非接触ウェハ形状測定装置仕様書(簡略版) *詳細は打合せにより決定。 有限会社エイエフテック 〒358-0031 埼玉県入間市新久820番地64 TEL&FAX:042-936-4776 担当:笠原隆樹 E-mail:kasahara@aftec.co.jp URL:http://www.aftec.co.jp <概要> 本機は可視光半導体レーザ(赤色)を使った非接触ウェハー形状測定装置です。 最小分解能 0.1μm、σ再現性 0.2μmを実現し、対物レンズの駆動範が 10mmと大きくなっております。また、500μm/秒の速度で合焦出来 るため、自由曲面等の 連続追従 を得意としています。 これらの機能を使い、ウェハー面等の形状、粗さを測定いたします。 測定物に触れることなく、その断面形状、3D面形状、R値、そり、TTV、 LTV、TIRを測定します。また、 粗さを測定でき、マスターの測定結果を基準とした良否判定機能も有します。 <特長と原理> 1.可視光半導体レーザによる非接触測定方式の採用により、被測定物にダメージを与 えにくい。 2.レーザ実出力390μW以下のクラス1レーザ機器のため、安全性が高い。 3.最小分解能 0.1μm、σ再現性 0.2μmを実現。 4.レーザスキャン方式に比べ、圧倒的に死角が少ない。 5.被測定物の色に左右されない。(コントラストがまったくなくてもピントが合う) 6.レーザスポットが赤い為、どこを計っているのか目視確認できる。 7.検出器に高性能4分割ディテクターを使用。AD変換とマイクロプロセッサーによ り測定面を分析し、最適なピント位置へ導入。その後、アナログ回路へ引き渡し、 ゼロクロス機能にて正確な位置決めを行う ハイブリッドAF機構 搭載。 8.高精度リニアスケールの取付により、定量的な測定系を実現。 9.被測定物の反射率が1%以下でも正確にピントが合う。 <装置仕様> 1. X軸 153[mm],マイクロステップ0.1[μm/Pulse] 2. Y軸 153[mm],マイクロステップ0.1[μm/Pulse] 3. Z軸 50[mm],マイクロステップ0.1[μm/Pulse] (全ストロークオートフォーカス式レーザ変位計駆動可能) 4. レーザ変位計顕微鏡部 最小分解能 0.1[μm] 再現性 σ=0.2[μm](ウェハー面20回測定時) ストローク 10[mm] 使用レーザ 670[nm] 赤色半導体レーザ レーザパワー 235[μW] レンズ出力 安全クラス クラス1 リニアスケール ハイデンハイン社LIF101Rを顕微鏡ユニット直近に組込み Y方向スキャン測定 5. 撮像系 結像レンズ焦点距離 200[mm] 6. 1/2インチモノクロCCDカメラ 7. 対物レンズ Nikon CF IC BD Plan DIC ELWD 100X, 50X, CF IC BD Plan DIC 20X, 10X, 5XA 全体物レンズノマルスキー微分干渉観察対応レンズ *なお、計測は 50X, 100X で行い、5X,10X,20X は主に観察用としてご使用ください。 8. 筐体 9. ステージドライバBOX 10.防振マウント 11.非常停止スイッチ(コンピュータを除くドライバ電源を遮断、自動復帰無し) 12.AC−100[V]プラグ(800VA max) 13.パトライト 14.コンピュータ(WindowsXP Pro) 15.17TFT液晶モニタ 16.インクジェットプリンタ 17.パソコンラック 18.ビデオキャプチャーウインド 19.ウェハー計測専用制御ソフトウェア(別途仕様書あり) 20.微分干渉観察系(ノマルスキープリズム)機構組込み(Nikon製) 21.ウェハ吸着用セラミックピンチャックを2種類用意 定形ウェハ用 :2・3・4・5・6インチウェハ用(第1、第2オリフラあり) 不定形ウェハ用:2∼6インチウェハ用(オリフラなし) 22.ウェハ固定治具を2種類用意 定形ウェハ用 :オリフラ基準固定用治具 不定形ウェハ用:外形基準固定用治具、OHPフィルム、テープカッターを併用する。 23.X−Y軸精度 : 2.5+2.5L/1000 [μm]、Z軸精度 : ±1[μm] <ソフトウェア仕様> 概要:ウェハー形状測定プログラムとして最適化する。 <測定項目> そり、形状(TTV、LTV、TIR) 、粗さ、厚さ、端面形状 <測定対象ウェハー面> スライス面、研削面、研磨面 <ウェハーサイズ> Φ2,3,4,5,6インチ(第1オリフラ、第2オリフラあり) φ2∼6インチの任意径(オリフラなし) <ウェハー厚さ> 200∼2000μm <繰り返し精度> ±0.5μm(測定分解能0.1μm) (ウェハピンチャック部の平坦度は、ソフトウェアによってフラット補正を行います。) <測定時間> 全面測定:2インチ(2min以下)、6インチ(30min以下) <測定条件> 直置き&バキューム吸着による違いを測定 <測定方法> 全面測定、ライン測定、多点スポット測定 <結果表示> ・厚み平均値、TTV、LTV(EE1mmなど、任意設定可能) ・LTVはサイトの大きさと位置を任意に設定可能 ・ウェハー端部サイトはLTV表示無し ・アンチャック状態での平坦度 ・厚みとそりは、鳥瞰図、等高線図、断面図を出力 ・端面形状
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