[HOYA]Si成膜、エッチング加工・受託サービス

弊社では、半導体用フォトマスク/ブランクス製造で培った高精度のパターン形成技術を
応用した電子線描画装置に使用されるSi製アパーチャを開発し、長年の製造販売実績が
御座います。お客様のご要望に合わせて、Siへの成膜/エッチング加工/想定評価など
試作レベルからの受託サービスをご提供致します。
21.0
21.0μ
μm
テーパー角
テーパー角コントロールテクニックの
コントロールテクニックの一例
Si 断面形状 (2.5μ
2.5μm L/S)
L/S)
観察倍率 :×5,000
テーパー角
テーパー角 : 91.0°
91.0°
観察倍率 : ×5,000
テーパー角
テーパー角 : 90.2°
90.2°
観察倍率 : ×5,000
テーパー角
テーパー角 : 89.8°
89.8°
EBリソプロセス
EBリソプロセス品
リソプロセス品
フォトリソプロセス品
フォトリソプロセス品
EBリソプロセス
EBリソプロセス品
リソプロセス品
測定倍率 : ×100,000
コーナーR
コーナーR値 : 200nm
測定倍率 : ×100,000
コーナーR
コーナーR値 : 40nm
測定倍率 : ×100,000
LER値
LER値 : 24nm
測定倍率 : ×100,000
LER値
LER値 : 21nm
100nm Dot (EBEB-nega)
nega)
100nm Line (アパーチャ)
アパーチャ)
200nm Line (SiO2)
SiO2)
200nm Hole(
Hole(Si)
Si)
3.58
3.58μ
μm
フォトリソプロセス品
フォトリソプロセス品
500nm
測定倍率 : ×100,000
測定値 : 100nm
測定倍率 : ×100,000
測定値 : 90nm
測定倍率 : ×20,000
アスペクト比
アスペクト比 : 3
測定倍率 : ×30,000
アスペクト比
アスペクト比 : 18
HOYA株式会社 マスク事業部 長坂製造課 技術グループ
〒408-8550 山梨県北杜市長坂町中丸3280
TEL:0551-32-7639 FAX:0551-32-5350
E-mail:mitsuru_takamizawa@sngw.els.hoya.co.jp (高見沢 充)
長坂事業所
長坂事業所
・・成膜
成膜
・・リソプロセス
リソプロセス
・・ドライエッチング
ドライエッチング
・・ウェットエッチング
ウェットエッチング
・・洗浄
洗浄
・・測定、
測定
測定、
検査
測定、、検査
八王子工場
八王子工場
熊本工場
熊本工場
プロセス
装置
対応サイズ
対応サイズ
フォトリソ
i線ステッパー
等倍アライナー
等倍アライナー
Φ100~
100~200mm
EBリソ
EBリソ
50kV電子線描画装置
50kV電子線描画装置
Φ100、
100、200mm
成膜
小型DC
小型DCスパッタ
DCスパッタ(
スパッタ(試作用)
試作用)
Φ150mmまで
150mmまで
ドライエッチング
RIE(
RIE(バッチ式
バッチ式)
ICP(
ICP(枚葉式)
枚葉式)
Φ100mm
成膜実績
・Cr,
Cr,Ta,
Ta,W,Ir,
Ir,Ti,
Ti,Cu 等、及びそれらの窒化物
びそれらの窒化物・
窒化物・酸化物等
ローラーモールド
測定装置
・膜厚、
膜厚、膜応力、
膜応力、シート抵抗
シート抵抗、
抵抗、表面粗さ
表面粗さ(接触/
接触/非接触)、
非接触)、CD
)、CDCD-SEM等
SEM等
HOYA株式会社 マスク事業部 長坂製造課 技術グループ
〒408-8550 山梨県北杜市長坂町中丸3280
TEL:0551-32-7639 FAX:0551-32-5350
E-mail:mitsuru_takamizawa@sngw.els.hoya.co.jp (高見沢 充)