IC-CAP カスタムツール 及び コンサルティングサービスの紹介 2010 年 11 月 01 日 Rev 2.4.3 1 目次 改訂履歴 ......................................................................................................................................................3 本資料の内容：.............................................................................................................................................4 IC-CAP カスタムツールのご紹介 ..............................................................................................................5 IC-CAP カスタムツールの全体図..................................................................................................6 HTML レポート作成ツール（RMS エラー計算機能付） ..................................................................7 自動測定ツール（セミオートプローバー自動制御ツール） .............................................................9 TCAD データ読み込みツール ......................................................................................................10 多点測定データ処理ツール ..........................................................................................................11 データ入出力ツール......................................................................................................................15 モデル検証ツール （Model Verification Tool）.............................................................................17 その他開発中のツール紹介： ....................................................................................................................20 プロセスベース統計モデル作成ツール........................................................................................20 Typical/Corner モデル作成ツール ...............................................................................................23 パラメータ抽出ツール ...................................................................................................................28 1/f ノイズ測定システムの紹介： ................................................................................................................29 コンサルティングサービスの紹介 .............................................................................................................32 アドバンスドモデリングサービス ・モデリングコンサルティング.................................................32 技術支援サービス（オンサイトサポート 1day コンサルティング） .........................................................33 1/f ノイズ測定 抽出サービス ........................................................................................................34 モデリングに関するコンサルティング/トレーニング .....................................................................35 モデル基礎技術トレーニング.............................................................................................................36 IC パッケージ・モデリング・トレーニング ...........................................................................................37 コンタクトピンモデリングコンサルティング/トレーニング..................................................................38 波形観測ポイント移動とディエンベッド・ コンサルティング・ソリューション.....................................40 1/f ノイズ基礎と測定トレーニング .........................................................................................................42 お問い合わせ窓口 ........................................................................................................................43 2 改訂履歴 Rev. 変更日付 理由 変更者 1.0.0 1.1.0 1.1.1 2.0.0 2009 年 07 月 08 日 2009 年 07 月 27 日 2009 年 08 月 06 日 2009 年 8 月 27 日 モンズル モンズル モンズル モンズル 2.1.0 2.2.0 2009 年 10 月 7 日 2.3.0 2.4.0 2010 年 03 月 16 日 2010 年 6 月 25 日 2.4.1 2.4.2 2010 年 9 月 21 日 2.4.3 2010 年 11 月 1 日 初期版作成 Varactor ツール価格追加 パラメータ抽出確認シート追加 パラメータ抽出サービス ⇒ アドバンスド モデリングサービスに変更 ツール全体図追加 p6 ・ MVT 内容追加 & 即購入可能なツール へ移動 ・ 多点測定データ処理ツールに Video 追 加 ・ プロセスベース統計モデル作成ツール 内容追加、Video 追加 価格表変更（年間契約削除） ・ 図表番号削除 ・ 多点測定データ処理ツールの内容変更 ・ プロセスベース統計モデル作成ツール の内容変更 ・ 1/f ノイズ測定システムの紹介を修正 ・ 1/f ノイズ測定 抽出サービスの周波数を 0.1Hz～40MHz に変更 ・ カスタムツールの位置づけの図を変更 ・ IC-CAP カスタムツール一覧/開発中のリ ストを変更 ・ コンタクトピンモデリング 紹介追加 ・ 波形観測ポイント移動とディエンベッド・ コンサルティング紹介追加 ・ 1/f ノイズ測定の RTS ノイズ測定に長時 間測定をサポート ・ 1/f ノイズ基礎と測定トレーニング紹介追 加 モンズル 江田、塚原、 モンズル 江田 塚原、江田 江田 江田、塚原 モンズル 3 本資料の内容： IC-CAP カスタムツールの紹介（Video Demo 付） 弊社の 1/f ノイズ測定システムの紹介 コンサルティングサービスの紹介 モデリングに関するトレーニング紹介 4 IC-CAP カスタムツールのご紹介 弊社では IC-CAP ユーザーのお客様により効率的かつ容易的にデバイスモデリングやパラメータ抽 出が行える環境をご提供するために様々なカスタムツールをご用意いたしました。ここでは、これらのツ ールの特徴、ご使用に対するメリットなどを紹介いたします。なお、一部のツールに関しては開発中とな っておりますので開発完了時期につきましてはお問い合わせ下さい。 IC-CAP カスタムツール一覧： HTML レポート作成ツール（RMS エラー計算機能付） 自動測定ツール（セミオートプローバー自動制御ツール） TCAD データ読み込みツール 多点測定データ処理ツール（Typical のみ） データ入出力ツール MVT ツール(Model Verification Tool) MOSVAR Toolkit 開発中 プロセスベース統計モデル作成ツール 開発予定 BJT ToolKit （VBIC) BJT ToolKit （Mextram 504) BJT ToolKit （HICUM L0) BJT ToolKit （HICUM L2) SiC Toolkit Angelov GaN（2011.4 リリース予定） その他 Shur-RPI アモルファス・シリコン薄膜トランジスタ MOSFET モデル（aTFT ）抽出ツール Shur-RPI ポリシリコン薄膜トランジスタ MOSFET モデル（pTFT）抽出ツール 5 IC-CAP カスタムツールの全体図 IC-CAP カスタムツールの位置付け 6 HTML レポート作成ツール（RMS エラー計算機能付） 概要 現状： モデリングやパラメータ抽出した後の資料作成作業は煩雑で非常に時間がかかるものです。パ ラメータ抽出やモデリング等で何百数になる測定とシミュレーションの結果（プロット）をコピーし貼り付け るという作業は面倒で手間がかかるものです。また、測定値とシミュレーション値の誤差（RMS エラー） を資料に載せるという作業にも多くの時間がかかります。現状、多くのお客様は資料作成を手動でコピ ー・貼り付けという作業を繰り返し行っております。資料作成の全作業が自動行えるツールが欲しいとい う声が多く聞かれます。 ソリューション： 弊社で開発しました HTML レポート作成ツールを使えば短時間で IC-CAP 内のプロッ トをもとに HTML 形式の資料を【自動】で作成することができ、今まで資料作成作業の工数を 90％以上 削減することができます。また、このツールには RMS エラー計算機能も付いておりますので資料には RMS エラーを載せる事もできます。 資料生成時間例： Plot 数 300 個の場合 ・・・約 4 分（時間はプロット上のデータポイント数により異なります） 仕様 HTML 作成機能 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ 複数のモデルファイルに対応 RMS エラーの表示/非表示の切り替えが可能 Plot サイズの設定が可能 一つの Plot に対し３つの異なるサイズ（Normal、thumbnail、zoom）を掲載 作成される資料形式は Toolkit の Extraction モジュールで作成されるものと同様の形式 ワンクリックでモデル内の全 Plot を資料に載せることができる自動設定機能付き Word 形式資料の作成 HTML レポート作成ツール 7 RMS エラー計算機能 ・ ・ ・ ・ ・ ・ IC-CAP 上で RMS エラーの計算が可能 複数のモデルファイルも同時に計算可能 計算モード：abs(Y)、log(Y)、derivative(Y)、real（Y）、imag(Y)、mag（Y）、phase(Y) 計算式：絶対値誤差、相対誤差、IC-CAP の最適化に用いる計算式の 3 つに対応 計算結果は、CSV ファイル、HTML ファイルに出力可能 計算範囲の限定が可能 （例えば、S パラメータの RMS エラー計算の場合、計算に用いる周波数 を限定することが出来ます。） HTML レポート作成ツール（RMS エラー計算機能） ツールのビデオデモ ツールのビデオデモを下のリンクをクリックしてご覧になれます。 HTMLdoc_Video_Demo 8 自動測定ツール（セミオートプローバー自動制御ツール） 概要 現状：セミオートプローバーを使ってウェハ面内のデバイス(TEG)を多点測定する際一つのデバイスを測定 終了したら次のデバイスに針を移動させるという作業を行うために測定担当者が常に待機しなければなりま せん。しかし、多点測定を全自動で行えると測定担当者が常にその場所にいる必要がなくなり、経費と人員削 減もできます。 ソリューション： 測定の雛型となるマスター測定ファイルをご用意していただくだけで、このツールを使用すれ ば、単純な連続測定を自動で行うことができます。 デバイスは複数の Subsite(SubDie)にも対応します。 仕様 ・ ・ ・ ・ DC、CV、RF 等の測定種類を問わず、マスター測定ファイルに準拠したウェハ面内測定が可能 セミオートプローバーは、SUSS MicroTec 社と Cascade Micro Tech 社に対応 Subsite(SubDie)ごとに測定順番をカスタマイズ可能 温度制御も可能 自動測定ツール ツールのビデオデモ ツールのビデオデモを下のリンクをクリックしてご覧になれます。 AutoMeasure_Video_Demo 9 TCAD データ読み込みツール 概要 現状： プロセスベースモデルを作成したい、あるいはプロセスデータを用いて統計モデルを作成したい というニーズが増えております。そのため、プロセスデータをモデル作成のため IC-CAP に読み込ませ たいという要求が数多くあります。 ソリューション： 他社ツールで作成したトランジスタプロセスデータを IC-CAP に読み込ませたいという ニーズに備えて 第一弾としてSentaurus（TCAD）のデータを IC-CAPに読み込む、ツールを開発しまし た。 仕様 ・ ・ ・ Sentaurus（TCAD）のデータ BJT/MOSFET データ IC-CAP へ読み込み可能。 DC , AC データを S/Y/Z/H パラメータに変換して読み込む可能。 複数データファイルを自動的に読み込み IC-CAP 形式に変換、保存という機能があります。 TCAD データ読み込みツール ツール紹介ビデオ VideoDemo：Part1 VideoDemo：Part2 10 多点測定データ処理ツール 概要 現状： 精度の良いモデルを作成するためにデバイスの測定結果から Typical/コーナーチップを選定す る事はとても重要な作業です。数多くのチップの測定結果などから Typical/コーナーチップを検出するた めに、多くのデータ比較などを行う必要があり、簡単に見つけ出すのはとても困難さと時間がかかる作 業になります。 ソリューション： Typical/コーナーチップを簡単に検索・作成するツールを開発しました。多点測定データ からスコアリングされ、自動的に Typical/コーナーチップを特定することができます。また、多点測定デ ータから平均化を行いバーチャルな Typical データを作成することが可能ですし、スコアからバーチャル なコーナーデータを作成することも可能です。さらに PCM データの作成・処理も可能で、多点測定デー タに対して統計的なデータ処理が可能な統合的ツールです。 仕様 ・ 多点測定データから Typical データに最も近いデータ(Die)を検索します。 ・ その多点測定データは、DC や RF の種類を問いません。同一の mdl ファイルで測定されていれば 本ツールで扱えます。また、弊社 EDA 部門販売の 1/f ノイズ測定システムのデータ(DC と 1/f ノイ ズ)も処理できます。 ・ Typical データ検索には、RMS エラーの小さい順にスコアリングされたスコアを使用します。 ・ 外れ値処理(Cleansing)機能をもっています。 ・ Typical データの検索に使用する測定データは任意に選択可能で、スコア計算の Weight を各測定 データに設定することも可能です。 ・ Typical Die 検索の代わりに、多点測定データの平均値を使用したバーチャルな測定データを mdl ファイルとして出力することも可能です。 ・ 平均値計算には、算術平均値(mean)と中央値(median)をサポートしています。 ・ RMS エラー式は、ユーザーが容易に追加できるカスタマイズ機能をもっています。 ・ 測定 mdl ファイルに追加し忘れた Transform や、後から追加が必要になった Transform をコピー する機能をもっています。 ・ 挿引データのない 1 ポイントデータ(PCM データ)のデータ処理も可能で、各 PCM データのヒスト グラム、相関図を出力できます。 ・ 最終的な結果は、mdl ファイルとして保存することはもちろん、HTML 形式のレポート出力も可能で す。 11 多点測定データ統計処理ツール(外れ値処理) 多点測定データ統計処理ツール(Typical チップ検索結果) 12 多点測定データ統計処理ツール(コーナー検索結果) 多点測定データ統計処理ツール(1/f ノイズデータ処理の例) 13 ツール紹介ビデオ VideoDemo 14 データ入出力ツール 概要 ・ CSV ファイルの測定データを簡単に IC-CAP に取り込むことができます！ ・ 読み込んだデータを IC-CAP の Modeling Package で使用可能な MDM ファイルに出力できま す！ ・ 測定データをCSVファイルで管理している方は多いかと思いますが、次のような状況に出会ったこ とはありませんか？ ・ CSV ファイルのデータを IC-CAP Native や Modeling Package (Toolkit) で使用したい ・ CSV ファイルのデータのプロットを簡単に作成したい ・ CSV ファイルのデータをプロットで確認したい ・ ソリューション： ここで紹介するツールを使えば、これらのことを簡単に行うことができます。 仕様 CSV ファイルに記述された測定データを IC-CAP Native にインポートする機能 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ CSV ファイルに記述された測定データを IC-CAP Native にインポートすることができます。 複数の CSV ファイルを連続で処理することができます。 読込先の DUT、Setup がない場合には自動生成します。 Output VS Input の Plot を自動生成します。 IV、CV、RF（Two Port）に対応 複数の CSV ファイルのデータを 1 つの Setup にマージして読み込むことができます。（制約あり） Input/Output の対応個数はそれぞれ最大 10 つ Input とは・・・入力電圧、電流など Output とは・・・出力電流、容量値など csv ファイルフォーマット ・ 対応 Input/Output 数：各最大 10 個 CSV ファイル例） Input1 Input2 Input3 Input4 output1 Output2 Output3 #vd vg vb vs id ig ib 0.1 -0.5 0 0 3.00E-09 -5.00E-09 1.00E-11 0.1 -0.45 0 0 2.00E-09 -3.00E-09 -7.00E-11 0.1 -0.4 0 0 2.00E-09 -3.00E-09 -6.00E-11 0.1 -0.35 0 0 2.00E-09 -3.00E-09 -5.00E-11 csv ファイルフォーマット 15 CSV データ入出力ツール IC-CAP Native の測定データ、シミュレーションデータを MDM ファイルに出力する機能 ・ IC-CAP Native の測定データ、シミュレーションデータを MDM ファイルに出力することができま す。 ・ MDM ファイルの出力形式は、IC-CAP Modeling Package (Toolkit) にて読み込むことが可能な形 式を選択することができます。 ・ モデルに含まれるすべての Setup のデータを mdm ファイルに出力します。 ・ IV、CV に対応 ツール紹介ビデオ VideoDemo 16 モデル検証ツール （Model Verification Tool） 概要 MOSFET のパラメータを抽出する場合、プロセスの微細化が進むと L、W の全領域の特性を１つのグ ローバルモデルで表現することが困難になります。この際、Binning を行うことになりますが、L,W の領 域を分割し 狭い領域ごとにローカルパラメータで表現すると分割した境界のところで各特性（Ion、vth など）の連続性が保たれているかなど確認/検証する必要が出てきます。 また、Binning 時以外でも モデルの複雑化が進み特定の条件での予期せぬ結果が得られることがあり ます。そこで、パラメータを PDK に組み込み設計者に配布する前には、様々なことを検証し問題が無い ことを確認する必要があります ・ 仕様 Simulation / setup 設定・実行 Warning/Error 表示 setup 編集 Plot の自動作成 （1,2 回微分値のプロットも作成） Validation データ検証 ‐連続性 ‐ kink データ値比較 Display 専用 GUI プロットの重ね表示 Validation 結果表示 特徴 GUI により簡単操作（シミュレーション設定、変更が容易） プロット自動作成機能（1,2 回微分値のプロット含む） プロットの重ね表示が簡単 測定データ、シミュレーションデータの検証機能 評価対象モデルは IC-CAP のモデル形式、ネットリスト・ファイルに対応 検証結果を HTML レポートへ出力可能 カスタマイズ可能な検証 Function（PEL 記述） 17 サポート内容（IC-CAP 標準機能に準拠） グローバルモデル、ビンニングモデル、マクロモデル MOSFET、BJT、受動素子など シミュレータ：hpeesofsim、HSPICE、Spectre など MVT (Model Verification Tool) の概要 18 19 その他開発中のツール紹介： プロセスベース統計モデル作成ツール 概要 統計モデル作成には、 ① 大量の測定データから SPICE パラメータを大量に抽出し、統計解析を行う手法 ② デバイスごとに振られるパラメータを限定し、それに追従するパラメータを振らせる手法 があります ①の手法には、膨大な工数と統計解析の専門知識が必要となります。それに対し②の手法は、合理的 なパラメータに限定することにより、きわめて早く統計モデルを作成することが可能です。 本ツールは、②手法により統計モデルを作成するために必要なプロセスパラメータ(プロセス管理パラメ ータ)と、モデルパラメータの関連付けを自動化し、高いスキルなしに短時間で統計モデル作成を可能に するツールです。 20 プロセスばらつきの設定 モンテカルロ・シミュレーション結果(プロセスばらつき) 21 モンテカルロ・シミュレーション結果 特長 容易かつ短時間に統計モデル作成が可能（スキル必要なし） 主要な Si アクティブデバイスは、プロセスパラメータが埋め込み済み（ノウハウ入れ込み済み） 統計モデル式は自動設定に加え、ユーザーが任意にカスタマイズも可能 Si 以外のプロセスにも対応 Global、Local ばらつきに対応する統計モデル作成が可能 統計モデルをモンテカルロ・シミュレーションを使って検証可能 モンテカルロ・シミュレーションの結果は、本ツールから即座に確認でき、多点測定データ処理ツ ールともリンク モンテカルロ・シミュレーションの分布は、Gaussian と Uniform に対応 HTML レポート機能つき 22 ツール紹介ビデオ(暫定) VideoDemo Typical/Corner モデル作成ツール 概要 一般的に コーナーモデルを作成するには、はじめに PCM データから各特性のコーナー値を求め、次 にその値に対してパラメータをチューニングしコーナーモデルを抽出するという流れになりますが、本ツ ールでは一つのツール上でこれら 2 つの作業を行うことが出来ます。 本ツールを使用する上で必要はデータは、PCM データと raw モデルで、これらのデータをもとに Typical/コーナーモデルを抽出することが出来ます。なお、パラメータのチューニングを行う際には、Ion VS ゲート長などの各特性 VS サイズ依存のプロットをターゲットに行うことができます。 ・ 仕様 用途 PCM データをもとにパラメータの最適化/チューニングを行い Typical/Corner モデルを作成する 機能 -PCM データから各特性の MIN,MAX,Typical をサーチ -PCM データのスクリーニング -Min,Typical,Min データのスムージング、補正 -Typical/Corner モデル作成 Input -PCM、サイズ情報 -バイアス条件 -Raw Parameter's set Output -各特性の MIN,MAX,Typical（補正後） -Corner Parameter's set Typical/Corner モデル抽出フロー 1.PCM から各特性（IonSat,IonLin など）の min,max,median をサーチ 23 2.PCM データのスクリーニング 3.Min,Typical,Min データのスムージング、補正 4.raw モデルをもとに Typical/Corner モデルの作成 5.Typical/Corner モデルの各特性値（シミュレーション値）を CSV ファイルへ出力 24 25 26 27 パラメータ抽出ツール 測定からパラメータ抽出まで簡単に行うために沢山のツールを開発しております。これらのツールは IC-CAP 上で動作するもので使い勝手の良い GUI ベースになっております。その一部を下にご紹介しま す。 ： MOS Varactor の測定・DC パラメータ抽出ツール (PSP-Based MOSVAR v1.0.0) MOSVAR Toolkit 高周波対応版 ： MOS Varactor の測定・DC+RF パラメータ抽出ツール (PSP-Based MOSVAR v1.0.0) (Subckt による高周波対応) MOSVAR Toolkit 開発中 Angelov GaN（2011.4 リリース予定） Shur-RPI アモルファス・シリコン薄膜トランジスタ MOSFET モデル（aTFT ）抽出ツール Shur-RPI ポリシリコン薄膜トランジスタ MOSFET モデル（pTFT）抽出ツール 開発予定 BJT ToolKit BJT ToolKit BJT ToolKit BJT ToolKit （VBIC) （Mextram 504) （HICUM L0) （HICUM L2) ： ： ： ： VBIC モデルに対応したツール Mextram 504 モデルに対応したツール HICUM L0 モデルに対応したツール HICUM L2 モデルに対応したツール 28 1/f ノイズ測定システムの紹介： 概要： アナログ IC の応用範囲の広がりにより、IC に要求される性能が大変厳しくなっています。なか でもノイズに関する注目が高くなってきています。1/f ノイズは測定が非常に難しく、測定や SPICE 用の ノイズモデルパラメータ抽出を安定的に行うには高いレベルでのノウハウ､経験が必要となります｡ ソリューション： 弊社より 1/f ノイズの測定システムと SPICE モデリングを行うための最適なソリュー ションをご提供しております。 弊社内の 1/f ノイズ測定システム 特長： ・ 測定の完全自動化 ・ 容易な使い勝手 ・ 高速なノイズ測定 (従来の半分の測定時間) さらに最新測定器 E5052B 採用により、従来の 10 倍高速化 ・ 長時間 RTS ノイズ観測 (E444xA 以外) ・ 入出力抵抗の自動設定機能 ・ 低システムノイズ -177dBV^2/Hz @100KHz (TYP) ・ 広帯域測定 29 35670A 89410A 89600A E444xA E5052B Opt.011 E5052B 1Hz 10Hz ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ 100KHz 10MHz 30MHz 40MHz 高電圧・大電流デバイス測定 最適なオンウェハ測定環境 プリアンプの Gain 校正機能 入出力抵抗の検証機能 ロールオフ周波数の自動計算・表示機能 RLOAD 換算機能 実測値とシステムノイズの比較表示機能 ウェハ面内ばらつき測定 (オプション) フリッカーノイズ・パラメータ抽出 (オプション) System Noise Noise Voltage [dBV^2/Hz] 0 -20 -40 Only PreAMP(Rs=0ohm) RLOAD=10ohm -60 -80 -100 -120 -140 -160 -180 -200 1.E+00 1.E+01 1.E+02 1.E+03 1.E+04 1.E+05 1.E+06 1.E+07 1.E+08 Freq [Hz] 1/f ノイズ測定システムのシステムノイズ パメータ抽出の対応モデル BJT ： Gummel Poon （AF,KF） MOS-FET ： BSIM3v3 NOIMOD=1 (AF,KF) NOIMOD=2 （NOIA,NOIB,NOIC,EF） ： BSIM4.5 FNOIMOD=0 (AF,KF) FNOIMOD=1 (NOIA,NOIB,NOIC,EF） 30 *その他モデルに関しては、個別対応となります｡ *シミュレータは ADS か Spectre になります。 31 コンサルティングサービスの紹介 弊社 EDA テクニカルサポート&コンサルティング部よりお客様向けに下記のようなコンサルティングサ ービスをご提供しております。 ・ ・ ・ ・ アドバンスドモデリングサービス ・モデリングコンサルティング 技術支援サービス（オンサイトサポート 1day コンサルティング） 1/f ノイズ測定 抽出サービス モデリングに関するトレーニング アドバンスドモデリングサービス ・モデリングコンサルティング サービス概要 デバイスモデルの・を高精度に行うためには、ハイレベルなモデリングの知識と 高精度な測定環境、また十分なリソースが必要となります。 弊社では貴社デバイスのパラメータ抽出を高精度かつ迅速に提供するサービス「アドバンスドモデリン グサービス」をご提供しております。 また、貴社内でのモデリングや PDK 構築に関するノウハウの習得を望まれる場合は 貴社プロセス/設計環境に最適化をした「モデリングコンサルティング」の提供も実施しております。 対応デバイス/モデル - MOSFET デバイス (微細 / RFMOS / 高耐圧[HVMOS/LDMOS]) ・HiSIM / PSP /BSIM3,4 / HiSIM_HV / MM20 / Lvel66 / マクロモデル / - BIP デバイス ・HICUM / Mextram503,504 /VBIC / SGP /, - HBT / HEMT デバイス ・Agilent-HBT / Angelov / EEHEMT / - パッシブ素子 (Spiral-IND / MIM / RES / VCAP / etc) - パッケージ / SMT 部品 / ビヘイビアモデル /インターコネクト /, 抽出対象 ・ DC、CV、RF ・ Typical/Corner モデル ・ 1/f ノイズ 32 サービス形態 弊社でアドバンスドモデリングサービスを受ける場合、下記のパラメータ抽出確認シートをご記入し弊 社まで送ってください。 パラメータ抽出確認シート アドバンスドモデリングサービス（抽出したパラメータのみ提供） コンサルティング(抽出ノウハウ提供) カスタマイズ抽出ツール作成（貴社専用の抽出ルーティンを提供） コンサルティング・メニュー紹介 http://jp.tm.agilent.com/tmo/eda/tdc.shtml 技術支援サービス（オンサイトサポート 1day コンサルティング） サービス概要 本サービスでは、事前にご連絡いただいた御社エンジニアが抱えている問題点等に対して 最適な弊社エンジニア(シミュレータ／モデリング／測定)が御社へ直接サポートにうかがいます。 Face to Face のサポートにより、通常のオンラインサポートよりも効率的に問題点を解決できるほか 各種ノウハウの提供、各ツールの使い勝手を更に改善するユーティリティの提供等が可能となります。 また本サービス内の時間の使い方は御社ご要求に応じてフレキシブルに対応することが可能となりま す。 対象項目 ・ 各種 EDA 技術(アジレント社製品が対象) ・ シミュレーション技術(アジレント社製品が対象) ・ デバイスモデリング技術 ・ 測定技術 [デバイスモデリング用測定、PKG／評価基板解析用測定、信号源等シミュレーション組み込み用測定] ・ 各種ツールのユーティリティ作成（AEL、PEL によるツール作成など） 33 1/f ノイズ測定 抽出サービス サービス概要 IC に要求される性能は、プロセス微細化が進むにつれて、ますます厳しくなっています。なかでもノイ ズに関する注目が高くなってきています｡1/f(フリッカー)ノイズは低周波における'ゆらぎ'として知られ、ア ナログ回路では発振器の位相ノイズとして、デジタル回路ではジッターとしてあらわれます。 この 1/f ノイズは測定が非常に難しく、測定や SPICE 用のノイズモデルパラメータ抽出を安定的に行う には高いレベルでのノウハウ、経験、測定環境が必要となります｡ アジレント・テクノロジーでは、最短で 1 週間納期の FET、BJT 等のアクティブデバイスの 1/f ノイズ測定 サービスをご提供しています。1/f ノイズをオンウェハで測定するには低ノイズ環境が必要ですが、弊社 はプローバーメーカーとの協働により超低ノイズ環境での測定が可能です。測定のみのサービスの他、 測定データを使用したアドバンスドモデリングサービス（ノイズパラメータ抽出のサービス）も実施してお ります。 使用 1/f 測定システムの特長 ・ ・ ・ ・ 0.1Hz-40MHz の広帯域測定 低システムノイズ(-177dBV^2/Hz @100kHz) 高電圧(±50V) 、大電流(±0.1A)に対応 RTS ノイズ測定、かつ長時間(長時間サンプリング)RTS ノイズ測定に対応 34 モデリングに関するコンサルティング/トレーニング 弊社ではデバイスモデリング担当者向けにデバイスモデルの基礎から IC パッケージのモデリングまで 内容豊富な沢山の技術トレーニングをご用意しております。その一部をご紹介いたします。 1. 2. 3. 4. 5. モデル基礎技術トレーニング IC パッケージ・モデリング・トレーニング コンタクトピンモデリング・コンサルティング/トレーニング 波形観測ポイント移動とディエンベッド・コンサルティング 1/f ノイズ基礎と測定トレーニング コンサルティング/トレーニング モデル基礎技術トレーニング IC パッケージ・モデリング・トレーニング コンタクトピンモデリング・コンサルティング/トレー ニング 波形観測ポイント移動とディエンベッド・コンサル ティング 1/ｆノイズ発生原理とその測定方法（講義形式） 1/ｆノイズ測定トレーニング 価格 120 万円 お問い合わせ下さい 150 万円～ 200 万円～ 19 万円（最大 10 名）* 25 万円（最大 10 名）* *2010 年 12 月より開始 35 モデル基礎技術トレーニング コース 1: コース２: コース３: コース４: 提供方法: パッシブデバイス BIP デバイス MOS デバイス PKG お客様先オンサイト モデルに関する知識は、モデリング担当者はもちろん、今日の複雑 化が進む設計環境下では回路設計者にもある程度のレベルが要求 されます。本コースは「モデル基礎／モデルの考え方･構築方法／ モデルの利用範囲」等、モデルの基礎を学ぶコースです。 ■ コース概要 本コースでは、デバイスモデルの基礎(パッシブデ バイスについては等価回路モデル)についてデバイ ス構造、電気特性、モデルパラメータ、各種モデル の特徴等について講義形式で解説いたします。 ■ 対象者 ・ 回路設計 ・ PDK 構築 ・PKG 設計 ・モデリング ・基板設計 ■ コースの特徴／受講後の到達地点 ・ モデリング担当者にとっては知っている内容 が多く含まれますが、 “なんとなく知っている” といったケースが多く、本コースを通して正し く理解することで、日々の業務の底上げにつな がるスキルが身につきます。 新たにモデリングを担当されるエンジニアにとっ ては、必須となる基礎知識が身につきます。 ・ 回路設計者の多くは「利用しているモデルが何 か？、どのような特性まで表現できるのか？」 を知らず、与えられた PDK をそのまま利用し ています。本コースを通してモデル基礎知識を 習得することで、設計に利用する各種モデルの 意味を理解し、最適なシミュレーションを行う ために土台となるスキルが身につきます。 ■ 前提知識 ・ BIP デバイス/MOS デバイスコース： 設計等でモデルを利用した経験が有る事が望まし い ・ パッシブデバイス／PKG コース： RF 基礎知識がある事が望ましい ■ 提供物 ・ トレーニングマニュアル (各 80-100 ページ) ■ コースフォーマット ・ 各１日／オンサイト開催 ・ 講義 90～100 % 実習 10～0 % ■ コース内容 ・コース1: パッシブデバイス； RF基礎 Sパラメータについて Deembedについて パッシブモデルの考え方 注意すべき電気特性について 等価回路の考え方について EMの活用について ・コース２ BIPデバイス； BIPモデルの基礎 BIPデバイスの基礎動作原理について Gummel Poonモデルの成り立ちについて 電気特性とモデルについて 基本的な抽出手法について 各種BIPモデルの考え方 各モデル特徴について 各モデルの違い/使い分けについて ・コース３ MOSデバイス； MOSモデルの基礎 MOSデバイスの基礎動作原理について BSIM(3/4)モデルの成り立ちについて 電気特性とモデルについて 基本的な抽出手法について 各種MOSモデルの考え方 各モデル特徴について 各モデルの違い/使い分けについて ■ コースの開催日程と開催場所に関する最新情報は www.agilent.co.jp/find/education お問い合わせ先 計測お客様窓口 Phone: 0120-421-345（9:00～19:00） Fax: 0120-421-678（24 時間受付け) E-mail: contact_japan@agilent.com © Agilent 2000-2008 IC パッケージ・モデリング・トレーニ ング コースナンバー 提供方法 N3249D お客様先オンサイト QFP/QFN に代表される IC パッケージのモデリング や、BGA パッケージの電磁界解析方法を学びます。 コース概要 アプリケーションの高周波化に伴い、IC パッケージ の影響は無視できないものになってきています。ま た、シミュレーションによる回路/基板の設計/評価が 一般的になっており、正確なシミュレーションを行う ためには、IC パッケージのモデルが不可欠です。ま た BGA パッケージのような、任意形状の配線パタ ーンを持つパッケージの場合、電磁界解析による S パラメータをシミュレーションに用いることが有効な 手段となります。 本コースでは、QFN/QFP に代表される IC パッケー ジの等価回路モデリング手法を、実習を交えながら 学びます。また、電磁界シミュレータを用いたパッケ ージの解析例を基に、その注意点を解説します。 コースの特徴 / 受講後の到達地点 ・コースの特徴 – パッケージの S パラメータ測定方法を解説します。 – 測定した S パラメータから冶具の特性を取り除く手法 （ディエンベッド/キャリブレーション）を解説します。 – 回路シミュレータ(ADS)を用いて、IC パッケージの等価 回路モデルを求めます。 – 各種電磁界シミュレータ(EMDS for ADS, Momentum) を用いた IC パッケージの解析例を示し、その注意点を 解説します。 ・コース受講後の到達地点 – IC パッケージのモデリングに必要な測定ができる。 – IC パッケージの等価回路モデリングができる。 – IC パッケージの電磁界解析ができる。 対象者 – IC パッケージのモデリングに携わられる方。 Copyright Agilent Technologies 2008 – – 各種 RF 回路の設計に携わられる方。 デジタル回路の物理層の設計、解析に携わられる方。 前提知識 – Windows 環境の操作が出来ること。 – 「ADS 入門」コースまたは「ADS ファンダメンタル」コー スを了されているか、回路図の入力、シミュレーション の設定、結果の表示ができること。 コース期間 1 日間 コースフォーマット 講義 80% / 実習 20% コース内容 1. IC パッケージの影響 2. IC パッケージの電気的振る舞いとそのモデル 配線/ボンディングワイヤー間の結合 表皮効果 3. 測定用冶具設計とディエンベッド ディエンベッドの実際 測定用冶具の設計例 4. パッケージの等価回路モデリング手法 Y/Z パラメータと/T 型等価回路 等価回路モデリング手法 等価回路モデル例 5. 電磁界解析による IC パッケージの解析 3 次元電磁界解析（EMDS for ADS)を用いた QFN パッケージ解析 パッケージ解析における適切なポートの設定方法 評価基板(冶具)に実装した場合の帰路電流経路 （GND ピン）による影響 ADS による S パラメータから等価回路生成機能紹 介 Momentum を用いた BGA パッケージ解析 コースの開催日程と開催場所に関する最新情報は www.agilent.co.jp/find/education お問い合わせ先 計測お客様窓口 Phone: 0120-421-345 (9:00～19:00) Fax: 0120-421-678 (24 時間受付け) E-mail: contact_japan@agilent.com コンタクトピンモデリングコンサルテ ィング/トレーニング お客様のコンタクトピンのモデリングを行いま す。 また、トレーニングも含みますので、ご自身で モデリングができるようになります。 型番： N3249D 概要 ベクトルネットワークアナライザ(VNA)で測定したコンタク トピンの S パラメータから、等価回路モデルを求めます。また、 等価回路モデルを作成する手法をトレーニングとして提供す ることにより、お客様自身でモデリングできる知識、ノウハウ を学びます。 本コンサルティングでは、お客様が測定した S パラメータを いただき、弊社にてモデリングし、その結果を御提供致しま す。さらに、そのモデリング手法をトレーニングすることによ り、他品種に関しては、お客様自身でモデリングできるような 知識/ノウハウを提供致します。 本ソリューションのメリット 近年、デジタル回路の高速化に伴い、IC テスターで用い られるコンタクトピンモデルの需要が高まっております。 コンサルティング/トレーニングの流れ コンタクトピン 本コンサルティングは、以下の流れで実施いたします。 1. 測定データをいただきます。 (必要に応じ、冶具、コンタクトピンを拝借し、弊社にて 測定いたします。) 2. 弊社にてモデリングを実施します。 3. トレーニングおよび、モデリング結果の報告を行いま す。 トレーニング内容 コンタクトピンは、直接測定することはできないため、測定 冶具が必要となります。従って、測定した S パラメータには、 コンタクトピン以外に冶具の特性が含まれてしまいます。コ ンタクトピンのモデリングにあたり、測定冶具の特性を取り除 く（ディエンベッド）必要があります。 また、高周波になると、コンタクトピンは分布定数線路の振 る舞いをするため、等価回路モデルも、それに対応 させる 1. コンタクトピンの電気的振る舞いとそのモデル コンタクトピンの電流経路 分布定数線路の振る舞い GND ピンとモデル 表皮効果 2. 測定用冶具設計とディエンベッド ディエンベッドとは ディエンベッドの実際 3. モデリングの基礎 各種 2 端子パラメータ Y パラメータと型等価回路 モデリング 冶具のモデリング コンタクトピンのモデリング お客様の測定結果を用いた演習 必要 があります。さらに、コンタクトピンの表皮効果を考慮 するする必要があります。 4. 38 前提 本コンサルティングでは、以下の製品を使用いたします。 Agilent ADS また、コンタクトピンを測定できる冶具が必要となります。 冶具の特性を取り除くためには、冶具のみ(Thru)の測定が できることが必要となります。 測定用冶具を御所有で無い場合、その設計支援を差し上 げることも可能ですので、担当営業にお問い合わせくださ い。 お問合せ先 計測お客様窓口 Phone: 0120-421-345 (9:00～18:00) Fax: 0120-421-678 (24 時間受付) E-mail: contact_japan@agilent.com (24 時間受付) 価格 150 万円～ 上記価格には、以下の内容を含みます。 1 つのコンタクトピンモデル提供 トレーニング 1 つ以上のコンタクトピンモデル提供、冶具設計支援を含む 場合は、担当営業にお問い合わせください。 39 波形観測ポイント移動とディエンベッド・ コンサルティング・ソリューション 型番： N3249D 概要 オシロスコープで測定した波形から、任意 のポイントにおける波形を求めます。また、 BGA プローブなど、測定時にのみ用いられ、 実機では存在しない物の特性を取り除くこと ができます。 本ソリューションのメリット 通常、オシロスコープによる測定では、プロ ービングしたポイントでの波形が観測されます。 通常の基板では、オシロスコープのプローブ を接続できる箇所は、SMD 部品や VIA ランド 等に限定され、BGA パッケージにおけるボー ル端等での波形を求めることは困難です。 本ソリューションでは、基板配線などの S パラ メータを使用し、観測ポイント以外の任意のポ イントにおける波形を求めることができます。 また、BGA probe 等のアダプタが用いられ た場合、その特性が、オシロスコープで観測し た波形に影響を及ぼしていることが考えられ ます。本ソリューションでは、観測ポイントの移 動だけでなく、測定用アダプタの特性を取り除 き、アダプタが存在しない場合の波形も求める ことができます。（ディエンベッド） 本ソリューションで必要なこと 本ソリューションでは、以下のデータが必要となりま す。 観測ポイントの移動 配線モデル レシーバ入力インピーダンスモデル 測定アダプタ用等のディエンベッド 配線モデル レシーバ入力インピーダンスモデル ドライバー出力インピーダンスモデル 配線モデルは、VNA で測定した S パラメータや、シ ミュレーションで求めた S パラメータを用いることがで きます。 また、レシーバ/ドライバーのインピーダンスは、 VNA で測定したインピーダンス、IBIS もしくは SPICE モデルから求めることができます。 本ソリューションは、Agilent ADS 回路シミュレータ 上で動作致します。Agilent ADS は、マクロストリップ、 ストリップ線路などのモデルだけでなく、高精度な電磁 界シミュレーション機能を有します。また、IBIS モデル や SPICE モデルから、レシーバ/ドライバーインピーダ ンスを求めることができます。 これら ADS の機能と、本ソリューションを組み合わ せることにより、高精度な観測ポイントの移動、アダプ タの除去が可能となります。 また、VNA による基板配線の高精度な測定ノウハ ウ、適切なテストクーポンの作成方法、高精度な電磁 界解析ノウハウ等を御提供することも可能です。 オシロスコープとの連携 本ソリューションで求めたモデルをオシロスコープ の InfiniiSIm 機能に入力することにより、オシロスコー プでも観測点の移動、アダプタ除去が可能となりま す。 また、オシロスコープで測定した波形を簡単に ADS に取り込む機能もご提供いたします。これにより、オシ ロスコープが手元に無くとも、ADS 上で”オフライン“で 波形解析ができます。 高精度なモデル算出には、ADS を使用し、実験室 では、オシロスコープのみで、本ソリューションと全く同 じ結果を得ることができます。これにより、効率的な波 形解析作業が可能となります。 40 前提 本ソリューションでは、以下の製品を使用いた します。 • Agilent ADS 基本機能に加え、必要に応じ、以下のオプ ションが必要となります。詳細は担当営業 にお問い合わせください。 Transient simulation 機能 Momentum 電磁界シミュレーション機 能 • Agilent DSO シリーズオシロスコープ InfiniiSim 機能はオプションとなります。詳 細は担当営業にお問い合わせください。 • Agilent ENA/PNA ベクトルネットワークアナライザ S パラメータ測定を行う場合に使用します。 （必須ではありません） お客様の DUT における観測点移動、アダ プタ除去(配線モデル、ドライバー/レシー バモデル(IBIS もしくは SPICE)はお客様自 身でご用意いただきます。) <オプション> • お客様の配線モデル作成 • 高精度な電磁界解析ノウハウ • 高精度な S パラメータ測定ノウハウ 内容に関しては、ご要望に応じ、カスタマイズ可能で す。詳細は担当営業にお問い合わせください。 価格 200 万円～ （ソフトウェアツールご提供/トレーニ ングのみ） お問合せ先 計測お客様窓口 Phone: 0120-421-345 (9:00～18:00) Fax: 0120-421-678 (24 時間受付) E-mail: contact_japan@agilent.com (24 時間受付) 本ソリューションの提供するソフトウェアツー ル 1) ADS で動作する以下の機能を提供致します。 観測ポイント移動、アダプタ除去計算機能 オシロスコープ波形読み込み機能 IBIS もしくは SPICE モデルからインピーダ ンスを求めるテンプレート その他 本ソリューションの提供形態 本ソリューションでは、ソフトウェアツールだ けでなく、お客様の DUT に合わせて、トレーニ ング、コンサルティングも併せて提供致しま す。 • トレーニング（1 日間） 41 1/f ノイズ基礎と測定トレーニング コース: 提供方法: 1/f ノイズ基礎と測定トレーニング 弊社北八王子事業所 1/f ノイズを測定する事はとても複雑で経験が必要になります。本 コースでは様々なノイズの発生原理、定義、ノイズ理論、1/f ノイ ズ測定の重要性と測定方法について学びます。更に、弊社の 1/f ノ イズ測定システムを使い 1/f ノイズ測定を体験することができま す。 ■ コース概要 本コースは講義と測定デモの 2 コースに分かれており、講義 コースでは、各種ノイズ（熱雑音、ショット・ノイズ、1/f ノイズ、 RTS ノイズ）の発生原理、1/f ノイズとジッタ/位相ノイズとの 関係と 1/f ノイズ測定の重要性などについて学びます。一方、 測定デモコースでは、弊社 1/f ノイズ測定システムを使い、 実際にお客様のデバイスを測りながら、1/f ノイズと RTS ノイ ズ測定方法、測定時の注意点などについて詳しく解説しま す。また、受講者ご自身による 1/f ノイズと RTS ノイズの測定 体験もできます。 ■ 対象者 ・回路設計 ・モデリング ・測定 ・基板設計 ・プロセス・デバイス管理 ■ コースの特徴／受講後の到達地点 コースの特徴 ・講義と実測定デモに分かれているので、講義で 1/f ノイ ズ理論から測定方法について学び、測定デモでそれを体 験できます。 受講後の到達地点 ・ ノイズ種類、発生原理が理解できます。 ・ デバイスのノイズ理論が理解できます。 ・ 1/f ノイズ測定方法、注意するべき点など分かります。 ・ RTS ノイズ測定ができます。 ・ お客様がデバイス持参の場合、測定データをお渡し ます（1 デバイス、3 バイアス程度まで）。 ・ 1/f ノイズ測定に関する全般スキルが身につきます。 ■ 前提知識 BJT、FET デバイスの動作原理の基礎知識があり、デバ イ特性などを理解できる方が望ましい。 ■ 提供物 ・ トレーニングマニュアル (40-50 ページ) ■ コースフォーマット ・ １日／弊社八王子サイトで開催 ・ 講義 40% 測定デモ 60 % （※講義のみまた測定デモのみのご受講も可能です） ■ コース内容 ・コース1: 1/fノイズ発生原理と測定方法（講義） 内容 ノイズ種類と発生原理 熱雑音、ショット・ノイズ、1/fノイズ、 RTSノイズ、ノイズの色について ノイズとジッタ/位相ノイズとの関係 1/fノイズ測定の重要性 BJT、FETの1/fノイズ理論式 ノイズ電圧測定値からノイズ電流計算式 1/fノイズ測定方法 日数：0.5日（最大10名） ・コース２：1/fノイズ測定デモ 内容 弊社測定システム、測定ソフトの説明 お客様のデバイスの1/fノイズを弊社の 測定システムで測定 条件：1デバイス、3バイアスまで お客様のデバイス持参不可能場合、弊社 指定のディスクリートDUTで測定デモ行 います。 測定時の注意点、測定限界などについて 説明 測定データはお渡しいたします 日数：0.5日（最大10名） （注意：こちらのコースは1/fノイズ測定体験 であり、測定サービスではありません） コース1とコース2を合わせて受講する事を推奨いたしま す。 ノイズとジッタ／位相ノイズとの関係 ～位相ノイズ～ FETの1/fノイズ理論式 ～等価回路図～ デバイス・ノイズ 位相ノイズとは、発振周波数の短期的ゆらぎ ドレイン電流 によるショッ トノイズ ■ コースの開催日程と開催場所に関する最新情報は 1/f Flat 周波数 fc www.agilent.co.jp/find/education 発振器 位相ノイズ L(fm) 1/f3 RSOURCEによ る熱雑音 ゲート電流に よるショット ノイズ 1/fノイズ RLOADによる 熱雑音 1/f2 1/f Flat fm オフセット周波数 f0 Lesson’s Equation f f L( f m ) 10 log N 3 0 N 2 0 N 0 fm fm 3 1/fノイズ測定方法 ～使い勝手の良いソフトウェア(1/2)～ 出力雑音電流の 表示 22 15 入力雑音電圧の 表示 August 23, 2010 ロールオフ周波数 表示 システムノイ ズとの比較が 容易 34 August 23, 2010 Copyright Agilent Technologies 2008 2 N3 FkT f c f 02 P0 8Q 2 N2 2kTRvar kvco FkT f 02 P0 8Q 2 f m2 N0 FkT P0 August 23, 2010 お問い合わせ先 計測お客様窓口 Phone: 0120-421-345（9:00～19:00） Fax: 0120-421-678（24 時間受付け) E-mail: contact_japan@agilent.com お問い合わせ窓口 各種の IC-CAP ツール、1/f ノイズシステム、各コンサルティングサービス、トレーニングのご購入 に関して、お問い合わせは弊社 EDA 営業、または弊社計測お客様窓口までお問い合わせ下さい。 アジレント･テクノロジー株式会社 本社〒192-8510 東京都八王子市高倉町 9-1 計測お客様窓口 受付時間 9:00～19:00 (12:00～13:00 もお受けしています。土・日・祭日を除く) FAX, E-mail, Web は 24 時間受け付けています。 御社担当営業が不明の場合は、担当 EDA とお伝え下さい TEL 0120-421-345 FAX 0120-421-678 E-mail: contact_japan@agilent.com 電子計測ホームページ www.agilent.co.jp/find/education ● 記載事項は変更になる場合があります。 ご発注の際はご確認ください。 43
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