会社案内 Company profile 製品案内 Products information 2015年 Summer 株式会社 アポロウエーブ Apollowave Corporation Ap ollowave アポロウエーブは⾼周波・微⼩電流・ www.apollowave.co.jp ソリューションを提供いたします 温度をテーマに半導体の測定のための 会社概要 ■ 会社名 株式会社アポロウエーブ ■ 設 ⽴ ２０００年２月 ■ 資本⾦ １５００万円 ■ 代表取締役 山下 修 ■ 所在地及び連絡先 〒532-0011 ⼤阪市淀川区⻄中島6-7-8 ⼤昭ビル4F TEL:06-6838-3233 / FAX:06-6838-3234 ■ 取引先銀⾏ りそな銀⾏,三井住友銀⾏,池⽥泉州銀⾏,⼗三信用⾦庫,南都銀⾏ ■ 主な取引先（敬称略） オムロン・⼤阪⼤学・九州⼤学・京都⼤学・京セラ・ 産業技術総合研究所・シャープ・情報通信研究機構・ 住友電気⼯業・セイコーエプソン・ソニー・東芝・東北⼤学・東京⼤学･ デンソー ・トヨタ⾃動⾞ 奈良先端科学技術⼤学院⼤学・パナソニック・富⼠通研究所・古河電気⼯業・三菱電機・村⽥製作所・山形⼤学・ ルネサスエレクトロニクス・ローム その他多数（アイウエオ順） 会社沿革 2000年 2001年 2月 2002年 2003年 2004年 2005年 2007年 2008年 2009年 2010年 2011年 2012年 2014年 2月 3月 4月 4月 会社設⽴ セミオートプローバーの開発 / ⾼周波プローブの研究開発で「中⼩創造活用促進法」の認定を受ける ⼤阪府⽴特許情報センターのインキュに⼊居 ⼤阪府⽴産業技術研究所のインキュベータ⼊居し、⾼周波プローブ・微少電流プローブの開発を開始する。 ６ＧＨｚ対応プローブカード試作 / TDDB/EM用プローブカードの開発 資本⾦を1500万円に増資（⼤阪府FORECS財団より一部投資） ⾼周波垂直プローブの開発で池⽥銀⾏の「地域起こし⼤賞」を受賞 「半導体のウエハレベル・エレクトロマイグレーション評価装置の開発で「中⼩創造活用促進 の認定を受ける。 300mmウエハ一括コンタクトTDDB/EM用プローブカードの開発技術向上奨励補助⾦を受け開始 300mm WLRプローバ、プローブカードをリリース/ 第５回⼤阪フロンティア賞創業奨励部門特別賞を受賞 EM350℃対応信頼性試験用マニュアルプローバーPEM300をリリース マニュアルプローバー New αシリーズをリリース 「明日の日本を支える元気なモノ作り中⼩企業300社」に選定される 創⽴10周年 台湾支店開設 アジレント・テクノロジー(株)様（現キーサイト・テクノロジー（合））とソリューションパートナー契約を締結 セミオートプローバーAPシリーズをリリース マニュアルプローバー αシリーズ（100/150/200/300） チップから300mmウエハまで対応 20kV、200Aのハイパワー測定対応 α300ＣＳ/α200CS （微⼩電流、高低温での測定に対応） 高電圧/ハイパワープロービング 卓上コンパクトプローバー セミオートプローバー AP150/AP200 光照射プローバー 真空プローバー （液晶/太陽光パネルセル等に） 高周波プローバー 350℃対応WLRマニュアルプローバー 〝PEM300″（TDDB/EM/NBTI等に） マグネットプローバー （MRAM開発等に） 様々な仕様のプローバーを開発・納入して参りました。 御社独自ユーザーカスタマイズが可能ですのでご相談ください。 On wafer test solution 〜Probe Card〜 ⾼周波プローブカード これからのウエハーテスト時代を 強⼒にサポートします ６ＧHz対応！ GNDパッドが無いRFスイ ッチ等でエアコプレナープ ローブのピッチに制限され ることなく⾼周波測定を⾏ うことが出来ます。 DCマルチコンタクトプローブ Coaxial Probe タイプ 狭ピッチSignal PAD対応 BGAにも対応 Bradeタイプ タイプ 微⼩電流プローブカード ★ピッチ：60μｍ〜 ★1〜20pin対応 ★プローブ先端材質：ベリリウム銅・タングステン タングステンレニウム・パラジウム ★その他ご希望の仕様に対応いたします。 ★ PADの不等ピッチ、千⿃配置、2列配置など対応 エポキシタイプ Ｉ（Ａ ） Noise 1.00E-13 8.00E-14 6.00E-14 4.00E-14 2.00E-14 0.00E+00 -2.00E-14 0 -4.00E-14 -6.00E-14 -8.00E-14 -1.00E-13 20 40 60 80 100 120 time（ｓ） ☆⾼・低温下のシビアな測定においても、 安定した結果を得ることができます！！ ☆10fAの測定も可能です！！ ☆フルオート、セミオート、マニュアルプローバー 全てに対応します。 EM/TDDBプローブカード ☆安価です。 ☆多数個取りが可能。 ☆各種基板で製作が可能 300㎜ウエハ一括プロービング！ 350℃の温度下で測定できます。 基板にシリコンと同等な熱膨張率を持つセラミクスを 採用する事により、⾼温下においても、広範囲なエリ アを位置ずれすることなくプロービングできます。 100μmピッチ、60μｍパッドにも対応します。 ⾼周波プローブ 〜110GHｚ セミオートプローバー AP-200 ＜多様な測定に対応＞ ｆAレベルの微⼩電流測定 ｆFレベルの微⼩容量測定 10ｋV以上、200A以上の ハイパワー測定 チップレベルでも連続自動測定が可能な チップアライメント機能を搭載 ★微⼩電流、⾼電圧/⾼電流、⾼周波と各種測定に対応。 ★コンパクト設計。 ★オペレーターに分かり易く操作性に優れた制御ソフト。 ★垂直プローブ対応のプローブアライメントや 自動アライメントもオプションでラインナップ ミリ波対応の⾼周波測定 多様な測定に対応 当社オリジナルのトライアキ シャルプローブ、HVトライア キシャルプローブ、⼤電流プ ローブを組み合わせることで、 測定器スペックに近い分解能で の測定を実現できます。 優れた制御ソフト 制御ソフトはオペレーターが操作 に迷わないように⼯程順にアイコ ンを並べるなど、操作性に優れて います。チップ移動、サブチップ 移動なども⾃動で⾏うことが可能 です。 安全で使いやすく ウエハ、チップのロード、ア ンロードは⼤きな開⼝部で⾏ うことができてスムーズです。 プローブ取り扱い時はステー ジが待避するなどオペレー ターミスを最⼩限に抑られる 様に考えられています。 チップトレイ対応 チップアライメント機（オプション） 登録されたトレイ内に置かれた登録済みの個 ⽚チップを画像認識にて⾃動的にアライメン トする機能です。 個⽚チップを1個1個マニュアルで測定してい た作業を⾃動で複数チップを一気に測定する ことが可能になります。 株式会社アポロウエーブ 〒532-0011 ⼤阪市淀川区⻄中島6-7-8 ⼤昭ビル4F TEL 06-6838-3233 FAX 06-6838-3234 E-MAIL：info@apollowave.co.jp 測定器メーカーのシステム/ ソフトウェアに標準対応 キーサイト・テクノロジー社 EasyEXPERTソフトウェア ケースレーインスツルメンツ社 ACS（測定ソフト） α100 チップや4インチまでのウエハでの IV/CV、RF測定に最適です！！ POINT ① 幅400ｍｍ、奥⾏360ｍｍでとてもコンパクト POINT ② ＜測定対応＞ 微⼩電流 ⾼周波 ⼩径ウエハはもちろん、微⼩チップ・ 割れウエハー吸着も思いのまま POINT ③ 選べるステージ 載せ変えも簡単 実装基板ホルダー ホットチャック サーモチャック ノーマルチャック フィルム用チャック 樹脂製チャック Etc. ★ POINT ④ ★ コンパクトでも⾼性能 ★マイクロメータ付⾼精度 ＸＹＺθステージ搭載で 確実なアライメントを実現！ ★Ｚはレバー3段階切り替えで 測定効率がアップ！ ★クイックポジションは抜群の 使い易さ！ ★ 主な仕様 本体寸法（本体のみ） D：360mm W：400mm 重量（本体のみ） 25ｋｇ ステージトラベル（粗動） Ｘ：100ｍｍ、 サブステージトラベル（微動） Ｘ：14ｍｍ、 チャック径 最⼤4インチ H：330mm Ｙ：100ｍｍ Ｙ：14ｍｍ 微⼩電流測定パッケージ RF測定パッケージ ★α100本体 ★4インチノーマルチャック ★実体顕微鏡 ★ＲＦ用マイクロ マニピュレータ(２個） ★α100本体 ★4インチノーマルチャック ★実体顕微鏡 ★マイクロポジショナー4個 ★トライアキシャルプローブ4本 ★タングステン針25本 ★真空ポンプ 198万円 株式会社アポロウエーブ 〒532-0011 ⼤阪市淀川区⻄中島6-7-8 ⼤昭ビル4F TEL 06-6838-3233 FAX 06-6838-3234 E-MAIL：info@apollowave.co.jp ＜測定対応＞ 微⼩電流 50㎜□程度までのチップでの IV/CV測定に最適です！！ ★グローブボックス内に簡単に設置ができます。 ★グローブボックス内をはじめ、どの環境でも しっかりとしたシールド環境下で測定ができます。 ★簡単に微⼩電流/微⼩容量が測定できます。 ★簡単に持ち運びができ、置き場所を選びません。 ご用途により超コンパクトサイズも お選びいただけます H150㎜ H200㎜ D210㎜ W250㎜ D340㎜ （本体300㎜） 超コンパクトタイプ ★⾼温槽等に⼊れてHAST試験等にも ご使用できるサイズです。 ★お持ちのソーラーシミュレータの下にも 置けるサイズです。 ★ポジショナーは3個まで設置できます。 ★お一人で簡単に持ち運びができます。 W630㎜（本体400㎜） 標準タイプ ★ソーラー シミュレータ ご使用 例 ★⾼温槽 ★⾼精度ポジショナーの使用も可能で、置き⽅にも ⾃由度があります。 ★ポジショナーを最⼤6個まで設置できます。 ★トライアキシャルプローブなどのご使用で さらなる微⼩電流測定等測定の幅が広がります。 ★お一人で持ち運びができます。 ★⾼温多湿仕様は 特注品となります ★本体一式（標準タイプ） ★50㎜ステージ ★マイクロポジショナー3個 ★トライアキシャルプローブ 3個 ★タングステン針（25本/箱） ★コネクタパネル（TXA4個） ★真空ポンプ Curren[A] 微⼩電流測定パッケージ 1.00E-13 8.00E-14 6.00E-14 4.00E-14 2.00E-14 0.00E+00 -2.00E-14 -4.00E-14 -6.00E-14 -8.00E-14 -1.00E-13 -100 -50 0 ★グローブボックス ★フル装備状態 50 100 Voltage[V] 99万円 ※顕微鏡、顕微鏡架台は含みません。 お持ちのものをご使用頂くか別途お⾒積致します。 株式会社アポロウエーブ 〒532-0011 ⼤阪市淀川区⻄中島6-7-8 ⼤昭ビル4F TEL 06-6838-3233 FAX 06-6838-3234 E-MAIL：info@apollowave.co.jp マニュアルプローバー -55℃ ℃〜350℃ ℃対応 α200CS/α300CS 全温度域で微⼩電流測定が可能です ＜多様な測定に対応＞ ｆAレベルの微⼩電流測定 ｆFレベルの微⼩容量測定 10ｋV以上、200A以上の ハイパワー測定 ★微⼩電流、⾼電圧/⾼電流、⾼周波と各種測定に対応。 ★コンパクトシールド搭載でコンパクトな設計。 ★ドライエア置換で低露点環境での測定に対応 ★マイナス温度対応のサーモチャックが搭載可能 ★プローブカードを使用してのWLR試験にも対応 ミリ波対応の⾼周波測定 安全で使いやすく ウエハ、チップのロード、ア ンロードは⼤きな開⼝部で⾏ うことができてスムーズです。 測定系のインターロックと開 閉扉スイッチが連動します。 使いやすい⾼さ動作 ⻑めのレバーにより軽い⼒ でプラテンの⾼さを3段階 に切り替えができます。ま た微調整ノブも手元にあり、 効率的なアライメント動作 を可能にしています。 多様な測定に対応 当社オリジナルのトライ アキシャルプローブ、HV トライアキシャルプロー ブ、⼤電流プローブを組 み合わせることで、測定 器スペックに近い分解能 での測定を実現できます。 ステージ移動が簡単 ステージ移動ノブについてい る移動用スイッチにより、⾃ 在にステージをＸＹに移動さ せることができます。 サーモチャックシステム 最⼤温度範囲 ⽅式 （オプション） ：-55℃〜350℃ プローブカード 微⼩電流、⾼温対応 （350℃）のプローブカード に対応します。TDDB等の WLR試験用途にもご使用頂け ます。 ：チラーによる冷却液循環/ ヒーターのバランス制御 サイズ ：4〜12インチをラインナップ 接続： トライアキシャル、HVトライアキシャル、 コアキシャル、他 株式会社アポロウエーブ 〒532-0011 ⼤阪市淀川区⻄中島6-7-8 ⼤昭ビル4F TEL 06-6838-3233 FAX 06-6838-3234 E-MAIL：info@apollowave.co.jp 主な仕様 本体寸法 300CS 200CS D930mm×W965mm×H700mm D568mm×W678mm×H607mm 重量 300CS ：130ｋｇ ステージトラベ ル（粗動） 300CS 200CS Ｘ：320ｍｍ、 Ｘ：200ｍｍ、 200CS：75kg サブステージト ラ ベ ル （微動） Ｘ：25ｍｍ、 Ｙ：25ｍｍ ※300、200共通 搭載可能 チャック径 4〜8inch（200CS）/4〜12インチ（300CS） Ｙ：320ｍｍ Ｙ：200ｍｍ マニュアルプローバー α150/200/300 POINT 快適な操作性が好評のαシリーズ 評価・解析に幅広いニーズに対応 選べるステージ 載せ変えも簡単 POINT 選べる光学系 実装基板ホル ダー ホットチャック サーモチャック ノーマルチャック フィルム用チャック 樹脂製チャック Etc. 実体顕微鏡 ⾦属顕微鏡 ズームマイクロ （レーザー対応） ⼤型のプラテンを採用 し、余裕のマニピュレ ーターの搭載を実現し ています。 またプラテンが上下す ることで、一括で針の Z調整ができます。 操作性を考慮した前明きの形です。 ウエハーのロード/アンロードが容 易にできます。 Zは3段階切り替え レバーの操作により、3段アクションの Ｚドライブが可能です。アライン（位 置合わせ）はウエハーから約300μm 針を離して⾏うので、顕微鏡の焦点か らはずれないでステージが移動でき、 かつローディング／アンローディング のときは、5.0mm離れますので安全 に操作できます。 ステージ移動が簡単で正確です。 ステージ移動ノブについてい る移動用スイッチにより、自 在にステージをＸＹに移動さ せることができます。範囲は ＸＹ共に各チャックサイズ以 上となります。 ショックアブソーバーの採用で常にソフトなコンタクトを実現 確実なアライメント マイクロメーター付 の⾼精度精密ステー ジをXYZθに採用し ています。プローブ カード装着時のアラ イメントも簡単にで きます。 主な仕様（α α200） 本体寸法（本体のみ） 奥⾏：600mm幅：600mm ⾼さ：450mm 重量（本体のみ） 40ｋｇ ステージトラベル（粗動） Ｘ：200ｍｍ、 サブステージトラベル（微動） Ｘ：25ｍｍ、 チャック径 4〜8inch ウエハー保持 真空吸着⽅式（400ｍｍＨｇ以上） Ｙ：200ｍｍ Ｙ：25ｍｍ ※α150は6インチウエハまでの対応です。 ＜測定対応＞ 微⼩電流 ⾼周波 ハイパワー ●製品の価格、仕様は予告なしに変更される場合があります。 株式会社アポロウエーブ 〒532-0011 ⼤阪市淀川区⻄中島6-7-8 ⼤昭ビル4F TEL 06-6838-3233 FAX 06-6838-3234 E-MAIL：info@apollowave.co.jp ⾼周波用マニュアルプローバー αシリーズ RFパッケージ ＲＦプローブ、ＤＣプローブが装着可能です 確実なプロービングを実現する固定型⾼精度 マイクロマニピュレーターを搭載。 それぞれＸＹＺθの調整機構付です。 PEM300 RFプローブはカスケード社、ズース 社、GGB社の全てに対応しています 。ＤＣプローブは弊社製となってお り、短納期で納⼊できます。特殊仕 様にも対応しております。 信頼性測定用マニュアルプローバー 自社製プローブカードと合わせての一体設計の 為、コンタクトの信頼感が違います。 。 シールドボックスの外へチャッ クを引き出すことができるため ウエハー交換が容易です。 ウエハレベルTDDB/EM/NBTI etc. 300㎜ウエハ一括350℃ ℃測定！！ ツインCCDはプローブカードのアライメ ント（θ調整）を劇的に簡単にします。 カードと上部扉の間には耐熱 ガラス層がありますので、⾼ 温時にN2パージ状態のままア ライメントができます。また これにより⾼温による映像の ゆらぎも解消しています。 組合わせるテスターを選びません。 内部がチャンバーとなっている為、効率 的なＮ２パージが可能です。 操作系はすべて手前に配置しており、 安全にアライメントができます。 Ａｇｉｌｅｎｔ ＫＥＩＴＨＬＥＹ エスペック AETRIUM Ｑｕａｌｉｔａｕ etc. 株式会社アポロウエーブ 〒532-0011 ⼤阪市淀川区⻄中島6-7-8 ⼤昭ビル4F TEL 06-6838-3233 FAX 06-6838-3234 E-MAIL：info@apollowave.co.jp 有機デバイス・MEMSデバイス・材料の研究開発向けプローバー 真空プローバー ＜測定対応＞ 微⼩電流 ⾼周波 ハイパワー ４ポジショナー型 ★真空度は10-３Paに対応 ★信号取り出し方法は個別仕様に対応 ★微⼩電流も測定可能 ★ステージもＸＹ50㎜可動 ★ステージサイズは100㎜までOK 真空チャンバー用 Miniプローバー プローブカード型 ★プローブカードタイプの為、多ピン化が可能 ★真空度は10-１Paに対応 ★非測定物の変更はプローブカードの交換で対応 ★XYZθステージによりアライメント PM-20 チップレベルで簡単に評価！！ 有機デバイス、MEMSセンサー評価に ⼩型（Φ80mm×⾼さ80mm）でプローバーごと 真空チャンバーや⾼温槽に入れて使用できます。 ★プローブカードタイプの為、多ピン化が可能 ★100μm程度のPADにもコンタクト可能 ★非測定物の変更はプローブカードの交換で対応 ★プローバーのみで398,000円と安価 ★信号取り出し方法は個別仕様に対応 ★微⼩電流も測定可能 ★XYZ（±2.5mm）、θ360°のステージ付き 卓上型ボックスプローバー ①顕微鏡でプローブとチップを アライメント ②真空チャンバー、恒温槽へ設置 IN 真空チャンバー/ 恒温槽等 ★ガス置換が可能 ★信号取り出し⽅法は個別仕様に対応 ★微⼩電流が測定可能 ★各種プローブとの組み合わせOK ★簡易除振台の組み合わせもOK 擬似太陽光照射プローバー 太陽電池、TFTの電気的評価に 太陽電池向けプローバー 組合わせ一例 擬似太陽光源 (ソーラーシミュレータ) ◎電源内蔵でコンパクト設計 ◎⾚外〜近⾚外域のスペクトルも⾼近似 ◎フレキシブルなファイバー照射が可能 ◎外付けコントローラで遠隔操作が可能 ◎100〜30%の連続調光機能 ◎RS232Cポートによる外部制御も可能 ★擬似太陽光を照射した状態でサンプルの 電気特性を測定できます。 ★光源により紫外、可視、赤外の照射も可能です。 ★ステージ横に照度計、強度計の設置も可能で 設定値 と実際の照射状態の補正も可能です。 ★裏⾯から照射可能なステージもご用意できます。 ★もちろんサーモチャック、ホットチャックなど オプションの組合わせは自在です。 ★プローバーをセミオート化し、プローバー、測定器、 光をソフトで一括制御することも可能です。 SBP－001 ◎チップ〜⼩ウエハに対応 ◎照射の角度振りが可能 ◎照射のW.D.を変えられます ◎複数の光源から同時照射も可能 ◎コンパクトで安価 SBP－002 裏⾯照射OK a-Si太陽電池用の熱が少ない全く新し い概念のソーラーシミュレーターです ◎チップ〜⼩ウエハに対応 ◎サンプルの上下からの照射可能 ◎照射のW.D.を変えられます ◎複数の光源から同時照射も可能 ◎位置決め機構で顕微鏡も搭載可能 ◎日照計の設置も可能で校正も簡単 ★お薦めオプション★ ＜シールドボックス＞ 余分な熱をカットし、a-Si太陽電池の 感度帯域だけを評価できます。 ★ご希望の仕様により特注対応いたします。 ◎0.00Lux以下の環境 ◎電気的シールド 株式会社アポロウエーブ 〒532-0011 ⼤阪市淀川区⻄中島6-7-8 ⼤昭ビル4F TEL 06-6838-3233 FAX 06-6838-3234 E-MAIL：info@apollowave.co.jp ●製品の価格、仕様は予告なしに変更される場合があります。 ホットチャック RT〜400℃の⾼温測定ニーズに応えます。 ⾼温での微⼩電流・⾼抵抗・低容量の安定測定が可能です Current[A] ヒーター加熱タイプ 5.E-13 4.E-13 3.E-13 2.E-13 1.E-13 0.E+00 -1.E-13 -2.E-13 -3.E-13 -4.E-13 -5.E-13 ●特 特 長 ★4インチ〜12インチウエハ用をラインナップ ★RT〜400℃の温度範囲でラインナップ Time[Sec] ★低ノイズ、低リーク仕様からコスト重視仕様 までラインナップ 200℃ ０〜100Ｖ印加 （トライアキシャル仕様） ★RT〜400℃の温度範囲でラインナップ 0 サーモチャック チラー冷却タイプ 10 20 30 40 -55℃〜+350℃までの温度コントロールが可能です ●特 特 長 ★4インチ〜12インチウエハ用をラインナップ ★-55〜350℃の温度範囲でラインナップ ★低ノイズ、低リーク仕様もラインナップ ★20℃付近のコントロールが可能 サーモチャック ペルチェタイプ -40℃〜+125℃までの温度コントロールが可能です Temparature[C] Temparature-Time 20 15 10 5 0 -5 -10 -15 -20 -25 -30 -35 -40 -45 -50 0 10 20 30 Time[min] 本装置は⾼速メモリーやシステムＬＳＩの温度環境試験 用に開発した装置です。冷却加熱素⼦には、新開発スケル トンペルチェ素⼦を使用しており、温度上昇下降速度が従 来品の数倍に、熱歪による耐久性も向上しました。使用温 度範囲は－40℃〜＋125℃までの温度を⾃由に可変する事 が出来、制御精度は±0.5℃の⾼精度な制御が可能です。オ プションでパソコンから温度設定が出来ますのでシステム への組み込みも可能です。 各チャックとも⾼電圧測定、多点測定、基板材料等 測定内容により、チャックトップの材質、色、メッ キ等を決定いたします。ご相談下さい。 ●価格はお問合せください。 ●製品の仕様は予告なしに変更される場合があります。 ●特 特 長 ★6インチウエハ用をまで可能 ★-40〜125℃の温度範囲でラインナップ ★低ノイズ、低リーク仕様もラインナップ ★20℃付近のコントロールが可能 ★チラータイプに比べて安価 ★温度到達が迅速 株式会社アポロウエーブ 〒532-0011 ⼤阪市淀川区⻄中島6-7-8 ⼤昭ビル4F TEL 06-6838-3233 FAX 06-6838-3234 E-MAIL：info@apollowave.co.jp オプション 豊富なオプションで多様な測定環境をご提案 ★他社プローバーに合うように設計変更品も承ります ⾼精度且つ⼤きく動く ⾼精度且つコンパクト MODEL：M30 178,000円 固定⽅式：マグネット式（ＯＮ/ＯＦＦ付） ストローク量：X、Y、Z各±3.2mm 真直度：１μm 移動量：0.5ｍｍ/回転 マイクロメーター読み取り：10μｍ RF Probeを確実にコンタクト 微⼩電流・容量、⾼周波に MODEL：M20 80,000円 固定⽅式：マグネットラバー式 ストローク量：X、Y、Z各±5ｍｍ 真直度：30μm トラベル量：0.5ｍｍ/回転 マイクロメーター：なし Curren[A] MODEL：M40 198,000円 固定⽅式：マグネット式（ＯＮ/ＯＦＦ付） ストローク量：X、Y、Z各±6.5mm 真直度：1μm 移動量：0.5ｍｍ/回転 マイクロメーター読み取り：10μｍ ローコスト・ハイパフォーマンス 1.00E-13 8.00E-14 6.00E-14 4.00E-14 2.00E-14 0.00E+00 -2.00E-14 -4.00E-14 -6.00E-14 -8.00E-14 -1.00E-13 -100 -50 0 50 Voltage[V] MODEL：M60 320,000円 固定⽅式：マグネット式又はネジ固定 ストローク量：X、Y、Z各±6.5mm，θ360° 真直度：1μm 移動量：0.5ｍｍ/回転 マイクロメーター読み取り：10μｍ 各社RFプローブ装着可能 複数ピンタイプ マルチコンタクトプローブ M60と組合せで最⼤20pin カーブトレーサ等に 同軸プローブ コネクター：SMA 針先端径：5〜40μm 10本150,000円 シールドボックス タイプ：観音開き式、ハッチバック式 寸法：780×780×1000mm（基本） ※オーダーメイド可能です トライアキシャルプローブ コネクター：トライアキシャル 針先端径：1〜30μm 1本 50,000円（トライアキシャル） 先端にタングステン針を装着 ※ケルビンタイプも有 1本100,000円 パワーデバイス測定に ⾼電圧プローブ ⼤電流プローブ 20kV/200A キーサイトB1505A用, ケースレー2657A用、2651A用 岩通計測カーブトレーサ CSシリーズ用 等 各種取り揃えています Lアーム 1本13,000円 ノイズ対策、遮光に Kelvin同軸プローブ コネクター：SSMC 針先端径：1〜40μm 結露防⽌ボックス 簡単なグローブボックスです。 ドライエアを置換してマイナス温度時の 結露を防⽌ 操作に適した位置に操作穴があります。 ●その他多数ご用意しております。 ●価格はお問合せください。 ●製品の仕様は予告なしに変更される場合があります ●お持ちの装置の仕様に合わせて設計を変更出来ます タングステン針 各種先端径有 BeCu、Pd等有 振動対策に 各種除振台 卓上型、テーブル型、ゴム式簡易型 株式会社アポロウエーブ 〒532-0011 ⼤阪市淀川区⻄中島6-7-8 ⼤昭ビル4F TEL 06-6838-3233 FAX 06-6838-3234 E-MAIL：info@apollowave.co.jp 100 オプション YAGレーザー加工装置 微⼩チップの保持 チップチャック 固定⽅法：吸着と機械的保持 オーダーメイド可能です。 微⼩チップチャック 200μmチップ吸着可能 基板へプロービング 基板用ホルダー。 他のチャックと容 易に交換可能 出⼒波⻑：1064/532/355/266nm 発振⽅式：内部循環型⽔冷式 Nd：YAG Laser （パルス幅：＜5〜7nsec） ※詳細はお問合せ下さい マニュアルプローバー ポジショナー 光学系 プローブ 周辺アイテム対応表 α150 α200 α300 M20 ● ● ● ● M30 ● ● ● ● ● M40 ● ● ● ● ● M60（RFプローブ用） 最⼤4個（東⻄南北配置） ● ● ● ● ● ● 実体顕微鏡 ● ● ● ● ● ● ⾦属顕微鏡 ● ● ● ● レーザーシステム ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● トライアキシャルプローブ ● ● ● ● ● ● トライアキシャルケルビンプローブ ● ● ● ● ● ● 同軸プローブ ● ● ● ● ● Lアーム ● ● ● ● ● 同軸ケルビンプローブ ● ● ● ● ● ● ● ● ● 常温チャック ● ● ● ● ● ● ホットチャック ● ● ● ● ● ● ● ※1 ● ※1 ● ※1 ● ●※1 ● ※1 ● ※1 ● ※1 ● ● ● ● ● ● サーモチャック（チラー） サーモチャック（ペルチェ） プローブカード アダプタ α200 /300CS ズームCCD ⾼電圧／⼤電流プローブ チャック ステージ 卓上コン パクト α100 4.5インチ用 8インチ一括コンタクト用 ● 12インチ一括コンタクト用 YAGレーザー ● ● ● ※1 結露対応がなされていない為、温度範囲は+20℃以上の仕様となります。 ※2 別途ポジショナー用アダプタが必要です。 ● ●※１ 〒532-0011 ⼤阪市淀川区⻄中島6-7-8 ⼤昭ビル4F TEL:（06）-6838-3233 FAX:（06）-6838-3234 ローノイズ・ローリーク測定に最適！！ 測定用トライアキシャルケーブル・コネクター ★トライアキシャルはスペック保証付です★ 品目 販売価格 トライアキシャルケーブル （外径：5mm） TXA（P)－TXA（P） ★保証リークスペック：500fA以下 1ｍ未満 ¥7,000 1〜3ｍ ¥7,500 トライアキシャルケーブル （特注細線 外径：2.8mm 耐熱） TXA（P)－TXA（P） ★保証リークスペック：50fA以下 1ｍ ¥14,000 2ｍ ¥15,000 3ｍ ¥16,000 Low noise トライアキシャルケーブル （測定器メーカー純正品と同等の実⼒ 外径：5.３mm） TXA（P)－TXA（P） ★保証リークスペック：10fA以下 〜3ｍ ¥19,800 3〜5ｍ ¥22,800 電圧依存性 New_TXA_Cable Leak-Time @RT 振動の影響確認 New_TXA_Cable Leak-Time @RT New 0V 3.00E-14 振動有り 0V 5.00E-14 4.00E-14 New 100V New -100V 2.00E-14 Leak[A] 1.00E-14 Leak[A] 振動無し 0V 3.00E-14 2.00E-14 0.00E+00 1.00E-14 0.00E+00 -1.00E-14 -1.00E-14 -2.00E-14 -2.00E-14 -3.00E-14 -4.00E-14 -5.00E-14 -3.00E-14 0 10 20 30 40 50 60 70 0 10 20 30 40 50 60 片側コネクターがBNC(P)、SMA(P) 同軸変換アダプタ 上記各1,000円増し （トライアキシャル） TXA（J）-BNC（P） ￥6,300 ストレートタイプ 外部導体フローティング TXA（P）-BNC（J） SMA T型アダプタ T型アダプタ（⾦メッキ） ￥9,600 内部導体フローティング ￥6,900 ストレートタイプ ￥6,200 外部導体フローティング ￥7,400 内部導体フローティング ￥6,400 TXA（J）-TXA（J） トライアキシャル 70 Time[Sec] Time[Sec] J-P-J J-P-J、J-J-J SHV（J)-SHV(J) ※納期はお問合せください。 ※お電話でも承ります。 ※ケーブル⻑、アッセンブリ⽅法等の特注対応も承ります。 ￥7,600 ￥18,000 ￥5,000 ￥30,000 ※トライアキシャルコネクターは全て3ラグタイプです。 ※ＪはＪａｃｋ，ＰはＰｌｕｇの略となります。 ※スペック保証は両端ﾄﾗｲｱｷｼｬﾙに限ります。 ●製品の価格、仕様は予告なしに変更される場合があります。
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