵食度［mm/年］
変色・劣化
○
良、
使用上支障なし
0.1以下
ほとんど無し
△
可、
使用に耐え得る
1.0以下
わずかに有り
×
否、
使用不可
1.0以上
著しい
―
データなし、
もしくはデータ不足
表3-1
メタルシール材料
媒体
状態
アンモニア NH3
塩素ガス
CI2
酸素
O2
水蒸気
H2O
水素
H2
炭酸ガス
CO2
ふっ素ガス F2
3
温度
［℃］
SUS321
（SUS316L）インコネル600
表面被覆
Ag
Cu
Ni
サンフロン®
コーティング
冷
―
○
△
○
×
×
○
温
―
△
△
○
×
×
○
乾
25
△
○
○
△
△
△
湿
25
×
×
○
×
×
△
冷
―
○
○
○
○
○
○
温
500以下
○
○
○
×
○
×
―
250以下
○
○
○
○
○
○
―
500以下
○
○
○
×
△
×
冷
―
○
○
○
○
○
○
温
―
○
○
○
×
×
×
乾
100
○
○
○
○
○
○
湿
25
○
○
○
△
○
○
乾
25
×（△）
○
○
×
△
×
湿
25
×
×
○
×
×
×
表3-2
メタルシール材料
媒体
塩酸
クロム酸
硝酸
HCI
H2CrO4
HNO3
ふっ化水素酸 HF
濃度
［％］
温度
SUS321
［℃］（SUS316L）インコネル600
表面被覆
Ag
Cu
Ni
サンフロン ®
コーティング
3
25
×
×
○
×
×
○
10
25
×
×
○
×
×
○
37
100
×
×
×
×
×
○
10
25
○
○
×
×
△
○
20
20
○
○
×
×
×
○
36.5
90
△（○）
△
×
×
×
○
50
B.P.
×
×
×
×
×
○
10
25
○
△
×
×
×
○
50
25
○
×
×
×
×
○
65
25
○
×
×
×
×
○
65
B.P.
×
×
×
×
×
○
30
50
×
×
○
△
×
×
ほう酸
H3BO3
飽和
100
○
×
△
×
×
○
硫酸
H2SO4
全
全
×
×
×
×
×
○
10
100
○
○
○
×
×
○
80
100
○
○
○
×
×
○
80
B.P.
×
×
△
×
×
○
20
B.P.
○
○
○
△
○
○
50
B.P.
△
○
○
×
○
○
飽和
25
○
○
―
△
△
○
海水
―
25
○
○
○
○
△
○
塩化ニッケル NiCl2
―
―
×
×
―
×
×
○
塩化マグネシウム MgCl2
20
25
△
○
○
×
○
○
硫黄
―
130
（溶融）
○
△
×
×
×
○
―
445
（B.P.）
×
×
×
×
×
×
過酸化水素 H2O2
30
25
○
○
○
×
○
○
シアン化カリウム KCN
50
25
○
○
×
―
○
○
重クロム酸カリウム K2Cr2O7
25
B.P.
○
―
―
―
―
○
水銀
―
50
○
○
×
×
○
○
飽和
B.P.
○
○
―
△
○
○
10
25
○
○
○
×
△
○
飽和
25
○
△
○
×
△
○
全
25
○
○
○
○
○
○
アルコール C2H5OH
全
25
○
○
○
○
○
○
グリセリン C3H8O3
―
25
○
○
○
○
○
○
四塩化炭素 CCI4
―
B.P.
△
○
○
△
○
△
石油
―
―
○
○
○
○
○
○
溶融プラスチックス
―
―
○
○
○
×
○
×
リン酸
H3PO4
水酸化ナトリウム NaOH
炭酸ナトリウム Na2CO3
S
Hg
炭酸カルシウムCaCO3
シュウ酸
（COOH）
2
ピクリン酸 C6H3O7N3
アセトン
CH3COCH3
4
E
メタルOリングについて
メタルOリングは、高温高圧などの過酷な条件下でも高度なシール性を発揮し、その優秀
性は、各方面から高い評価をいただいてまいりました。
さらに弊社では、高圧シールよりも困難とされている超高真空・極低温においても高いシ
ール性を保持するメタルOリングを製作しています。
メタルOリングの特徴
1）−270［℃］の極低温から+700［℃］までの高温に使用できます。
2） 294［MPa］
（3000［kgf／cm2］
）の超高圧から、
1.33×10−10［Pa］
の超高真空までをシールします。
3）シールに要するスペースが小さくてすむため、コンパクトな設計が可能です。
4）他の金属製ガスケット（銅ガスケット）よりも、フランジの締付け力を低減できます。
メタルOリングのシール機構
メタルOリングはフランジ溝に装着し、つぶしを与えることにより、その反力によって流体
をシールします。ただし、取り外したOリングの再使用はできません。
チューブの種類により、流体圧力が 6.9
［MPa］
（70［kgf／cm2］
）をこえる高圧の場合は、Oリ
ングの流体側に穴をあけ、中空部分に流体圧を導入し、シール力を増加します。
図1 穴なしの場合
図2 穴ありの場合
5
メタルOリングの呼び方
A 01000 AA
ご注文の際は、サイズ、仕様
を右の呼び方でご指定ください。
④表面被覆・穴
①チューブ径
②Oリング外径
③材質・肉厚
表4 チューブサイズ一覧
―
A 1.57
○
○◎
―
―
―
―
12∼60
10∼300
C 2.39
○
○
○◎
―
―
―
50∼150
20∼350
E 3.18
○
○
○
（○◎）注3
○◎
―
150∼1200
40∼1400
I 4.77
―
―
○
―
○
○◎
―
200∼2000
0.25
0.35
0.50
0.70
0.80
1.10
A
B
C
D
E
F
H
J
K
L
M
N
R
S
T
U
V
W
G 0.89
チューブ径
（サイズ）
肉厚t
材料
標準 SUS321
インコネル600
特殊
（注4）
SUS316L
③
注1.
注2.
注3.
注4.
注5.
標準範囲 OD 製造可能範囲
○◎
①
―
―
―
―
6.3∼12
6.3∼60
○：製造可能サイズ
◎：超高真空推奨サイズ
金めっき品はφ400mm以下、
インジウムめっきはφ200mm以下に限る。
φ1200mmを越える銀めっき品については、事前にご相談ください。
外径が150mm以下に適用する。
特殊材料については、
サイズがないものがありますので、
別途お問い合わせください。
4.77mmサイズは標準外サイズですので、
別途お問い合わせください。
②Oリング外径…1インチ=1000で表示しますが、詳しくは弊社カタログNo.76「メタルOリング」をご覧ください。
〈注意〉…AO1000◇◇ 省略しないようにお願いします。
表5 ④表面被覆・穴
表面被覆なし
銀
サンフロン
0
A
G
M
S
U
V
1
B
H
N
△
△
△
穴数穴なし
内穴
外穴
銅
インジウム
ニッケル
2
C
I
O
T
△
W
4
D
J
P
X
△
Y
2
E
K
Q
△
△
△
4
F
L
R
△
△
Z
注6. 金めっきをご希望の
場合は、別途ご指定
ください。
△：特注可能.
表6 メタルOリングの単位長さあたりの締付け力
チューブ径
［mm］
0.89
1.57
2.39
3.18
4.77
肉厚
標準つぶし量
［mm］
［mm］
0.25
0.25
0.35
0.25
0.35
0.50
0.25
0.35
0.50
0.70
0.80
0.50
0.80
1.10
0.25
0.35
0.40
0.50
0.70
締付け力
［N/cm］
（［kgf/cm］）
1716
980
2059
490
1225
1667
343
833
1225
2549
3285
590
1670
4216
（175）
（100）
（210）
（50）
（125）
（170）
（35）
（85）
（125）
（260）
（335）
（60）
（170）
（430）
弾性復元量
［mm］
0.04
0.05
0.05
0.07
0.06
0.06
0.07
0.06
0.05
0.05
0.05
0.09
0.07
0.05
●メタルOリングに表面被覆なしで
の値です。
詳細については、弊社カタログ
No.76 「メタル Oリング」を
ご覧ください。
6
F
メタルCリング
メタルCリングは、断面C字形の固定用ガスケットです。
構造上、圧力によりシール面圧が増す自封性シールであり、高温・極低温・高圧・超高真空
の過酷な条件で、安定なシール性を発揮します。
●標準品は、JIS B 2290真空装置用フランジの呼び径10∼150に対応した10種類です。
…SUS304製、外圧タイプのみ。内圧用、固定軸用は都度ご相談お願いします。
● 標準材料はステンレス鋼（SUS304）です。耐熱用材料のインコネルX-750は別途ご相談お
願いします。
選定法
表7
メタルCリング
用途
種類
P／N
装着図（例）
使用条件
材料
固
定
フ
ラ
ン
ジ
圧力
SUS304
MCVXXXXA
温度
密封流体
6.9MPa
∼
30∼50μm
1.33×10-8Pa −253
銀めっき
MCVXXXXG
外
圧
用
表面被覆
なし
78.4
∼
0MPa
超高真空
気体標
∼
準
＋400℃
液体品
6.9MPa
∼
30∼50μm
1.33×10-8Pa −253
銀めっき
MCFXXXXG
内
圧
用
SUS304
MCFXXXXA
なし
78.4
∼
0MPa
超高真空
特
気体 ∼
注
＋400℃
液体品
注1. 固定フランジ内圧用は特注品（専用治具が必要）です。
圧縮・復元特性
1500
単
位
長
さ
当
た
り
の
締
付
け
力
︵
Ｎ
／
cm
︶
●他のサイズについても概略
同様の値となります。
1000
500
0
3.8
3.7
3.6
3.5
3.4
3.3
3.2
セット高さ（mm）
図3 荷重特性
7
3.1
3.0
2.9
2.8
寸法および溝寸法
WA
3.2S(MCV××××G)
1.6S(MCV××××A)
H
H
糸面取り∼CI
ID
WB
12.5S
（真空側）
G
Φdv
溝詳細
G
表8
メタルCリング（表面被覆なし）
呼び番号
ID
WA
MCV0024A
MCV0034A
MCV0040A
MCV0055A
MCV0070A
MCV0085A
MCV0100A
MCV0120A
MCV0150A
MCV0175A
25.5
35.5
41.5
56.6
71.6
86.7
101.7
122.0
152.0
177.0
3.65
溝寸法（注3）
WB（参考）T（参考）
2.8
0.6
dv
25.0
35.0
0
41.0 −0.15
56.0
71.0
86.1
101.3
121.3 0
−0.2
151.3
176.3
G
5+0.1
0
H
0
3 −0.1
表9
メタルCリング（銀めっき）
呼び番号
ID
WA
MCV0024G
MCV0034G
MCV0040G
MCV0055G
MCV0070G
MCV0085G
MCV0100G
MCV0120G
MCV0150G
MCV0175G
25.42
35.42
41.42
56.52
71.52
86.62
101.62
121.92
151.92
176.92
3.73
溝寸法（注3）
WB（参考）T（参考）
2.84
dv
24.92
34.92
0
40.92 −0.15
55.92
70.92
0.64 86.02
101.22
121.22 0
−0.2
151.22
176.22
G
5+0.1
0
H
0
3 −0.1
注2. フランジ厚さ、ボルト数はゴムOリングのときと同じで使えます。
注3. JIS B 2290真空フランジの溝寸法を基準とした推奨値です。
8
G
サンカップ
サンカップは耐腐食性、低脱ガス性の純ニッケル、または、SUS316Lジャケットにコイ
ルばね（SUS304）を内蔵したメタルCリングで、半導体関連機器および継ぎ手部用に開発
されたガスケットです。
● 清浄度管理されたクリーンなメタルガスケットです。
● −253［℃］の極低温から、+400［℃］の高温までの温度範囲で使用可能です。
● 1.33×10 -10［Pa］の超高真空から、21［MPa］の高圧までのガスをシールすることができます。
● ばねのアシストによる弾性復元量が期待でき、温度サイクル、圧力サイクルに対し、シー
ル性能を維持します。
構造
密封機構
締付反力
純ニッケルまたは
SUS316L
SUS304-WPB
ジャケット
コイルばね
流体圧
WA
サンカップはジャケットに内蔵されたコイルばね
の締付け反力により、流体の密封に必要なシール
面圧が得られます。
I.D.
寸法および溝寸法
表10 サンカップの標準断面寸法における推奨溝寸法
溝寸法
サンカップの断面径
内径製作範囲
WA
I.D
深さ K
幅 GL
1.7
4.4∼25.0
1.25±0.05
2.2以上
2.0
10.0∼35.0
1.50±0.05
2.6以上
2.6
20.0∼50.0
2.10±0.05
3.3以上
3.6
40.0∼80.0
3.00±0.05
4.5以上
内径 D
『サンカップの
I.D.-0.20』
以下
内圧用及び真空用の溝形状
K
K
糸面取り
（代表）
R0.38以下
（代表）
GL
φD
GL
φD
注1. サンカップのジャケット材料は比較的硬く、展延性に乏しいので溝部の超仕上げが必要です。
● サンカップは、全品金型による成形となりますので、事前のご相談をお願いいたします。
9
呼び方
MCVS 0062 A N
サンカップを表す
ジャケット材料
N 純ニッケル
内径寸法×10（0062は内径6.2mm）
C SUS 316L
断面径
A
1.7
B
2.0
C
2.6
F
3.6
注2. ニッケルジャケットは密封流体が硝酸系のときは使用できません。
図4 圧縮・復元特性
サンカップ（純ニッケルジャケット）の断面径ごとの圧縮・復元特性は次のとおりです。
SUS316Lジャケットの締付力は純ニッケルジャケットの30％増です。
WA=1.7
WA=2.6
3000
2500
締
付 2000
け
力
Ｎ 1500
／
ｃｍ
I.D=4.4のとき
I.D=6.2以上
のとき
1000
50
0
0.1 0.2
0.3
0.4
0.1 0.2
0.3
圧縮量 mm
圧縮量 mm
WA=2.0
WA=3.6
0.4
0.5
0.4
0.5
2500
2000
締
付 1500
け
力
1000
Ｎ
／
ｃｍ
50
0
0.1 0.2
0.3
0.4
0.5
圧縮量 mm
0.1 0.2
0.3
0.6
圧縮量 mm
注3. 上記データは±10％のばらつきがあります。
10
H
メタルレジリエントシール
メタルレジリエントシールDMFシリーズは、耐食・耐熱合金インコネルX―750素材を精密
加工し、表面に高品質の軟質金属めっきまたはPTFEコーティングを施したものです。
当初、H ―Ⅱロケットの液体水素／液体酸素エンジンおよび各種コンポーネントのフェース
シールとして開発し、採用されており、品質、信頼性とも高水準な製品です。
また、近年は真空機器・半導体分野を始めロケット分野以外での検討・採用も増加しています。
● −253［℃］の極低温から+800［℃］の高温まで使用できます。
● 1.33×10-8［Pa］
の超高真空から、50［MPa］
の高圧まで有効に機能を発揮します。
● 392∼785［N／cm］
（40∼80［kgf／cm］）
という低締付力で、信頼性の高いシール性が得られます。
● 外径約10∼260［mm］までの範囲で、自由に寸法を選択できます。
…これ以外の範囲については、別途ご相談ください。
● 構造や素材自体による弾性復元量が確保されていますので、
①フランジのたわみに対し追随性がよい。
②温度サイクル、圧力サイクルに対してもシール性を維持します。
③使用法により、再使用が可能です。
● DMFシリーズには、3種類の断面とさらに大・中・小断面のサイズがあります。
使用条件やシール取り付け部のスペースに応じて、最適なものをご選択ください。
表11 レジリエントシールの断面形状
タイプ
断面形状
特徴
U型
弾性復元量が大きく、フランジのたわみに対する追随性が特に優れている。
K型
コンパクトな溝設計で使用できる。
V型
特に小径のシールに適し、コンパクトで高圧のシールも可能。
密封機構
溝壁
シール面
低圧時（0.5［ MPa］以下）
はシールの締付け反力により、流体を密封します。
ガスシールに必要な最小締付け力［N／cm］は常温で表12のとおりです。
表12
締付け
ボルト
圧力
被覆材
単位：N/cm
タイプ
金or銀めっき
PTFEコーティング
U型
K型
V型
294
147
392
147
490
147
高圧時は流体圧がシール面に働き、初期締付け力＋流体圧による反
力がシール面に作用します。高圧時は溝壁とシールのすきまをできるだ
け小さくしてください。
11
呼び方
DMF - U M I 0450 S
めっきまたはコーティングの材料
レジリエントシール
S 銀めっき
シール断面形状
G 金めっき
シール断面の大きさ
S
シールの圧力方向
小断面
I
内圧用
M 中断面
E
外圧用
L
N ニッケルめっき
T PTFEコーティング
大断面
内圧用シールの外径寸法×10［mm］
または外圧用シールの内径寸法×10［mm］
表14 外圧型 ID許容差
表13 内圧型OD許容差
内圧型OD
OD許容差
−0.03
−0.10
−0.05
−0.15
−0.08
−0.20
−0.10
−0.25
6.0＜OD≦50
50＜OD≦100
100＜OD≦200
200＜OD≦260
表15 各断面と溝サイズ
断面の
大きさ
Uタイプ
Kタイプ
Vタイプ
＋0.05
0
＋0.05
OD
0
＋0.10
OD
0
＋0.15
OD
0
OD
外圧型ID
ID許容差
0.25
4.0＜ID≦50
0.35
50＜ID≦100
0.60
100＜ID≦200
0.80
200＜ID≦250
+0.10
+0.03
+0.15
+0.05
+0.20
+0.08
+0.25
+0.10
溝内径許容差 R最大
0
−0.05
0
ID
−0.05
0
ID
−0.10
0
ID
−0.15
ID
0.25
0.35
0.60
0.80
普通寸法許容差±0.05mm。
S
H GL D or d
3.4
2.1
1.1
溝外径許容差 R最大
M
H GL D or d
6.5 50∼130 3.7
3.7 13∼30 2.4
1.5 6∼25
1.6
L
H GL D or d
7.5 70∼200
5.3 25∼100
2.0 20∼50
4.0 7.5 130∼260
3.2 5.4 75∼150
A
A
+0.05
+0.05
C0.5
以下
R
H 0
H 0
R
0.05 A
C0.5
以下
0.05 A
GL
（ただし、VタイプはC0.2以下）
最小
d
（溝内径）
GL
D
（溝外径）
内圧用
図5 圧縮・復元特性
外圧用
U 型
K 型
V 型
（中断面シールのとき）
500
500
締
付 400
力
︵
Ｎ 300
／
ｃ
ｍ
︶ 200
400
● 他のシール断面はお問い合わせください。
600
300
400
200
100
0
800
200
100
0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6
0
0.1 0.2 0.3 0.4
0
0.1 0.2 0.3
圧縮変形量（1例）（mm）
12
I
ボスシール
ボスシールDMBシリーズは、AS4395のフィッ
ティングエンド、MS33649ボスとのねじ込み継
手部のガスケットです。
● −253［℃］の極低温から+800［℃］の高温
まで使用可能です。
● 長寿命で使用法により再使用が可能です。
● 使用温度、流体に応じて材料が選択できます。
呼び方
DMB - 04 C S
めっきまたはコーティングの材料
ボスシール
S 銀めっき
G 金めっき
T PTFEコーティング
フィッティング・ボスのDash No A A286
識別
線2本
C SUS304
線1本
本体材料
X X-750
なし
表16
Dash No
02
03
04
05
06
08
10
12
16
標準締付トルク［×10-1 N・m］
A
DMB-＊＊AS DMB-＊＊CS
150
75
14.3
200
100
15.9
300
150
17.5
400
200
19.1
500
250
20.6
700
400
25.4
900
500
28.6
1100
600
35.6
1500
800
42.1
B
T
φA
8.3
9.8
11.5
13.1
1.5∼
14.7
1.6
19.5
22.7
27.5
33.9
T
φB
識別線
表17 本体及びめっき、コーティング材料の選定
本体
めっき又はコーディング
13
記号
A
C
X
S
G
T
材料
A286
SUS304
X-750
銀めっき
金めっき
PTFEコーティング
適用規格
AMS5735
JIS G4304
AMS5671
AMS2410
MIL-G-45204
AMS2515
使用温度範囲［℃］
−253∼＋700
−253∼＋400
−253∼＋800
−253∼＋500
−253∼＋800
−253∼＋200
J
フレアシール
フレアシールMSCシリーズは、MS24395
のフィッティングエンドとフレアチュー
ブとの間のガスケットです。
● −253［℃］の極低温から+800［℃］
の高温まで使用可能です。
● 長寿命で使用法により再使用が可能です。
● 使用温度、流体に応じて材料が選択で
きます。
呼び方
MSC - 06 C
（37°）
フレアシール
φD
A
t
+0.38
C
0
+0.12
0
平坦部
材料
Dash No B
表18
記号
材料
材料規格
硬さHv
A
純アルミ
JIS H 4000
40
C
無酸素銅
QQ-C-576
60
N
ニッケル
JIS H 4551
150
S
SUS
JIS G 4307
160
0
−0.38
表19
Dash No チューブサイズ A（参考）
02
1/8
6.10
03
3/16
7.67
04
1/4
8.99
06
3/8
11.96
08
1/2
16.48
10
5/8
19.35
12
3/4
23.70
B
1.52
1.91
2.41
2.67
C
D
6.22
2.62
7.80
4.22
9.12
5.41
12.09
8.59
16.61
11.33
19.48
14.27
23.83
17.45
（素材厚）
t
0. 13
0. 25
表20 材料と適用温度・流体
材料
使用温度範囲［℃］
純アルミ
−253∼＋130
LH2, H2, O2, GHe, 硝酸酸素
無酸素銅
−253∼＋400
GHe, GN2, JP-4,LN2
ニッケル
−253∼＋800
LH2, LN2, JP-4
SUS
−253∼＋800
ヒドラジン
（UDMH、MMH）
, 硝酸
包装色別
使用可能流体
緑
空気
無色
作動油
青
ピンク
14
K
®
サンリーメスシリーズ
サンリーメス®シリーズは、メタルシールとしての長所を持ちながら、小さな締付力で大きな復元量を
有する全く新しいメタルシールです。
注）「サンリーメス／SUNLIMES」は当社の登録商標です。
表21
サンリーメスⅠ
サンリーメスⅡ
サンリーメスⅢ
締付力※1
（代表例）
メタルＯリングの1/3
メタルＯリングの1/5
メタルＯリングの3/4∼1/3
材料
SUS301
表面被覆
金、銀などの金属めっき、
サンフロン® コーティング等
不要
温度範囲※3
−196∼300
［℃］
RT∼150
［℃］
圧力範囲
真空∼10
［MPa］
真空
サイズ
外径：11.5∼66［mm］
外径：34∼62
［mm］
外径：4∼70
［mm］
復元量
0.5
［mm］
（メタルOリングの10倍）
0.05
［mm］
0.05
［mm］
特徴
大きな復元量によりシール
の再使用が可能。上下のシ
ール位置が異なるため、使
用状況に応じてフランジの
再使用が可能。
形状
アルミニウム合金＋フッ素ゴム SUS316L、
アルミニウム合金
ゴムＯリングと比較して、耐
食性、耐オゾン性、耐プラズ
マ性、耐放射線性が向上。
ISO-KFフランジの対応形状
あり
（センターリングタイプ）
。
※1 当社比 ※2 用途に応じて表面被覆可 ※3 当社評価範囲
15
不要※2
−10∼180
［℃］
（SUS）
RT∼180
［℃］
（アルミ合金）
真空
小ロット、小サイズ
（≧OD3.5［ mm］）の製造が
可能。
表面被覆なしで超高真空シ
ールが可能。
サンリーメスⅠ
金属材料を断面S字状の皿ばね形状とすることで、締付力はばねの反発力として蓄えられるため、大き
な復元量が得られます。また、シール面での塑性変形もほとんどないため、小さな締付け力でシールに
必要な高い面圧が得られます。
＜シール性能＞
◆高真空∼10MPaまでのシールが可能
◆金属めっき品･･･メタルＯリング並のシール性を有します。
＜再使用性＞
◆大きな復元量によりシールの再使用が可能です
◆上下のシール位置が異なるため、フランジの再使用が可能です。
シール面
＜取り扱い性＞
◆スペーサによる組付けが可能です。
呼び方
シール面
SL1 - 0233 A A
サンリーメスⅠを表す
G
S
N
A
WA寸法
外径寸法×10（0233は外径23.3［mm］）
A ≦1.8
B ≦2.2
C ≦2.6
D ≦3.0
E ＞3.0
寸法および溝寸法
金めっき
銀めっき
ニッケルめっき
めっきなし
表22 サンリーメスⅠの標準品における推奨溝寸法
サンリーメスⅠ寸法
P/N
ID
OD
WA
SL1-0183A※
13.5
18.3
1.8
SL1-0233B※
18.5
23.3
2.0
SL1-0350C※
27.8
35.0
SL1-0400D※
32.8
40.0
SL1-0450D※
37.8
45.0
溝寸法
（参考）
t
0.7
GF（幅）
3.2
＋0.25
2.7
3.0
0
1.0
4.7
H（深さ）
1.2
12.6
1.3
17.6
1.6
＋0.1
1.9
H
GF
26.6
DF（外径）
19.0
＋0.15
0
24.0
36.0
31.6
41.0
36.6
46.0
＋0.15
0
H
溝部詳細
dF
dF（内径）
溝部詳細
GF
H
H
DF
dF
GF
金属めっき：1.6S
DF
16
サンリーメスⅡ
凹部付きゴムＤリングをリップ付きＣ字状のアルミのジャケットで覆った構造で、ゴムを内包す
ることでゴムシールに近い低締付力を得ることができます。また、シール表面を金属のアルミに
することで、ガスの透過とアウトガスを抑制することができます｡
＜シール性能＞
◆配管継手ＩＳＯ−ＫＦフランジ用のセンターリングに適用可能で、
メタルＯリング並のシール性を有します。
＜クリーン＞
シール面
◆表面被覆がないためアウトガス、コンタミが低減できます。
◆半導体分野などの高純度用途への適用が可能です。
＜耐性＞
◆ゴムＯリングのセンターリングと比較して、耐食性、耐オゾン性、
耐プラズマ性、耐放射線性が向上します。
シール面
呼び方
サンリーメスⅡ
100000
10000
SL2 - 0525 Ａ
サンリーメスⅡを表す
WA寸法
A ≦3.0
B ≦4.0
C ≦5.0
締 1000
付
力
︵ 100
Ｎ
︶
10
サンリーメスⅡ（W＝3.8）
メタルOリング（3.18×0.8）
ゴムOリング（W＝3.53 硬さ80）
外径寸法×10
（0525は外径52.5
［mm］）
1
0.0
0.5
1.0
つぶし量
（mm）
1.5
図6 サンリーメスⅡのつぶし量と締付力の関係
サンリーメスⅡ（センターリングタイプ）
サイズ
SL2 - NW16
サンリーメスⅡを表す
センターリングの呼び径
P/N
ID
OD
SL2-NW16
15.0
28.4
SL2-NW25
24.0
38.4
SL2-NW40
39.0
53.4
SL2-NW50
50.0
64.4
リング
（ジャケット）
… A1050
Dリング…フッ素ゴム
注）
クランプはナット締めとして下さい。
17
サンリーメスⅢ
上下面の対角にシール面となるＲ状の突起を設けている構造により、シールを圧縮した際にはシ
ールにねじりが生じ、固体を単純に圧縮した場合の急激な締付力の増加を防ぎます。シール面を
突起部とすることで、小さい締付力でもシールに必要な面圧を得ることができます。
＜シール性能＞
−10
◆1.33×10 ［Pa］
の超高真空に適用可能です。
＜クリーン＞
◆表面被覆なし品ではアウトガスやコンタミが低減できます。 ◆半導体分野などの高純度用途への適用が可能です。
シール面
＜その他＞
◆小ロット、小サイズ（≧OD3.5mm）の製造が可能です。
◆用途に応じて各種表面被覆が可能です。
シール面
呼び方
ＳＬ3 - 0233 ＡＡ - □
素材
サンリーメスⅢを表す
空白 SUS316L
A アルミニウム合金
外径寸法×10
（0233は外径23.3
［mm］）
WA寸法
表面被覆材料
A
B
C
D
E
G
S
A
≦1.8
≦2.2
≦2.6
≦3.0
＞3.0
金めっき
銀めっき
めっきなし
3
単
位
長
さ
あ
た
り
の
締
付
力
︵
kN
／
cm
︶
メタルOリングの値
2
1
外径：φ7.3mm
0
0.00
0.05
0.10
0.15
0.20
0.25
0.30
つぶし量
（mm）
図7 サンリーメスⅢのつぶし量と締付力の関係（SUS316L代表例）
18
L
メタルシールの使用例
K
L
GD
K
L
GD
L
GD
K
図8 熱交換器のジョイント部
図9 管フランジのジョイント部
GD
GD
L
K
L
図10 圧力容器のふた
19
K
図11 ノズルのシール
メタルシール用途例
航空・宇宙
・ロケットエンジン用
・ロケット燃料のタンク・バルブ・配管用
・真空容器用
・ＣＶＤ装置用
半導体・液晶
・熱拡散炉装置用
・石英フランジ用
・マスフローコントローラ用
（超研磨）
メタルＯリング
自動車
原子力
・エンジン用インジェクタ用
・原子炉圧力容器の耐圧部用
・原子炉１次冷却材ポンプ用
・ターボチャージャー用
・ボイラー給水ポンプ用
一般産業
・燃焼炉酸素センサ−用
・射出成型機ホットランナー部
・射出ノズル用
・押出し機ヘッド部
メタルＣリング
機械
原子力
サンカップ
半導体・液晶
航空・宇宙
・電子顕微鏡、電子ビーム描画装置用
・熱分解装置
・原子炉２次主冷却系循環ポンプ用
・半導体製造装置の継手用
・ガス分析装置
・ロケット燃料のバルブ・配管用
・有機ＥＬ蒸着装置用
レジリエントシール
半導体・液晶
・真空蒸着装置用
・ＣＶＤ装置用
・石英用
原子力
・加速器用
ボスシール
航空・宇宙
・ロケット燃料の継手部用
フレアシール
航空・宇宙
・ロケット燃料のバルブ・配管用
・レベル計のシール
半導体・液晶
・スピンナー（コータ・デベロッパ）
用
・石英用
サンリーメスⅠ
・直噴ガソリンエンジン用
自動車
・排気系シール
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