イギリス(ウィルトシャー) Wiltshire.U.K. ドイツ(マインツ) Mainz, Germany アメリカ（インディアナポリス） 中国(上海） Indianapolis, U.S.A. Shanghai, China 台湾(桃園） taoyuan,Taiwan 総合カタログ CLEAN TRANSPORTATION PRODUCT メキシコ(バハ カリフォルニア) タイ(バンコク） Baja california ,Mexico Bangkok, Thailand シンガポール（ジュロンタウン） Singapore,Jurong Town 平田機工株式会社 Hirata Corporation 事業本部 装置事業部 第二装置部 営業G r 営業課 Semiconductor Equipment Dept. 東京本社 Tokyo Headquarters 熊本本部／熊本工場 K um am oto O perations C enter/K um am oto P lant 熊本工場（東工場） K u m am o to P lan t (E ast P lan t) 〒861-5511 熊本県熊本市北区楠野町1016-6 Tel 096-245-1333 Fax 096-245-0816 1016-6 Kusuno, Kumamoto, 861-5511 〒142-0041 東京都品川区戸越３-９-20 3-9-20 Togoshi, Shinagawa, Tokyo, 142-0041 〒861-0198 熊本県熊本市北区植木町一木111 111 Hitotsugi, Ueki, kitaku, Kumamoto, Kumamoto,861-0198 〒8 6 1 -0 1 3 6 熊本県熊本市北区植木町岩野4 -5 4 -5 Iw an o , U eki,kitaku , K u m am o to , 8 6 1 -0 1 3 6 Japan Tel 03-3786-1226 Fax 03-3786-1264 Tel 096-272-0555 Fax 096-272-7901 Tel 0 9 6 -2 7 2 -3 7 1 2 Fax 0 9 6 -2 7 2 -3 6 8 9 海外事業所 〈Overseas Subsidiaries〉 Taiw an H irata C o rpo ratio n H irata C o rp o ratio n o f A m erica Tao yu an ,Taiw an 台湾（桃園） In d ian a, U .S .A . アメリカ（インディアナ） A rizo n a, U .S .A . アメリカ（アリゾナ） H irata E n gin e erin g E u ro pe G m bH M ain z, G e rm an y ドイツ（マインツ） W iltsh ire , U .K . イギリス（ウィルトシャー） H irata FA E n gin eerin g (S ) P te.Ltd . シンガポール（ジュロンタウン）Ju ro n g To w n , S in g ap o re H irata E n gin e erin g (Th ailan d ) co .,Ltd . B an g ko k, Th ailan d タイ（バンコク） H irata M echanicalEquipm ent S ales (S hanghai) C o.,Ltd. 中国（上海） S h an g h ai, C h in a H irata A u to m ted M ach ine ry (S h an gh ai) C o .,Ltd . 中国（上海） S h an g h ai, C h in a H irata E n gin eerin g S .A .D e C .V B aja C alifo rn ia,M e xico メキシコ（バハ カリフォルニア） 平田機工ホームページアドレス http://www.hirata.co.jp Tel 8 8 6 -3 -4 7 7 -7 9 7 7 Tel 1 -3 1 7 -8 5 6 -8 6 0 0 Tel 1 -4 8 0 -6 2 6 -1 7 8 2 Tel 4 9 -6 1 3 1 -9 4 1 3 -0 Tel 4 4 -1 7 9 3 -5 1 4 -6 6 9 Tel 6 5 -6 8 6 2 -1 1 7 8 Tel 6 6 -2 -3 6 1 -8 8 2 5 Tel 8 6 -2 1 -3 4 7 1 -1 1 1 0 Tel 8 6 -2 1 -3 3 6 5 -5 6 1 0 Tel 1 -6 1 9 -2 4 0 -8 5 4 7 Fax 8 8 6 -3 -4 7 7 -7 1 5 3 Fax 1 -3 1 7 -8 5 6 -2 5 0 0 Fax Fax Fax Fax Fax Fax Fax 4 9 -6 1 3 1 -9 4 1 3 -1 3 4 4 -1 7 9 3 -4 8 0 -3 5 1 6 5 -6 8 6 2 -1 8 1 7 6 6 -2 -3 6 1 -8 8 2 7 8 6 -2 1 -3 4 7 1 -1 1 1 5 8 6 -2 1 -3 3 6 5 -5 6 1 5 5 2 -6 6 4 -6 4 7 -3 8 9 1 <e-mail>semicon@hirata.co.jp Hirata Corporation Homepage Address 安全に関するご注意 ●労働安全衛生法、ロボット安全通則(JIS)を遵守し、安全などの危険防止策を講じてください。 ●ご使用の際には、取扱説明書をよくお読みの上正しくご使用ください Follow JIS to ensure safety. Read manuals carefully before ope rating the robot. ※このカタログに記載されている仕様・数値等は予告無しに変更する場合がございます。あらかじめご了承下さい。 All specfication and description on catalog are subject to chang e without prior notice. 12.04.100 0 CAT NO.206 システム構成図 System Configuration EFEM システムメーカとしての長年の経験、ノウハウを生かしたシステム構成です。 This architecture is developed through our long and in-depth experience as a system integrator and the most efficient to integrate automation system. ＥＦＥＭ・ソーター 特 長 Strong Point Equipment Front End Module 完成度の高いモジュール構成で、あらゆるEFEMに対応します。 Hirata modular units make EFEM more flexible. 特 長 Strong Point PCはもちろんのこと、PLCとの親和性が高く、あらゆるシステム要求に 対応できます。 ミニマムフットプリント Minimum Footprint ロボット、ロードポート、ハンドの最適配置が可能 Your favorite PLC is ready to get a control of Hirata robot controller. Enables the flexible arrangement of robots, load ports and hands. 高スループット High Throughput 高性能ACサーボモータを採用し、余裕の可搬重量で高速な 動作を実現 Smooth and High Speed wafer handling with AC servo system and control. 安定した走行軸性能 Strongly-built slider 堅牢無比なラック＆ピニオンを採用し、低騒音、無給油を実現 Robust rack & pinion ensures quiet driving and lubrication-free. Host Computer Equipument Front End Module ホストPC EFEM・ソーター 豊富なバリエーション、カスタム対応 Meets Customer’ s Requirement with Various Options あらゆる装置メーカ様のご要求に対応 Accommodates for various equipment manufacturer’ s requirement w/ various options. パーティクルレス Particle Free 業界で評価されたロードポート、ロボット、筐体（エンクロージャ） 大気搬送ロボット Proven Clean FOUP Opener, Smooth down air flow Enclosure & High Clean Robot. Atmospheric Type Robot AR-Wnシリーズ AR-Wn series 真空搬送ロボット Vacuum Type Robot AR-WVシリーズ AR-WV series Controller Wafer Handing Robot コントローラー ウェーハ搬送ロボット 300mm EFEM 実績の高信頼性 Proven reliability 過酷な環境で稼動している4万台のロボット技術を継承 Application of over 40,000 units of long term and heavy duty industrial Robotics Technology to Wafer Handling Robot. ５年間メンテナンスフリーをベースにした設計基準 Basic design with five years Maintenance Free Concept. PC / PLC オープナシリーズ Opener Series KWFシリーズ KWYシリーズ KWOシリーズ KWPシリーズ KWF series KWY series KWO series KWP series Loadport ロードポート タッチパネル Touch panel プリアライナ HMI Prealigner KWAシリーズ KWA series Peripherals アライナ 2 450mm EFEM 3 EFEM Equipment Front End Module 外形寸法図 Dimensions ＜装置仕様＞ 300mmEFEM ２ポート ＜System Spec.＞ ＥＦＥＭ・ソーター 仕 様 Specifications 300mmEFEM ２port ベ−ス一体加工によるト−タル位置精度アップ High accuracy achieved by the integrated processing カバー（前後面、側面）：パネル構造 Cover (sides) : Panel Structure モジュール構造にて、組合せにより形成 Modules can be combined into various structures. 81 豊富な社内機械加工装置であらゆる構造をリーズナブルなコストで対応 シグナルタワー Signal tower Low Cost with various & many In-house manufacturing machines 電子ビーム溶接 Sheet metal working & welding machines 1,000トンプレスによる一体成型 Cold forming with 1,000 ton Press 大型5面加工機（８ｍｘ３ｍｘ1.4ｍ） で高精度加工 High precision and high ブザー Buzzer 窓 非常停止スイッチ 1600 1739 2060 5-faces machining) 2450 volume machining capability.(max. workpiece size:8m x 3m x 1.4m with WINDOW 窓 EMO WINDOW 窓 WINDOW ウエハ受渡口 Wafer IN/OUT 913 ＜各種オプション＞ ＜Options＞ 内部構造 流量調整（風量調整FFU、可変ルーバ） (450.7) Air flow control（Flow Control FFU, Adjustable Louver) 1290 ケミカル対応FFU：酸系・ボロン系等、各対象ガスに対応 792.5 背面 REAR (1243.2) 正面 FRONT Emission-free FFU : No acid gas, boron gas emitted. エンクロージャ内照明 Enclosure Lightening イオナイザ Ionizer ロードポート：AMHS対応光I/O、キャリアIDリーダ 450mmEFEM ２ポート 450mmEFEM ２port Loadport : Optical I/O for AMHS, Carrier ID Reader プリアライメントでウエハ認識（OCR、2次元バーコード） POD ID Detection with Opener (OCR, ID Tag) 操作パネル、 スタンドランプ Operation Panel & Lightening 裏面非接触アライナ Aligner without contacting the back surface エッジグリップハンド Edge grip end effector 81 AMHS Integration System ( MCS ) E30 GEM E5 SECSⅡ E37 HSMS EFEM Controller シグナルタワー Signal tower ブザー 通信：あらゆるプロトコル、通信方式に対応可能、 装置側のソフト変更が不要 Communication : Hirata can accommodate with any communication protocol of process equipment and process equipment is free from software modification Buzzer 窓 WINDOW 非常停止スイッチ 振動問題、気流問題を考慮した設計 E84 Parallel I/O FOUP Opener Transfer Robot Wafer Aligner FOUP Opener Wafer ID Vision EFEMのあらゆるステータス情報を送信 EFEM status can be sent to Equipment Control Computer upon specification agreement 装置側との操作性の統一にも対応 Hirata EFEM control software can accommodate with equipment side operational requirement EMO 窓 WINDOW Wafer IN/OUT (535.25) 1489 窓 WINDOW ウエハ受渡口 913 Smooth Air flow and Low Vibration Design AGV OHV 4 ＜制御仕様＞ <Communication spec.> 1600 1739 2060 Control System 2450 制御イメージ図 875 (1410.25) 背面 REAR 正面 FRONT 5 EFEM Equipment Front End Module 外形寸法図 Dimensions 300mmEFEM ３ポート 300mmEFEM 4ポート 300mmEFEM 3port ＥＦＥＭ・ソーター 外形寸法図 Dimensions 300mmEFEM 4port 81 81 シグナルタワー シグナルタワー Signal tower Signal tower ブザー ブザー Buzzer 窓 窓 EMO 非常停止スイッチ WINDOW 窓 WINDOW 1600 1739 2060 非常停止スイッチ 1600 1739 2060 窓 WINDOW 2450 2450 Buzzer WINDOW ウエハ受渡口 792.5 (1243.2) ウエハ受渡口 (450.7) 背面 2300 REAR 背面 792.5 (1243.2) REAR 正面 正面 FRONT FRONT 450mmEFEM 3ポート 450mmEFEM ４ポート 450mmEFEM 3port 450mmEFEM 4port 81 81 シグナルタワー シグナルタワー Signal tower Signal tower ブザー ブザー Buzzer EMO 窓 窓 WINDOW 窓 WINDOW 非常停止スイッチ EMO 1600 1739 2060 1600 1739 2060 非常停止スイッチ WINDOW 2450 2450 Buzzer 窓 窓 WINDOW 913 913 (450.7) 窓 WINDOW Wafer IN/OUT Wafer IN/OUT 1795 EMO WINDOW ウエハ受渡口 913 (535.25) 2074 正面 875 (1410.25) 窓 WINDOW ウエハ受渡口 Wafer IN/OUT 913 Wafer IN/OUT 窓 WINDOW 背面 REAR 2659 (535.25) 875 (1410.25) 背面 REAR 正面 FRONT FRONT 6 7 ソーター Wafer Sorter： FreedomTM series ＥＦＥＭ・ソーター 完成度の高いモジュール構成でお客様のご要望に対応します。 外形寸法図 Dimensions Meet customer s requests with high-quality modules 300mm Sorter ２×２ポート 特 長 Strong Point SEMIソフトウェアスタンダード GEM300に対応。 300mm Sorter 2×2port SEMI software standard Supports GEM300. 豊富なバリエーション、カスタム対応 あらゆるレシピのご要望に対応。 Meets Customer’ s Requirement with Various Options Cope with the demand of every recipe. ミニマムフットプリント 85 1390 1175 窓 WINDOW パーティクルレス Particle Free 業界で評価されたロードポート、ロボット、筐体（エンクロージャ） Wafer Sorter：FreedomTM 300 227 436.5 521.5 Proven Clean FOUP Opener, Smooth down air flow Enclosure & High Clean Robot. 非常停止スイッチ EMO 913 Robust rack & pinion ensures quiet driving and lubrication-free. ブザー Buzzer 微差圧計 Differential pressure gauge 930 Strongly-built slider 堅牢無比なラック＆ピニオンを採用し、低騒音、無給油を実現 メインブレーカ Main Breaker キーボード Keyboard 2000 安定した走行軸性能 窓 WINDOW 40 Smooth and High Speed wafer handling with AC servo system and control. プライマリーパワーLED Power Lamp Primary supply セカンダリ−パワーLED Power Lamp Secondary supply 140 720 High Throughput 高性能ACサーボモータを採用し、余裕の可搬重量で高速な動作を 実現 743.5 高スループット 1834 Enables the flexible arrangement of robots, load ports and hands. (49) 1466 390 290 シグナルタワー Signal tower 非常停止スイッチ EMO タッチパネルモニタ Touch panel monitor モード切替スイッチ Mode select switch パワーOFF スイッチ Power OFF switch パワーON スイッチ Power ON switch 1600 Minimum Footprint ロボット、ロードポート、ハンドの最適配置が可能 55 40 (450.7) 225 756 背面 (450.7) REAR (1657.4) 1600 正面 FRONT 実績の高信頼性 Proven reliability 過酷な環境で稼動している4万台のロボット技術を継承 Application of over 40,000 units of long term and heavy duty industrial Robotics Technology to Wafer Handling Robot. 5年間メンテナンスフリーをベースにした設計基準 450mm Sorter ２×２ポート 450mm Sorter 2×2port Basic design with five years Maintenance Free Concept. 85 シグナルタワー 390 290 Signal tower 非常停止スイッチ タッチパネルモニタ EMO プライマリー パワーLED Power Lamp Primary supply Touch panel monitor セカンダリ− パワーLED Mode select switch Differential pressure gauge EMO 非常停止スイッチ 85 非常停止 スイッチ EMO EMO パワーOFF スイッチ Power OFF switch 窓 パワーON スイッチ WINDOW Power ON switch 40 720 743.5 キーボード Keyboard 40 227 225 55 1600 窓 WINDOW 581 666 8 微差圧計 1544 モード切替スイッチ Main Breaker Wafer Sorter：FreedomTM 450 非常停止スイッチ (140) 913 メインブレーカ (140) Buzzer 2000 1894.5 1834 1600 1390 1175 930 Power Lamp Secondary supply 140 1544 ブザー (535.25) 1769 960 (2030.5) (535.25) 背面 REAR 正面 FRONT 9 Wafer Sorter： FreedomTM series 外形寸法図 Dimensions 外観図についてはお問い合わせください。 Please contact us for an appearence diagram. 300mm Sorter 3ポート 300mm Sorter 4ポート Touch panel monitor セカンダリ− パワーLED Mode select switch Buzzer 1941 EMO 非常停止スイッチ 85 非常停止 スイッチ EMO EMO Power OFF switch パワーON スイッチ 窓 EMO Power Lamp Primary supply メインブレーカ Main Breaker WINDOW WINDOW 1600 ブザー (49) 2446 非常停止スイッチ (49) Buzzer 微差圧計 2446 EMO 非常停止スイッチ Differential pressure gauge 85 非常停止 スイッチ EMO EMO Touch panel monitor モード切替スイッチ Mode select switch パワーOFF スイッチ 窓 Power OFF switch 窓 WINDOW パワーON スイッチ キーボード Keyboard WINDOW 窓 Power ON switch 436.5 521.5 227 55 225 40 436.5 521.5 390 290 タッチパネルモニタ 40 WINDOW 窓 140 窓 窓 WINDOW WINDOW 窓 WINDOW WINDOW 913 40 Keyboard WINDOW 窓 Power ON switch キーボード 743.5 720 窓 2000 1834 1600 1390 1175 930 窓 非常停止スイッチ Power Lamp Secondary supply パワーOFF スイッチ WINDOW Signal tower プライマリー パワーLED セカンダリ− パワーLED モード切替スイッチ Power Lamp Secondary supply Main Breaker 非常停止スイッチ (49) 微差圧計 85 シグナルタワー (49) Differential pressure gauge タッチパネルモニタ Power Lamp Primary supply メインブレーカ 140 EMO 1941 ブザー 1600 非常停止スイッチ プライマリー パワーLED 390 290 2000 1834 1600 1390 1175 930 85 Signal tower 300mm Sorter 4port 913 300mm Sorter 3port シグナルタワー ＥＦＥＭ・ソーター 外形寸法図 Dimensions 743.5 720 ソーター (450.7) 2075 55 40 227 225 背面 756 (1206.7) 背面 (450.7) 756 (1206.7) 2580 正面 REAR FRONT REAR 正面 FRONT 450mm Sorter 3ポート 450mm Sorter ４ポート 450mm Sorter 3port 450mm Sorter 4port 非常停止スイッチ (140) 非常停止スイッチ (49) Buzzer 微差圧計 Differential pressure gauge EMO Power Lamp Primary supply 2220 85 EMO 非常停止スイッチ 非常停止 スイッチ 85 EMO Touch panel monitor モード切替スイッチ メインブレーカ パワーOFF スイッチ 窓 Power OFF switch WINDOW 窓 WINDOW 窓 窓 WINDOW WINDOW パワーON スイッチ Main Breaker キーボード Keyboard 496 581 40 227 225 55 2354 窓 WINDOW 743.5 720 1600 913 743.5 720 40 2000 1894.5 1834 1600 1390 1175 930 Power ON switch プライマリーパワーLED Power Lamp Primary supply セカンダリ−パワーLED Power Lamp Secondary supply メインブレーカ Main Breaker (535.25) 875 (1410.25) 背面 REAR シグナルタワー Signal tower 非常停止スイッチ EMO タッチパネルモニタ Touch panel monitor モード切替スイッチ Mode select switch パワーOFF スイッチ Power OFF switch パワーON スイッチ Power ON switch キーボード Keyboard 290 (140) 140 ブザー Buzzer 微差圧計 Differential pressure gauge 496 581 非常停止スイッチ EMO 非常停止スイッチ (49) EMO 窓 WINDOW 2000 1894.5 1834 1600 1390 1175 930 WINDOW 40 Mode select switch 窓 2714 390 EMO タッチパネルモニタ セカンダリ− パワーLED Power Lamp Secondary supply 140 2129 ブザー 2805 窓 WINDOW 窓 WINDOW 窓 WINDOW 85 非常停止スイッチ EMO 窓 WINDOW 1600 Signal tower プライマリー パワーLED 390 290 913 85 シグナルタワー 40 55 227 225 (535.25) 2939 875 (1410.25) 背面 REAR 正面 FRONT 正面 FRONT 12 10 13 11 ウェーハ搬送ロボット 大気搬送ロボット Wafer Handling Robot 仕 様 Specifications Atmospheric Type Robot 特 長 Strong Point 狭いフットプリントでクリーン度を保ちます。 AR-Wn180CL-4-T-330 Small footprint does not disturb down flow in the clean room. 高スループットで生産性を向上します。 High performance robot achieves higher through-put. 反転軸（Ｃ軸） により裏面処理が可能です。 Wafer turner option allows you to process reverse side of wafer. Special absolute encoder adopted to eliminate data backup battery. ロボットタイプ Robot Type 型 式 Model 最小回転径 ※1Min.Swinging Envelope 到達距離 ※1 Max Reach Z-axis 昇降軸 W-axis 旋回軸 Arm（Right） ※1 伸縮軸（右） 動作範囲 Operational Arm（Left） ※1 伸縮軸（左） Area Filip-axis R 反転軸 Wrist（Lower） リスト軸（下） Wrist（Upper） リスト軸（上） 搬送速度 Speed テレスコ式昇降軸にて940mmのロング ストロークのバリエーションを追加しました。 AR-Wn180CL-5-TR-940 940mm Z-axis achieved by telescopic body structure added to lineup. 小口径から大口径ウェーハの450mmにも 対応 It supports 450mm of the large-diameter wafer from a small diameter 型式表示 Type Description AR-Wｎ Dimensions CL 大気搬送ロボットシリ−ズ 表記 D☆ アーム長 Arm Length 表 記 ア − ム 長 Arm Length 125mm 125 150mm 150 180mm ※Ⅰ 180 200mm 200 230mm 230 表記 3-S 4-T 4-SR 4-SW 5-SWW 5-TR 3軸 4軸 4軸 4軸 5軸 5軸 表記 270 300 330 400 H350 T940 − − − − − − アームタイプ Arm Type 軸数 − アームタイプ Arm Type Single Arm シングルアーム Twin Arm ツインアーム Single Arm with Flip-axis シングルアーム+反転軸付き Single Arm with Wrist-axis シングルアーム+リスト軸付き シングルアーム+リスト軸×２付き Single Arm with Double Wrist-axis Twin Arm with Flip-axis ツインアーム+反転軸付き Z軸ストローク Z-Axis Stroke Z軸 ストローク Z-Axis Stroke 270mm 300mm 330mm ※ 400mm 350mm ( High rigidity type) 350mm（高剛性タイプ） 940mm（テレスコタイプ） 940mm ( Telescopic type) 設計バ−ジョン Design Versions 設計バ−ジョン Design Versions 表記 無記名 バージョンアップなし No version up Version up 2 バージョンアップ2 2 Version up 3 バージョンアップ3 3 ・ ・ 10 12 表記 無記号 A2 A3 C2 昇降軸 Z-axis Ｚ軸 500mm/sec 800mm/sec ※4 500mm/sec 800mm/sec ※4 500mm/sec 800mm/sec ※4 500mm/sec 800mm/sec ※4 500mm/sec 800mm/sec ※4 旋回軸 W-axis Ｗ軸 360 /sec 400 /sec ※4 360 /sec 400 /sec ※4 360 /sec 400 /sec ※4 360 /sec 400 /sec ※4 360 /sec 400 /sec ※4 伸縮軸（右） Arm(Right) Ａ軸 900mm/sec 1080mm/sec 1300mm/sec 1450mm/sec 1300mm/sec 1380mm/sec ※3 伸縮軸（左） Arm(Left） Ｂ軸 900mm/sec 1080mm/sec 1300mm/sec 1450mm/sec 1300mm/sec 1380mm/sec ※3 反転軸 リスト軸（下） リスト軸（上） Filip-axis R Wrist（Lower） Wrist（Upper） Ｒ軸 Ｒ軸 Ｃ軸 最低搬送高さ ※1 （ロボット取付面−ハンド取付面） Minimum Transportation Height （Robot Mounting Surfice - End Effector Surfice） ハンド間ピッチ Distance between End Effectors 本体重量 Weight 繰り返し精度 クリーン度 可搬重量 Repeatability Clean Class Payload フットプリント Footprint 供給電源 Power Supply 540 /sec 540 /sec 540 /sec 360 /sec 360 /sec 360 /sec 360 /sec 360 /sec 360 /sec 630mm (Z ：270mm) 660mm (Z ：300mm) 690mm (Z ：330mm) 760mm (Z ：400mm) 734mm (Z ：350mm ※3) 855mm (Z ：940mm ※4) 10mm ∼ 47kg 43kg 70kg ※3 45kg 40kg 88kg ※4 84kg ※4 90kg ※4 86kg ※4 81kg ※4 Z 軸 Z-axis : ±0.05mm、W 軸 W-axis : ±0.03 、A/B 軸 Arm（Right/Left）: ±0.05mm、R（反転 Flip-axis）軸 : ±0.06 ISO クラス 1 ISO Class1 ※2 1.5kg（ハンド含む incuding end effector） □250mm、 □300mm ※3 280×350mm ※4 単相 Single-phase AC200V 540 /sec 360 /sec 360 /sec − − − ※1：ハンド長により変化 Depends on end effector length ※2：ダウンフロー・強制排気時 Air down flow/air exhaust required ※3：高剛性タイプ （Z軸：350mmのみ） High rigidity (Z-axis: 350mm only) ※4：Z軸ロングストロークタイプ （テレスコ） Z-axis long stroke (telescopic) 設計順位 オ−ダメイドNo. Wafer Handling Robot Series Ｚ軸 Ｗ軸 Ａ軸 Ｂ軸 Ｒ軸 Ｒ軸 Ｃ軸 大気搬送ロボット Atmospheric type robot AR-Wn125CL-＊-＊＊＊-＊＊＊ AR-Wn150CL-＊-＊＊＊-＊＊＊ AR-Wn180CL-＊-＊＊＊-＊＊＊ AR-Wn200CL-＊-＊＊＊-＊＊＊ AR-Wn230CL-＊-＊＊＊-＊＊＊ 650mm 550mm 825mm 610mm 420mm 656.4mm 559.8mm 979.3mm 617.7mm 512.5mm 270mm、300mm、330mm、400mm、350mm ※3、940mm ※4 340° 482.9mm（MAX) 579.5mm（MAX) 695.4mm（MAX) 772.7mm（MAX) 888.6mm（MAX) 482.9mm（MAX) 579.5mm（MAX) 695.4mm（MAX) 772.7mm（MAX) 888.6mm（MAX) 190 190 190 190 − ±120 ±120 ±120 ±120 − ±120 ±120 ±120 ±120 − ウェーハ搬送ロボット 特殊アブソリュートエンコーダの採用により、 バッテリーレスを実現しました。 Dimensions デットスペ−ス Dead Space デットスペ−ス Dead Space ☆部に下記No.を記載 Choose No. from the list below and fill ☆. 各軸表記 Axis Description アプリケ−ションケーブル、 エア−配管 Application Cable, Air Piping アプリケ−ション配管 Application Piping 4mmエアーホ−ス*1＋I/O 0.2mm^2*4本（標準）※ 4mm Air hose*1+I/O 0.2mm^2*4(standard) ※ 4mm Air hose*2+I/O 0.2mm^2*4 4mmエアーホ−ス*2＋I/O 0.2mm^2*4本 4mm Air hose*3+I/O 0.2mm^2*4 4mmエアーホ−ス*3＋I/O 0.2mm^2*4本 4mm Air hose*1+I/O 0.2mm^2*4x2 4mmエアーホ−ス*1＋I/O 0.2mm^2*4本×2 A軸（伸縮軸：Arm(Right) ） A軸（右手伸縮軸：Arm(Right) ） C軸（上：Wrist(Upper) ） R軸（反転軸：Filip-axis R） A軸（伸縮軸：Arm(Right) ） 表記 無記号 ME M5 M6 M8 M12 M18 M82 表記 VA VP EA EV PK PS CG CP CE SP マッピングセンサ Mapping Sensor マッピングセンサ Mapping Sensor Without mapping sensor（Standard) マッピングセンサなし（標準） Reflection type mapping sensor 反射型マッピングセンサあり 透過型マッピングセンサあり、5インチウェハ用 Through-beam type mapping sensor (For 5-inch wafer) 透過型マッピングセンサあり、6インチウェハ用 Through-beam type mapping sensor (For 6-inch wafer) 透過型マッピングセンサあり、8インチウェハ用 Through-beam type mapping sensor (For 8-inch wafer) 透過型マッピングセンサあり、12インチウェハ用 Through-beam type mapping sensor (For 12-inch wafer) 透過型マッピングセンサあり、18インチウェハ用透過型 Through-beam type mapping sensor (For 18-inch wafer) 透過型マッピングセンサあり、8、12インチ共用 Through-beam type mapping sensor (For 8/12-inch wafer) ハンド種別 End Effector Type ハンド種別 End Effector Type Vacuum-grip, Atmospheric release 吸着ハンド、大気開放 Vacuum-grip, Purge release 吸着ハンド、パージ有り エッジグリップハンド、加圧エア−タイブ Edge-grip, Pressurized air type エッジグリップハンド、負圧エア−タイブ Edge-grip, Negative pressure air type Friction-grip 落とし込みハンド Friction-grip + Attended sensor 落とし込みハンド+在籍センサあり Cyclone-grip + Guide pin サイクロンハンド+ガイドピン Cyclone-grip + Rubber pads サイクロンハンド+ゴムパッド Cyclone-grip + Edge-grip サイクロンハンド+エッジグリップ Special-grip 特殊ハンド R軸（下：Wrist(Lower) ） W軸（旋回軸：W-axis） B軸（左手伸縮軸：Arm(Left) ） 8 4 7 2 W軸（旋回軸：W-axis） 3 6 1 5 Z軸（昇降軸：Z-axis） W軸（旋回軸：W-axis） Z軸（昇降軸：Z-axis） Z軸（昇降軸：Z-axis） バックパネル Back panel ＜デッドゾーン＞ Dead Space 型式：AR-Wn180CL-4-SR-330 型式：AR-Wn180CL-5-SWW-330 型式：AR-Wn180CL-4-T-330 11 13 ウェーハ搬送ロボット Wafer Handing Robot 外形寸法図 Dimensions 外観図についてはお問い合わせください。 Please contact us AR-Wn125CL-4-T-330 A ventilation fan is installed at the bottom of the robot. Exhaust hole for ventilation is required. （120mm x 120mm Drain hole size) 外形寸法図 Dimensions for an appearence diagram. AR-Wn180CL-4-T-330 A ventilation fan is installed at the bottom of the robot. Exhaust hole for ventilation is required. (120mm x 120mm Drain hole size) ウェーハ搬送ロボット AR-Wn150CL-4-T-330 A ventilation fan is installed at the bottom of the robot. Exhaust hole for ventilation is required. (120mm x 120mm Drain hole size) 12 14 AR-Wn200CL-4-T-330 A ventilation fan is installed at the bottom of the robot. Exhaust hole for ventilation is required. (120mm x 120mm Drain hole size) 13 15 ウェーハ搬送ロボット Wafer Handing Robot 外形寸法図 Dimensions 外形寸法図 Dimensions AR-Wn230CL-4-T-330 0 ※360 7. 5 R4 0 45 ∅ 350st 749.7(上ハンド最低搬送高さ） 505 615.7 565.2 709.7(上ハンド最低搬送高さ） 671.7 12 12 330st 250 125 165° Upper End Effector Minimum Transport Height 230 120 30 300 Dead Zone ※：ハンド長により変化します。 Depends on end effector length 0 60 0ウ ェ ハ 減圧弁 Pressure Reducing Valve プレッシャーゲージ EN MO Pressure gauge 195 159 R3 0 A-A矢視図 413 R R776.5 2. 5 18 0 100 00 0 3 R 248 280 240.25 B 144.75 361.5 A-A Cross Section View 266 227 342 pe ∅ Waiting Position 30 R47.5 115 lo 径 待機姿勢 Back Panel 679 630 637 738.7 688.2 833.1 794.7 Lower Wafer Height 856(下段ウェハ高さ) 2.77（上下ＷＦのずれ） Dead Zone バックパネル 312.73 251.5 564.23 708.99 117 95 247 Waxis デッドゾーン 450 7 ∅ 30 0 End Effector Pitch 30(ハンドピッチ) Ｚ 940st 480 Misalignment of Upper and Lower WF 回 0 ∅ W axis デッドゾーン 54 R47.5 300 (-80±10kPa) 40° A 95 A 150 300 AIR ハンド開閉 0.1∼0.12MPa End Effector Opening and Closing A Vaccum Chuck A 150 Inverting Wafer Minimum Height VAC ハンド吸着 695.5(ウェハ反転時最低高さ) 188 150 Inverting Wafer Maximam Height 165° 300 150 5 I/O2 I/O1 VAC ハンド内吸引 10NL/min以上 Suction inside MO2 EN2 of End Effector En ve 旋 ng 小 wi 最 .S in M 45.2 535 150 230 6. 1935.5(ウェハ反転時最高高さ) 222.2 444.3 719.3 979.3（最大到達距離）Max. Reach 794.3（挿入ストローク）Arm Stroke 170° 222.2 R7 533 596.2 547 722.7 653.7 596.2 533 222.2 185 93 Ｚ Wafer Pitch 12（ウェーハピッチ） 722.7 653.7 ing En 1841.2 514 620.7 563.2 505 ） . Sw 170° 762.7（最小高さ）Min.Height Upper End Effector Minimum Transport Height 222.2 539.3 444.3 ※745.3(挿入ストローク) Arm Stroke 170° Ｚ Wafer Pitch 10(ウェーハピッチ) 330(Zストローク) Z-stroke 682.7 724.5(最小高さ)Min.Height Z-stroke 350（Z ストローク） R47.5 2.5 R7 734.2（最低搬送高さ）Min.Pass Line A W Exhaust Fan 50 230 B 排気ファン 12 R4 回径 小旋 5（最 velope Min ウェーハ搬送ロボット ） 5 7. φ173 82 ※∅ 0 A-A Cross Section View 140 140 117 290 30 A-A矢視図 330 W 0 215 Ø3 8 Ø3 0 82 排気ファン 径 4-∅5H7通シ (P.C.D380) Exhaust fan 半 pe 30 122 Z-axis Long Stroke Type ーハ fer ∅ A ventilation fan is installed at the bottom of the robot. Exhaust hole for ventilation is required. （120mm x 120mm Drain hole size) 回 lo ve 300 5° 注記） ロボット底面には、排気ファンが取付いてい ますので、ロボットを取付けるベースには、 排気用の抜き穴が必要です。 (120mm x 120mm の抜き穴) 旋 30 122 AR-Wn180CL-5-TR-940 Z軸ロングストロークタイプ 0ウェ m Wa En ∅45 450m 4-M6タップ通シ (P.C.D380) 小 5° ウェーハ径に関係なく、到達距離 にてロボットを選択いただけます。 Robot selected by max reach, regardless of the size of wafer. Depends on end effector length □250 45° 45° 110 ※：ハンド長により変化します。 Dead Zone 最 (-80±10kPa) ing Sw 4-∅11通シ (P.C.D382) W axis デッドゾーン Vaccum Chuck 95 250 5（ A 120 30 250 2. High Rigidity Type 250 VAC ハンド吸着 in. 125 125 M 49° 150 1 R4 pe e elop Env 径） elo nv 径) 184.02 回半 gE ing . Sw Min 795.31 小旋 7 ※Ø 280 win .S 小 10(最 114.48 0(最 593.25 A Min B R47.5 旋回 AR-Wn230CL-4-T-H350 高剛性タイプ 1112.7 0 45 ∅ 4 R3 1054.5 194.5 W A 14 16 ハンド取付部詳細図 170° Ø153 230 230 180 End Effector Holder Detail 230 ※804.3(最大到達距離) Max. Reach Exhaust fan A-A矢視図 A-A Cross Section View 444.33 r 5 排気ファン 979.33 205 330 347.73 180 25 93 P.C.D33 ーハ Wafe P.C.D31 A ventilation fan is installed at the bottom of the robot. Exhaust hole for ventilation is required. （120mm x 120mm Drain hole size) 713.8(最低搬送高さ)Min.Pass Line 0ウェ mm 10 30 4° 300 Comparison of Max Reach for 450mm Wafer 40 Ø30 4-∅5H7 265 125 4° 707.73 95 55 110 4-∅9 40 45°4-M6 45° 注記） ロボット底面には、排気ファンが取付いてい ますので、ロボットを取付けるベースには、 排気用の抜き穴が必要です。 (120mm x 120mm の抜き穴) ※450mmウェーハ到達距離比較図 50 +0.10 +0.05 18 上段ハンド伸時 Upper End Effector when extended 15 17 ウェーハ搬送ロボット 真空搬送ロボット Wafer Handing Robot 仕 様 Specifications Vacuum Type Robot 特 長 Strong Point 高真空・シングルアームタイプ High Vacuum - Single Arm Type ロボットタイプ Robot Type Flexible combination of arm length, arm type develops various robot specifications to satisfy your request. 高性能磁性流体ユニット採用により、 低リークレートを実現します。 AR-Wn170VHCL-4-T-60 Airtight ferromagnetic fluid seals and mesh filter realize total particle-free condition. 特殊アブソリュートエンコーダの採用により、 バッテリーレスを実現しました。 Special absolute encoder adopted to eliminate data backup battery. 高精度、高速搬送により、高スル−プットを 実現します。 Transferring with high repeatability and high speed makes ultimate throughput performance. 型式表示 Type Description AR- Wn Dimensions CL AR-Wn170VLCL-3-S-＊＊ AR-Wn170VLCL-4-T-＊＊ 高真空シングルアーム 高真空ツインアーム 低真空シングルアーム 低真空ツインアーム Arm Type High vacuum single arm High vacuum twin arm Low vacuum single arm Low vacuum twin arm 最小回転径 Min.Swinging Envelope 415mm 550mm 210mm 213mm Ｚ軸 20mm、40mm、60mm 20mm、40mm、60mm 20mm、40mm、60mm 20mm、40mm、60mm Ａ軸 656.8mm 656.8mm 656.8mm 656.8mm Ｂ軸 − 656.8mm − 656.8mm 昇降軸 動作範囲 Z-axis 伸縮軸（右）Arm(Right)※1 Operational Area 伸縮軸（左）Arm(Left） ※1 搬送速度 旋回軸 W-axis Ｗ軸 330° 330° 330° 330° 昇降軸 Z-axis Ｚ軸 100mm/sec 100mm/sec 100mm/sec 100mm/sec （平均） 伸縮軸（右）Arm(Right) ※1 Ａ軸 600mm/sec 630mm/sec 630mm/sec 630mm/sec Speed 伸縮軸（左）Arm(Left） ※1 Ｂ軸 − 630mm/sec − 630mm/sec Ｗ軸 200°/sec 216°/sec 200°/sec 216°/sec 108mm 258.4mm 108mm 258.4mm Ｚ軸 ±0.05mm ±0.05mm ±0.05mm ±0.05mm （Average） 旋回軸 W-axis 最低搬送高さ Min. Pass-line ※1 昇降軸 Z-axis 繰り返し精度 伸縮軸（右）Arm(Right)※1 Ａ軸 ±0.05mm ±0.05mm ±0.05mm ±0.05mm Repeatability 伸縮軸（左）Arm(Left） ※1 Ｂ軸 − ±0.05mm − ±0.05mm Ｗ軸 ±0.03° ±0.03° ±0.03° ±0.03° ISO クラス1 ISO Class1 ISO クラス1 ISO Class1 ISO クラス2 ISO Class2 ISO クラス2 ISO Class2 800g 800g 800g 800g 旋回軸 W-axis クリーン度 Clean Class 可搬重量 Payload 本体重量 Weight フットプリント Footprint 供給電源 Power Supply 耐真空度 Vacuum Resistant 35kg 82kg 40kg 82kg φ150mm φ310mm φ360mm φ360mm 単相 1phase 200VAC 単相 1phase 200VAC 単相 1phase 200VAC 単相 1phase 200VAC 2.1A 3.6A 2.5A 3.1A 10-6Pa 10-6Pa 10-1Pa 10-1Pa ウェーハ搬送ロボット 磁性流体シール＋メッシュフィルターにより、 パ−ティクルの発生を抑えます。 AR-Wn170VHCL-4-T-＊＊ アームタイプ High performance ferromagnetic fluid unit provides the lowest leakage rate. 高真空・ツインアームタイプ High Vacuum - Twin Arm Type 真空搬送ロボット Vacuum type robot AR-Wn170VHCL-3-S-＊＊ 型 式 Model アーム長とアームタイプの自在な組み合わせ により、豊富なバリエーションを提供します。 AR-Wn170VHCL-3-S-20 Dimensions ※1：ハンド長により変化 Depends on end effector length 各軸表記 Axis Description 真空搬送ロボットシリ−ズ Vacuum Handling Robot Series 特殊仕様 アーム長 Arm Length 表記 アーム長 Arm Length 150 150mm 170 170mm 250 250mm 真空タイプ Vacuum Type 耐圧真空 Vacuum Level 表記 L 低真空（10-1pa）Low Vacuum H 高真空（10-6pa）High Vacuum Unique Specifications A軸（右手伸縮軸：Arm(Right) ） A軸（右手伸縮軸：Arm(Right) ） W軸（旋回軸：W-axis） B軸（左手伸縮軸：Arm(Left) ） 表記 3-S 4-T アームタイプ Arm Type 軸数 − アームタイプ Arm Type ３軸 − シングルアーム Single Arm ３軸 − ツインアーム Twin Arm Z軸ストローク Z-axis Stroke Z軸ストローク Z-axis Stroke 表記 20mm 20 40mm 40 60mm 60 W軸（旋回軸：W-axis） Z軸（昇降軸：Z-axis） Z軸（昇降軸：Z-axis） 型式：AR-Wn170VLCL-4-T-60 16 18 型式：AR-Wn170VHCL-3-S-20 17 19 ウェーハ搬送ロボット Wafer Handing Robot エンドエフェクター 外形寸法図 Dimensions End Effector 特 長 Strong Point AR-Wn170VHCL-3-S-20 お客様の要望に合わせた製作の対応可能。 tio n) Customizable according to requests Tr ise c 108(End effector mounting height) 各種ウェーハサイズに対応可能。 12 0（ 3-M5 set screw (For level adjustment) Applicable for different size of wafers 12 T 0（ n) tio ec ris W-axis positive direction 3-M4 Bolts (For mounting end effector holder) ハンド材質はセラミック、アルミ、ステンレス 等の対応可能。 吸着ハンド Vacuum-grip End Effector A-axis positive direction W-axis starting point Materials for end effector are selectable from ceramic, aluminum,stainless-steel etc. Detail A（1:3.5） ウェーハ搬送ロボット エッジグリップハンド Edge-grip End Effector ウェーハ裏面に接触せず搬送 Transfer without contacting back of wafer 接触部には、導電性、耐摩耗性、耐薬品性に 優れるVespelを採用 O ring trench V175(O ring) to be attached at shipping Compact robot connector (30P, 20P) Vespel, conductive, wear-resistant and chemical-proof material, is adoptedas contacting part. エッジグリップハンド Edge-grip End Effector 吸着ハンド Vacuum-grip End Effector ウェーハに対する吸着ストレス軽減・応力分散 Special design to reduce stress on wafers 落とし込みハンド 2-Φ6H7 Reaming （For positioning) Friction-grip End Effector 2-M10(For eyebolt) ウェーハ裏面の接触部を少なくし搬送 8-Φ12（Distribution) （Using fixing bolt M10） Transfer with minimum contact on back of wafers AR-Wn170VHCL-4-T-60 45（8 equal sections) ウェーハに対するスクラッチ軽減（吸着パッド 材質選択可能） Selectable pad materials to reduce damage to wafers 吸着パッド単体交換可能であり、メンテナン スコスト低減 Robot Type Dimensions Description Reduced maintenance cost by replacing contacting pads only 型式表示 Type Description MO/EN connector position H n) End effector holder section(1:5) End effector pitch tio ec is Tr 0（ 12 O ring: For V380 hale processed on the back side ワ−ク O bject ワ−ク O bject 表記 Notation W ウェ−ハ Wafer R レチクル Reticle O 有機EL、その他 OLED/Others Fan (Exhaust direction) 18 20 298.4(Z-axis 60st going up) 238.4 (End effector mounting height) Robot flange Section(1:10) ウェハサイズ Wafer 表記 Notation ウェハサイズ 06 6インチ 08 8インチ 12 12インチ 18 18インチ Size Wafer Size 6-inch 8-inch 12-inch 18-inch ハンド位置 End Effector Location 表記 Notation ハンド位置 End Effector Location U 上ハンド Upper End Effector L 下ハンド Lower End Effector ハンドフォーク材質 End Effector Material 材質 O bject 表記 Notation C カ−ボン CFRP A アルミ Aluminum S セラミック Ceramic U ステンレス Stainless-steel レ ビジョンNo A0 B0 C0 ・ ・ ・ ハンド種類 End Effector Type 表記 Notation ハンド種類 End Effector Type ハンドフォーク表面処理 End EffectorSurface treatment E エッジグリップ Edge Grip End Effector 表記 Notation 表面処理 Surface treatment T 落とし込み Friction Grip End Effector B 防塵処理（ハンド材質：カーボン）Protection against dust measures（materials of End Effector：Carbon） V 吸着 Vacuum Grip End Effector R アルマイト（ハンド材質：アルミ）Alumite（materials of End Effector：Aluminum） F テフロンコ−ティング（ハンド材質：全種類）Teflon coating（materials of End Effector：All kinds） D 導電性テフロンコーティング（ハンド材質：全種類）Conductive Teflon coating（materials of End Effector：All kinds） C 導電性アルマイト（ハンド材質：アルミ）Conductiv Alumite（materials of End Effector：Aluminum） N 無し Unavailable 19 21 ウェーハ搬送ロボット Wafer Handing Robot 外形寸法図 Specifications Dimensions 落とし込みハンド 吸着ハンド 290 Friction-grip End Effector 外形寸法図 Dimensions 170 250 3 Vacuum-grip End Effector 受け（FL） 40 15 Stopper(FL) 230 5 5-n4通シ 5 25 +0 50 -0.05 188 2 2 240.5 0.3 2- R 7. 15 230 188 65 80 2-n15(0.3mm convex part) 52.5 ウェーハ搬送ロボット 受け（R） ：２箇所 材質：PEEK 受け（FR） Stopper(FR) 2.3 35 40 2-n15（0.3mm凸部） R94 7.5 25 30 85 70 ∅3 00 ウェ 00 ーハ wa fer φ3 35 R 100 5-n4 Stopper(R): 2 places Material: PEEK 受け（B） 材質：PEEK Stopper(B) Material: PEEK SUS板貼り付け 板厚0.2mm 290 5.5 410 ウェハ押込み用 10 3 Pasting SUS board Thickness 0.2mm 120 For pushing wafer 0.7(フォークとウェハ隙間) 0.7 (Space between fork and wafer ) エッジグリップハンド 309 20 244 Edge-grip End Effector 108.5 受け（CL） 材質：導電性PEEK Stopper(CL) Material: Conductive PEEK 受け（FL） 材質：導電性PEEK 0 R3 4.5 受け（FR） 材質：導電性PEEK 195 159 151 115 40 50 Stopper(FL) Material: Conductive PEEK Stopper(FR) Material: Conductive PEEK 25 34.5 受け（R） ：２箇所 材質：導電性PEEK 受け（CR) 材質：導電性PEEK Stopper(R): 2 places Material: Conductive PEEK Stopper(CR) Material: Conductive PEEK 309 130 30 φ ハ ェ er f 0ウ wa 30 ∅ 439 0.7(Space between CFRP and wafer when clamping) 20 22 4 7 3 18.5 0 0.7（クランプ時のCFRPとウェハ隙間） 2（CFRP板厚） 2(CFRP board thickness) 21 23 Loadport 仕 様 特 長 Strong Point 105kg 動作サイクル Cycle Time FOUPオープン動作11sec／FOUPクローズ動作13sec／マッピングオープン動作12sec Open 11sec／Close 13sec／Mapping 12sec 供給電源 Power Supply DC24V±5% 必要電気容量 Consumption Current 4.5A 圧縮空気 CDA 0.5∼0.6Ｍpa (10.0 /min未満) 接続径φ6 0.5∼0.6Mpa (Less than 10.0 /min) Diameterφ6 真空空気 Vacuum -40∼-80kpa (1.0 /min未満) 接続径φ6 -40∼-80kpa (Less than 1.0 /min) Diameterφ6 多彩な容器に対応 Support a variety of containers FOUP、 MAC、 AUTO-FOSBに標準対応 Standard support for FOUP、MAC and AUTO-FOSB KWF-18 Through-beam sensor キャリアウェーハ飛出し検知 Wafer protrusion detection 透過型光センサ Through-beam sensor ドッキング時干渉物検知 Docking interference detection 透過型光センサ Through-beam sensor FOUP蓋状態確認 FOUP Door Status Detection 透過型光センサ Through-beam sensor FOUP内ウェハ検知（有無検知・厚み検知・クロス検知） Wafer detection マッピング昇降 Mapping Elevator ドックスライド Dock slide クランプ Clamp ラッチ開閉 Latch open/close ドア待避 Door shunt マッピング駆動 Mapping ロッドレスシリンダ ACサーボモータ Rodless Cylinder AC servo motor エアシリンダ Air Cylinder エアシリンダ Air Cylinder DCモータ DC motor DCモータ DC motor DCモータ DC motor ドア昇降 Door Elevator 機構 Mechanism 駆動 Actuator 外形寸法図 Dimensions KWF-18-M 排気ファン 36 254 575.25 +10 321.25 -5 424 [Exhaust fan] LOAD PRESENCE PLACEMENT UNLOAD ALARM インジケータ詳細図(標準） FOUPシリーズ [Indicator(standard)] 311 622 65.5st 24.75(マッピング無) BP BP 295±0.5 295±0.5 540(マッピング有) [Mapping installation] 39.05 機種Ver Model Versions 無記号 None 昇降セパレート Separated elevator F 昇降一体 Integrated elevator 22 24 ドックプレート仕様 Dock Plate Type 表記 Description ドックプレート仕様 Dock Plate Type R 180°回転対応※ 180°Rotation 無記号 None なし（標準）None (Standard) ※印のオプションに関しましては、近日対応予定 12インチ対応に関しましては、 オープンカセットでの対応予定です。 また、オープンカセットア ダプタを使用した対応になりま す。 ※ marked options will be available in the near future 12-inch application is limited to open cassette. Adapter is also required. [Bottom surface] [Power supply switch] 244 電源スイッチ [Elevator stroke] [Optical I/D storage space] 405（昇降ストローク） 191 845±0.1 163.25±0.1 36 288 178 (ウェハー最下段下面) 51 腐食ガス対応 Corrosive Gas Resistance 表記 Description 腐食ガス対応 Corrosive Gas Resistance HE 耐食仕様※ Corrosion-proof 無記号 None なし（標準）None (Standard) 321.25 光I/O収納スペース 913 N2パージ仕様 N2 Purge Type 表記 Description N2パージ仕様 N2 Purge Type P N2パージ対応※ N2 Purge Applicable 無記号 None なし（標準）None (Standard) 722 ウェーハ仕様 Wafer Type 表記 Description ウェーハ仕様 Wafer Type QZ 石英対応※ Quartz Applicable 無記号 None シリコン（標準）Silicon (Standard) [Top surface] HP 91.15 6-M8 本体固定ボルト インターフェイス 接続部(内側) キースイッチ [Key switch] [Inter face] 圧力スイッチ 132.2 電線通し穴(E84) 443.05 Undocked Position [No mapping installation] [6-M8 Body fixation] φ450 (ウェハー最上段下面) インフォパッド仕様 Info Pad Type 表記 Description インフォパッド仕様 Info Pad Type IS インフォパッドセンサ Info Pad Sensor 無記号 None インフォパッドピン（標準） Info Pad Pin(Standrd) 略語説明 [Explanation of the codes] HP：Horizontal plane BP：Bilateral plane FP：Facial plane 514(マッピング無) 633.3 282.2 311 1433 マッピング仕様 Mapping Type 表記 Description マッピング仕様 Mapping Type M 18インチ対応 18-inch Applicable 12M 12、18インチ対応※ 12,18-inch Applicable 無記号 None なし None 255.75 [No mapping installation] FP [Indicator] BP インジケータ部 FOUP Series [Mapping installation] 540 MANUAL 58.05(マッピング有) 101.5 507 253.5 253.5 416 K WF 18 HIRATA ロードポート 型式表示 Type Description 透過型光センサ Docked Position [Wire run through hole(E84)] 30 165 153 635 High reliability achieved by accumulated technology of 300mm Loadport (MCBF:1,000,000cycle) FOUP presence / placement detection [Mapping installation] 検出機能 Detection FOUP有無・載置状態検知 587.5 高信頼性 High Reliability 300mmロードポートにて培った機能を搭載し信頼性を確保 MCBF、 100万サイクル FOUP確認 FOUP Detection ウェーハ飛出し Wafer protrusion 手挟み Hand-pinch FOUP蓋検知 FOUP Door Detection マッピング Mapping 649(マッピング有) New encoder adopted to eliminate encoder data backup battery [No mapping installation] Battery-free 新型エンコーダの採用により、 エンコーダーバックアップのバッテリーを廃止 1433H×622W×633.3D (mm) 本体重量 Weight 135 70 6825(マッピング無) バッテリーレス 450mm FOUP、MAC、AUTO-FOSB (SEMIスタンダード準拠品) (conforming to SEMI standard) BP Accelerated open/close time (< 12sec with mapping) 適用 Application 外形寸法 Dimensions 490.5±0.1 High Throughput 開閉時間の高速化を実現（マッピングあり12秒以下） KWF-18 68 1445 . 65 スループット短縮 FOUPロードポート FOUP Loadport [No mapping installation] Cleanliness secured by unique airflow analysis 名称 Item 型式 Type 34(マッピング有) 22nm applicable 当社独自の気流解析により清浄空間の確保 Dimensions 48(マッピング無) 22nm対応 Specifications [Mapping installation] FOUPロードポート 450mm対応KWFシリーズ FOUP Loadport 450mm KWF series FP ロードポート 30 電線通し穴(インターフェイス) [Wire run through hole(Interface) [Pressure switch] アジャスター [Ajuster] キャスター [Caster] 底面図 [Bottom view] 23 25 ロードポート Loadport FOUPロードポート 300mm対応KWFシリーズ FOUP Loadport 300mm KWF series 仕 様 Specifications 特 長 Strong Point 22nm対応 22nm applicable 当社独自の気流解析により清浄空間の確保 Cleanliness secured by unique airflow analysis Auto-FOSB対応 Auto-FOSB Compatible Auto-FOSBの開閉は標準装備 Open/close Auto-FOSB as standard feature バッテリーレス Battery-free 新型エンコーダの採用により、 エンコーダーバックアップのバッテリーを廃止 New encoder adopted to eliminate encoder data backup battery 据付性能の向上 Easy Installation 取付機構改善により、 取付け再現性・MTTRの向上 名称 Item FOUPオープナ FOUP opener 型式 Type KWF-12F 適用 Application 300mm FOUP、AUTO-FOSB (SEMIスタンダード準拠品) (conforming to SEMI standard) 外形寸法 Dimensions 1386H×470W×546D (mm) 本体重量 Weight 59kg 動作サイクル Cycle Time FOUPオープン動作8sec／FOUPクローズ動作9sec／マッピングオープン動作12sec Open 8sec／Close 9sec／Mapping 12sec 供給電源 Power Supply DC24V±5% 必要電気容量 Consumption Current 4.8A 圧縮空気 CDA 0.5∼0.6Ｍpa (1 /min未満) 接続径φ6 0.5∼0.Mpa (Less than 1.0 /min) Diameterφ6 真空空気 Vacuum 検出機能 Detection Improved mounting/adjusting structure realizes better installation repeatability and MTTR 4-M8本体固定ボルト n 300 (ウェハー最上段下面) [Manual operation switch/Indicator] 44 166.5 240 [Top surface] (ウェハー最下段下面) [Bottom surface] 1386 46.5 142.3 H.D.P メンテナンスポート [Maintenance port] キャスター FOUP内ウェハ検知（有無検知・厚み検知・クロス検知） Wafer detection 駆動 マッピング昇降 Mapping Elevator ACサーボモータ AC servo motor Undocked Position 832 Clamp Latch open/close エアシリンダ DCモータ DCモータ Air Cylinder ラッチ開閉 DC motor DC motor ドア待避 Door shunt DCモータ DC motor マッピング駆動 Mapping DCモータ DC motor FOUPオープナ FOUP opener KWF-12E2 300mm FOUP、AUTO-FOSB (SEMIスタンダード準拠品) (conforming to SEMI standard) 外形寸法 Dimensions 1386H×470W×571D (mm) 本体重量 Weight 59kg 動作サイクル Cycle Time FOUPオープン動作7.5sec／FOUPクローズ動作8.5sec／マッピングオープン動作11.0sec Open 7.5sec／Close 8.5sec／Mapping 11.0sec 供給電源 Power Supply DC24V±5% 必要電気容量 Consumption Current 4.5A 圧縮空気 CDA 0.4∼0.5Ｍpa (10.0 /min未満) 接続径φ6 0.4∼0.5Mpa (Less than 10.0 /min) Diameterφ6 Detection -40∼-80kpa (1.0 /min未満) 接続径φ6 -40∼-80kpa (Less than 1.0 /min) Diameterφ6 FOUP確認 FOUP Detection FOUP有無・載置状態検知 FOUP presence / placement detection 透過型光センサ Through-beam sensor ウェーハ飛出し Wafer protrusion キャリアウェーハ飛出し検知 Wafer protrusion detection 透過型光センサ Through-beam sensor ドッキング時干渉物検知 Docking interference detection 透過型光センサ Through-beam sensor FOUP蓋状態確認 FOUP Door Status Detection 透過型光センサ Through-beam sensor 手挟み Hand-pinch FOUP蓋検知 FOUP Door Detection マッピング Mapping FOUP内ウェハ検知（有無検知・厚み検知・クロス検知） Wafer detection ドア昇降 駆動 Actuator Door Elevator Mapping Elevator マッピング昇降 ドックスライド クランプ Clamp Latch open/close Door shunt ドア待避 マッピング駆動 ロッドレスシリンダ ACサーボモータ エアシリンダ DCモータ DCモータ DCモータ DCモータ Rodless Cylinder AC servo motor Dock slide Air Cylinder DC motor ラッチ開閉 DC motor DC motor Mapping DC motor 30 546 655 クランプ Dock slide Docked Position 120 [Pressure switch] ドックスライド 型式 Type Mechanism 68 圧力スイッチ 162.89 [Key switch] 57 光I/O収納スペース 透過型光センサ Through-beam sensor 適用 Application 機構 [Elevator stroke] 248 24.67 10.25 754.2 900 キースイッチ 387st(昇降ストローク) [Power supply switch] [Optical I/D storage space] Docking interference detection Actuator 検出機能 電源スイッチ [Inter face] ドッキング時干渉物検知 Hand-pinch 真空空気 Vacuum [Mapping installation] 手動操作スイッチ兼インジケータ [Mapping installation] 375（マッピング無） [No mapping installation] 570 (マッピング無) 42 [4-M8 Body fixation] [No mapping installation] 558 692 (マッピング有) B.D.P 458 545.7 204 インターフェイス接続部(内側) 透過型光センサ Through-beam sensor Mechanism 399(マッピング有) 455.5 470 235 430 63 (マッピング無) [Indicator（standard）] インジケータ部 略語説明 [Explanation of the codes] H.D.P：Horizontal datum plane B.D.P：Bilateral datum plane F.D.P：Facial datum plane [No mapping installation] POWER インジケータ詳細図 (標準) [Indicator] Dimensions 173 58.8 49 (マッピング有) ALARM 70 -15 st [Mapping installation] UNLOAD +8 187.74 F.D.P LOAD 55 410 205 256 112 KWF-12E Wafer protrusion detection ロードポート 490.74 234.16 282.5 107.74 キャリアID・バーコードリーダー収納スペース STATUS2 キャリアウェーハ飛出し検知 手挟み 名称 Item [carrier ID ber code reader strage space] STATUS1 Wafer protrusion ドア昇降 外形寸法図 Dimensions PLACEMENT 透過型光センサ Through-beam sensor Door Elevator KWF-12F PRESENCE FOUP presence / placement detection ウェーハ飛出し 機構 Quick N2 purge function to accommodate traditional FOUP (option) KWF-12F FOUP Detection FOUP有無・載置状態検知 Mapping N2 Purge Function 標準容器に対応した短時間でのN2パージ機構を搭載 （オプション対応） -40∼-80kpa (1.0 /min未満) 接続径φ6 -40∼-80kpa (Less than 1.0 /min) Diameterφ6 FOUP確認 マッピング N2パージ対応 Dimensions 66 144 119 91 電線通し穴(E84) 電線通し穴(インターフェイス) [Wire run through hole(E84)] [Wire run through hole(Interface)] [Caster] 底面図 [Bottom view] 26 27 ロードポート Loadport 型式表示 Type Description Dimensions KW F 12 FOUPオ−プナシリーズ スイッチ配列 Array switch 通信仕様 Communication Type FOUP Opener Series RS232C 標準 Standard イーサネット Ethernet ENET D C OPERATOR ACCESS B A 機種バージョン Model Version 特殊オプション Special Option 昇降セパレートタイプ Elevator Separate Type E2 F CONE DC24V 角型電源コネクタ DC24V Angle type power connector 80C1 8in.26段カセット対応 8-inch 26stage cassette applicable AC200V 電源電圧AC200V Power voltage AC200V 80C2 8in.固定式アダプタ 8-inch fixed adapter QUARTZ1 石英飛出しセンサ Quartz protrusion sensor 80C3 8in.セーフカバー 8-inch safe cover QUARTZ2 石英飛出しセンサ（耐食） 120C1 12in.NW300N-A OUTPUT 飛出しセンサ外部出力 External protrusion sensor output 120C2 12in.XS300 OPSW オペレーションスイッチ追加 Operation switch is added 120C3 12in.KM-1202T-A FOSB FOSBドア検知 120C4 12in.CR300U-02LM 載置、昇降インターロック Placed and Elevator interlock 120C5 12in.MW300N（13段type4） 12-inch MW300N(13 stage type 4) 追加センサ両側 Additional sensors on both sides InfoSEN インフォパッド検出 Info pad Detection 昇降一体タイプ（ローコストタイプ） Integrated Elevator Type(Low cost type) マッピング仕様 Mapping Type 無記号 None M なし None 12in.（300㎜用マッピング） 12-inch(Mapping for 300mm) 8M 8in./12in.兼用（200/300㎜マッピング） 8/12-inch Appricable(200/300mm Mapping) 6M 6in./12in.兼用（150/300㎜マッピング） 6/12-inch Applicable(150/300mm Mapping) 【補足説明】8in./6in.兼用は不可とする 【Supplementary Note】6d/6-inch Not applicable 特殊仕様 Special Type P N2パージポート（ボトムパージ） N2 Perge port(Bottom purge) F N2フロントパージ N2 Front purge R テーブル180°回転 Table 180°Rotation RP H LS SIG1SIG2 テーブル180°回転+N2パージポート Table 180°Rotation+N2 Purge port SIG1 追加センサ左側のみ Additional sensor on the left side only 60C1 6in.固定式アダプタ 6-inch Fixed adapter 耐食仕様 Corrosion-proof SIG2 追加センサ右側のみ Additional sensor on the right side only 60C2 6in.アダプタ 6-inch Adapter SUS インジケータ仕様 Indicator Type ① 文字名 text ② 色 color 文字名 text ③ 色 color 文字名 text 黄 緑 ING1 PRESENCE yellow PLACEMENT green STATUS1 ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ 文字名 text 色 color 青 blue LOAD 緑 橙 green UNLOAD orange 色 color 文字名 text 色 color 青 blue STATUS2 文字名 text 色 color 文字名 text 色 color ⑨ A 色 color 文字名 text ALARM 赤 red POWER 緑 OPERATOR green ACCESS 赤 red ALARM 橙 orange UNLOAD 橙 orange RESERVE 色 color LOAD 緑 green UNLOAD 緑 green BLANK 黒 black PRESENCE 黄 yellow PLACEMENT 緑 green ING3 BLANK 黒 black ALARM 赤 red AUTO 青 blue PRESENCE 黄 yellow PLACEMENT 橙 緑 green RESERVE orange LOAD 橙 緑 green UNLOAD orange ALARM 赤 red POWER 緑 green AUTO C D ｰ ｰ ｰ LOAD ｰ ｰ ｰ ｰ 文字名 text 文字名 text ING2 B 緑 緑 UNLOAD green UNLOAD UNLOAD green 緑 黄 PLACEMENT green yellow BLANK 黒 black BLANK 黒 black LOAD ING5 PRESENCE 緑 黄 PLACEMENT green yellow BLANK 黒 black BLANK 黒 black BLANK 黒 black BLANK 黒 black ALARM 赤 red POWER 緑 OPERATOR green ACCESS ｰ ｰ UNLOAD 青 blue BLANK 黒 black BLANK 黒 black BLANK 黒 OPERATOR black ACCESS ｰ ｰ HAND-OFF BUTTON 橙 orange ALARM OPERATOR ACCESS ｰ ｰ BLANK 黒 black BLANK 黒 OPERATOR black ACCESS ｰ ｰ 橙 OPERATOR 白 OPERATOR orange ACCESS white ACCESS ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ ｰ ING7 MANUAL 橙 MODE orange BLANK ING9 ING10 ING11 LOAD 黒 black MANUAL MODE 赤 red 緑 黄 黄 PRESENCE PLACEMENT green yellow yellow 黄 yellow LOAD LOAD READY UNLOAD 黄 黄 yellow READY yellow BLANK BLANK 黒 black ERROR 赤 red LOAD READY 青 blue LOAD READY 青 blue MANUAL 緑 MODE green UNLOAD READY BLANK 青 blue MANUAL MODE 緑 green BLANK 黒 black BLANK CARRIER 黄 CARRIER 黒 黄 Hand-off black PLACEMENT yellow PRESENCE yellow UNLOAD READY 青 blue ERROR 赤 red BLANK 黒 black BLANK CARRIER 黄 CARRIER 黒 黄 OPERATOR black PLACEMENT yellow PRESENCE yellow ACCESS 緑 青 PLACEMENT 黄 PRESENCE green blue yellow 青 blue 青 blue UNLOAD READY 黄 PLACEMENT 緑 MANUAL yellow green 緑 green 青 CARRIER blue PRESENCE 緑 PLACEMENT green ING13 PRESENCE LOAD READY CARRIER PLACEMENT 赤 red 黄 PRESENCE yellow 緑 green AUTO ERROR 赤 red SET UP 黒 black ING12 MANUAL ING14 緑 橙 KWF-12F 青 PLACEMENT 橙 緑 PRESENCE orange orange UNLOAD green blue green 黒 black ING8 AUTO MODE 青 blue 青 blue AUTO 黄 橙 PRESENCE yellow MANUAL orange LOAD 緑 green UNLOAD 赤 red OPERATOR ACCESS - ｰ ｰ 黄 yellow POWER 緑 green - - ｰ ｰ 黄 RESERVE yellow ALARM LOAD 橙 orange UNLOAD - ｰ ｰ LOAD 橙 緑 UNLOAD orange green AUTO 赤 red - ALARM 緑 橙 UNLOAD orange RESERVE green 黄 yellow ｰ 青 blue LOAD PLACEMENT RETRY PICK UP ｰ ALARM ※ING1 ∼ 11に該当しない場合は型式をING※として文字名と色を選択 If ING1~11 is not the appropriate category, set type as ING※ and choose text name and a color. IO InfoPIN/標準アダプタ仕様 InfoPIN/Standard adapter Type Info4ABCD インフォパッドピン4本仕様（取付箇所指示） Info pad pin 4 type(With mounting place instruction) Info6 インフォパッドピン6本仕様（全て取付仕様） Info pad pin 6 type (All mounting type) OC1 付属8in.アダプタ：標準 8-inch adapter provided：standard OC2 付属8in.アダプタ：標準+追加センサ 8-inch adapter provided：standard + additional sensor OC3 付属8in.アダプタ：標準+袋ナット 8-inch adapter provided：standard + nut bag 【補足説明】インフォピン4本仕様の場合は取付箇所と出荷状態を記載 【Supplemental note】As for a info pin 4 type, describe a mounting place and shipped state. インフォパッドピン Info pad pin D 北陽：DMS-HB1 Hokuyo: DMS-HB1 BCR1 KEYENCE_BCR：電源BL-U2 CNA5接続 KEYENCE_BCR：PowerBL-U2 CNA45 connection BCR2 KEYENCE_BCR：電源BL-U2 CNA10接続 KEYENCE_BCR：PowerBL-U2 CHA10 CONNECTION BCR3 KEYENCE_BCR：電源N-48 CNA5接続 KEYENCE_BCR：PowerN-48 CNA45 connection BCR4 KEYENCE_BCR：電源N-48 CNA10,11接続 KEYENCE_BCR：PowerN-48 CNA10,11Connection BCR5 KEYENCE_BCR：電源無しCNA5接続 KEYENCE_BCR：Without power CNA5 connection RFID1 OMRON_RFID：CNA5接続 OMRON_RFID：CNA5 connection RFID2 OMRON_RFID：CNA10接続 OMRON_RFID：CNA10 connection RFID3 OMRON_RFID：RS485 OMRON_RFID：RS485 RFID4 旧ハーモス：TLG-11 Former Hermos ：TLG-11 RFID5 旧ハーモス：TLG-S2 Former Hermos：TLG-S2 B インジケータ配列 Array indicator 28 BCR/RFID仕様 BCR/RFID Type ING4 PRESENCE ING6 メインカバーSUS仕様 Main cover-SUS type ロードポート 【補足説明】特殊仕様は機種VerF対応とする 【Supplementary Note】Special Type is Model VersionF applicable. ❶ ❷ ❸ ❹ ❺ ❻ ❼ ❽ ❾ 黄 緑 青 青 青 緑 橙 赤 緑 A C 29 ロードポート Loadport FOUP Loadport 300mm KWF series 仕 様 Specifications 特 長 Strong Point ローコストタイプ Low Cost Type マッピング機能をなくし、 必要な機能だけを有して価格低減を実現 Eliminate the mapping function and equipped with only necessary functions to achieve low cost. 制御 Control I/Oにてロードポートをコントロール Control loadport at I/O 検出機能 Detecting function FOUP在荷・在席 名称 Item FOUPロードポート FOUP Loadport 型式 Type KWF-12E I 適用 Application 300mm FOUP、AUTO-FOSB (SEMIスタンダード準拠品) (conforming to SEMI standard) 外形寸法 Dimensions 1386H×470W×549.5D (mm) 本体重量 Weight 55kg 動作サイクル Cycle Time FOUPオープン動作8sec／FOUPクローズ動作9sec Open 8sec／Close 9sec 供給電源 Power Supply DC24V±5% 必要電気容量 Consumption Current 4.5A 圧縮空気 CDA 0.4∼0.5Ｍpa (10.0 /min未満) 接続径φ6 0.4∼0.5Mpa (Less than 10.0 /min) Diameterφ6 真空空気 Vacuum -40∼-80kpa (1.0 /min未満) 接続径φ6 -40∼-80kpa (Less than 1.0 /min) Diameterφ6 検出機能 FOUP presence and placement Detection FOUP蓋 FOUP確認 FOUP Detection FOUP有無・載置状態検知 FOUP presence / placement detection 透過型光センサ Through-beam sensor ウェーハ飛出し Wafer protrusion キャリアウェーハ飛出し検知 Wafer protrusion detection 透過型光センサ Through-beam sensor 手挟み Wafer protrusion Mechanism 駆動 Actuator Obstruction at door opening KWF-12EI ドックスライド クランプ Clamp Latch open/close ロッドレスシリンダ エアシリンダ DCモータ DCモータ Dock slide Rodless Cylinder Air Cylinder DC motor ドア待避 Door shunt DCモータ DC motor DC motor KW-12EI POWER 300 (786) B.D.P ［Wire run through hole］ 375 n300 ウエハ最上段下面 455.5 240 59.8 ウエハ最下段下面 [Bottom surface] 387st(昇降ストローク) 圧力スイッチ ［Elevator stroke］ 68 57 25 10 268 754.2 832 833.5 1386 129.3 63.1 H.D.P 光I/O収納スペース キャスター [Optical I/D storage space] docked Position Undocked Position 4 29.5 7 ［Caster］ n17 ボルト[Bolts] M3×30L 底面図 ［Bottom view］ n12 n13 [Safety switch top] 1 15 10 電線通し穴 243 199 42 2 [Top surface] 51 166.5 497.8(安全スイッチ上面まで) 2.3 457 [Pressure switch] 900 略語説明 ［Explanation of the codes］ H.D.P：Horizontal datum plane B.D.P：Bilateral datum plane F.D.P：Facial datum plane B.D.P UNLOAD F.D.P LOAD 148 KWF-12C 53 RSRV インジケータ部詳細(標準) [Indicator(standard)] 手動操作スイッチ兼インジケータ インジケータ部 ［Manual operation switch/Indicator］ [Indicator] インターフェイス[Inter face] 470 4-M8本体固定ボルト 235 235 ［4-M8 Body fixation］ 430 187.5 1 167 70±8st 173 59.8 19.8 F.D.P AUTO 243 410 205 256 92.2 PLACEMENT 490 205 PRESENCE 247 ロードポート Dimensions ［carrier ID bar code reader strage space］ 24 30 ラッチ開閉 外形寸法図 Dimensions キャリアID・バーコードリーダー収納スペース KWF 12 E I 透過型光センサ Through-beam sensor Docking interference detection ドア昇降 Door Elevator 機構 ドア開口部障害物 型式表示 Type Description ドッキング時干渉物検知 Hand-pinch FOUP door ウェーハ飛出し Dimensions 44 FOUPロードポート 300mm対応KWFシリーズ アライメントピン(装置側に取付) 250 外観図 ［Alignment pin (Installed to a process equipment)］ アライメントピン詳細図(添付品 2個) [Alignment pin detail drawing(2pcs.attached)] 25 31 ロードポート Loadport SMIFポッド開閉ユニット 200mm対応KWYシリーズ SMIF Pod Open/Close Unit 200mm KWY series 特 長 Strong Point Dimensions SMIFポッド開閉ユニット SMIF pod open/close unit 名 称 Description クリーン度 ISO クラス1 卓上型 Desktop type 据置型 Stand alone type ＫＷY-08 KWY-08-i ISO Class 1 particle density 型 式 Type SMIFポッド開閉動作制御による乱流･巻き込み防止 外形寸法 Dimensions SMIF Pod open / close motion control for suitable air flow 本体重量 Weight ACサーボモータ・アブソリュートエンコーダ採用により 原点復帰動作不要（制御性向上／低振動） SMIFポッド開閉ストローク SMIF Pod Open/ Close Stroke Max. 410 mm SMIFポッド開閉機構 SMIF Pod Open / Close Mechanism ボールネジ／ACサーボモータ Ball screw / AC servo motor No need for zero adjustment with AC servo motor and absolute encoder usage ラッチ開閉機構 Latch Open/Close Mechanism ギヤ／DCギヤードモータ Gear / DC geared motor 検出機能 Detecting Function -ウェーハ飛び出し （オプション）-Wafer protrusion sensor (Option) -フローティングセンサー／挟み込み防止（オプション） SMIFポッド押え機構 SMIF Pod Clamp / Unclamp Mechanism 遊星ギヤ／DCギヤードモータ Planetary gear / DC geared motor ウェーハマッピング機能 Wafer Mapping Sensor ウェーハ飛出し検知機能 Wafer Protrusion Sensor 有り Available 挟み込み防止機能 Hands Safety Sensor 有り Available SMIFポッド在席検知 SMIF Pod Present Sensor 有り Available サイクルタイム Cycle time 供給電源 Power Supply *1：全高（上昇時） Overall height (when opening) 外形寸法図 Dimensions KWY-08 100 286 320 25 アジャスト位置 Adjust position 100 アジャストサイズ Adjust size 排気ファン吹出し口 Exhaust fan outlet ウェーハ飛出し検知ライン Wafer protrusion detection line CLOSE 65 ST 電源ケーブル（５ｍ） Power cable 裏面詳細 Details of underside 362 418（奥行き）Depth 370 193 108.5 9.7 GENCY 30 71.5 310 KRY-08-i POWER COMPLETE KWY-08 ARARM POD OPENER Hirata OPEN CLOSE KＷY- 08- 地震対策用固定タップ （14−Ｍ4） Fixed tap for 17 antiseismic POWER KWY-08 READY COMPLETE POD OPENER Hirata OPENCLOSE STOP 108 CLOSE 395 排気ファン吹出し口 Exhaust fan outlet ウェーハ飛出し検知ライン 26.5 8 451.5（奥行き）Depth Wafer center position 101.5 ゴム脚位置 226.5 103 150 Rubber stand ウェーハセンター位置 Wafer protrusion limit 350（全幅） Overall width Dimensions 単相AC100V 1 phase AC100V OP 裏面図 電源ケーブル取出し位置 上面図 （カセット チルト位置） Power cable inlet Top view Underside Cassette tilting position ウェーハセンター位置 348 Wefer center position 148 46.5 KＲY-08-i 30 32 R : レチクル用 Reticule CLOSE メッセージＬＥＤ Message LED POWER READY KWY-08 COMPLETE POD OPENER Hirata 非常停止ボタン Emergency stop button OPEN CLOSE STOP 開動作用スイッチ Open switch 操作パネル部詳細（共通） Details of operation panel 410（ストローク） Stroke 25 832 <852>（下降時全高） Overall height when closing 30 59.5 ※設置時は、排気性能確保の為、①もしくは②の対応が必要。 ※< >内寸法は、アジャスト最大高さ。 ※Secure two points ① and ② to ensure exhausting. ※Max. dimensions of adjustment are indicated in < >. アジャスト調整代 Clearance for adjustment 電源ケーブル（5m) Power cable 銘番 Label 100 50 225 閉動作用スイッチ 閉動作用スイッチ Close switch Close switch 銘番 Label 695 ヒューズホルダ Fuse holder 設定用切替えキースイッチ Key switch サーキットプロテクタ Circuit protector 電源スイッチ Power switch 設定用切替えキースイッチ Mode select key switch 50+20 0 69 52 電源スイッチ Power switch 268 795 <815> 電源スイッチカバー Power switch Cover 28.6 410 （昇降ストローク） Elevator stroke 160 100 25 705（全高） Overall height 用途 Application W : ウェーハ用 Wafer 14.7 52 Customer engineering special 1242 <1262>（上昇時全高） Overall height when opening 37 82 82 45 148 特殊仕様 Special specification i : 据置型 ロードポート 型式表示 Type Description 閉動作14秒 Cloese motion 14 sec 286 Electric conductor materials usage and electric conductor surface finish for anti-static. 開動作12秒 Open motion 12 sec 355（全幅） Overall width 導電材料使用及び導電表面処理による静電気帯電防止 ー 20 Compact body for easy maintenance 35kg 30kg 350 コンパクトボディ構造による容易なメンテナンス性能 *1 ER -排気ファン回転検出 -Exhaust fan motion sensor -SMIFポッド在席 -SMIF pod present sensor 350W×418D×927（1227）H 355W×452D×705H (mm) EM -SMIF pod stage floating sensor (Option) KWY-08 仕 様 Specifications 内径φ100以上 Min.φ100 1 排気用必要高さ Clearance for exhausting 2 排気用ダクト必要内径 Min. inside diameter for exhausting 31 33 ロードポート Loadport SMIF Pod Opener 200mm KWP series 特 長 Strong Point Dimensions 名 称 Description SMIFポッドオープナ SMIF pod opener ＫＷP-08B クリーン度 ISO クラス1 型 式 Type ISO Class 1 particle density 外形寸法 Dimensions 本体重量 Weight SMIFポッド開閉ストローク SMIF Pod Open/ Close Stroke SMIFポッド開閉機構 SMIF Pod Open / Close Mechanism ラッチ開閉機構 Latch Open/Close Mechanism SMIFポッド押え機構 SMIF Pod Clamp / Unclamp Mechanism ウェーハマッピング機能 Wafer Mapping Sensor ウェーハ飛出し検知機能 Wafer Protrusion Sensor ボックス在席検知 Pods Present Sensor 透過型光センサ Transmission photo sensor カセット在荷検知 Pods Present Sensor 透過型レーザセンサ Transmission laser sensor サイクルタイム Cycle time 供給電源 Power Supply 機構部の遠隔下面設置（隔離･密閉・強制排気･ 非接触空気シール） による更なるパーティクル低減 Separate location, Shut tight, Forced exhaust and Non-contact air sealing for further particle reduction ACサーボモータ・アブソリュートエンコーダ採用により 原点復帰動作不要（制御性向上／低振動） No need for zero adjustment with AC servo motor and absolute encoder usage 検出機能 Detecting Function -ウェーハマッピング （オプション） -ウェーハ飛び出し （オプション） - スミフポッド在席 スモールフットプリント実現により専用機との 接続・組込みが容易 Small footprint for easy interface and mounting for dedicated systems シリアル（9P）外部インターフェース対応 （SEMI規格準拠） ボールネジ／ACサーボモータ Ball screw / AC servo motor ギヤ／DCギヤードモータ Gear / DC geared motor 遊星ギヤ／DCギヤードモータ Planetary gear / DC geared motor *2 透過型レーザセンサ Transmission laser sensor 透過型レーザセンサ Transmission laser sensor 7秒 7 sec DC24V 特殊仕様 Special specification オプション Option M : ウェーハマッピング Wafer mapping sensor 用途 Application W : ウェーハ用 Wafer R : レチクル用 Reticule KWP-08Bポッド開時 KWP-08B, Pod Opened 警告ラベル Warning label Ｂ Ｃ 警告ラベル Warning label ウィンド Wind 警告ラベル Warning label ウィンド Wind 463 S : 特殊対応 Customer engineering special 61 130 140 90 φ 280 40 140 ユーザI/F 下面出し時 User I/F at the bottom face Ａ矢視図（下面） 電源コネクタ（添付品）背面出し時 Detail of view from A(underside) Power connector (accessory) 265（開口部） 5 at the back face 132.5 Opening シャッター Shutter 100 10.5 マッピングセンサアンプ Mapping senser amp 100 ＆ウェーハ飛出しセンサアンプ & Wefer center position amp サービスタップ5-M6タップ深さ8 Service tap 5-M6 tap depth 8 550（下降時全高） Overlall neight when closing Ｃ矢視図 Detail of view from C 289 144.5 22 50 13 92.5 Ｂ矢視図 Detail of view from B 160 マッピングセンサライン Mapping senser line 44.4（一段目スロット高さ）Height of the first slot 268（開閉ストローク）Open/close stroke 680（上昇時全高） Overlall neight when opening KＷ P- 08B- 排気ファン Exhaust fan 60 58 インジケータ＆マニュアルスイッチ部詳細 Details of indicaotr & manual switch シリアル銘番 シリアル銘番 Serial label Serial label 370（全幅）Width 196 174 174 ウェーハ飛出し検知ライン インジケータLED：POWER Wafer protrusion detection line Indicator LED：POWER インジケータLED：READY 392（奥行き）Depth 65（電源ケーブル張出寸法）Mode select key switch 330 Indicator LED：READY 115.3 182 メンテナンスポート D-sub 9p 108 66.5 インジケータLED：POD IN PLACE ウェーハセンタ Maintenance port 29.5 Indicator LED：POD IN PLACE Wefer center モード切替キースイッチ Mode select key switch 18 50 148 260（開口部）Open/close stroke KWP-08B ロードポート Dimensions ラッチ開閉マニュアルスイッチ Latch open/close manual switch 32 34 Max. 268 mm *1：全幅×奥行き×全高（上昇時） Overall width × Depth × Overall height (when opening) *2：オプション Option クランプ開閉マニュアルスイッチ Clamp open/close manual switch ポッド開時 *1 外形寸法図 Dimensions Parallel (15pins)/Serial (9pins) interface (SEMI standard) 型式表示 Type Description 370W×392D×550（680）H (mm) 25.5kg 22 KWP-08B 仕 様 Specifications 195 SMIFポッドオープナ 200mm対応KWPシリーズ ユーザI/F 上昇時 背面出し時 130 5 ユーザI/F説明ラベル 下降時 ファン風向き 注記）Note) User I/F at the back face User I/F guide label When opening When closing Wind direction of fan ユーザ様装置側に、図中※部開口を設けていただきます。 シリアル通信コネクタ D-sub 9p A Secure opening holes for some parts marked ※ at user device. 予備コネクタ取付け穴 D-sub 9p用 Serial communication 電源コネクタ（添付品）下面出し時 Service connector mounting hole for D-sub 9 pin 51 ユーザ様にて、PODオープナレベルアジャスト機構を設けていただきます。 connector Power connector (accessory) Secure adjusting mechanism POD opener level. パラレルＩ／Ｏ D-sub 25p at the bottom face Important) 特記） 電源コネクタ：DC24V Parallel I/O 206061-1(AMP) ユーザ I/F は、「背面出し」、「下面出し」の両方が選択可能です（標準は背面出し）。 ユーザI/F部詳細 Select user I/F position between back face (standard) and bottom face. Power connecter Detail of user I/F 33 35 ロードポート Loadport SMIFポッドオープナ 200mm対応KWOシリーズ SMIF Pod Opener 200mm KWO series 特 長 Strong Point 仕 様 Specifications Dimensions SMIF ポッドオープナ（アーム付） 名 称 Description クリーン度 ISO クラス1 SMIF pod opener with arm ISO Class 1 particle density 型 式 Type 機構部の遠隔下面設置（隔離・密閉・強制排気） による パーティクル低減 外形寸法 Dimensions 本体重量 Weight SMIFポッド開閉ストローク SMIF Pod Open/ Close Stroke 275 mm SMIFポッド開閉機構 SMIF Pod Open / Close Mechanism ボールネジ／ACサーボモータ Ball screw / AC servo motor ラッチ開閉機構 Latch Open/Close Mechanism ギヤ／DCギヤードモータ Gear / DC geared motor SMIFポッド押え機構 SMIF Pod Clamp / Unclamp Mechanism 遊星ギヤ／DCギヤードモータ Planetary gear / DC geared motor No need for zero adjustment with AC servo motor and absolute encoder usage. ウェーハマッピング機能 Wafer Mapping Sensor 高いスループット ウェーハ飛出し検知機能 Wafer Protrusion Sensor 挟み込み防止機能 Hands Safety Sensor SMIFポッド在席検知 SMIF Pod Present Sensor サイクルタイム Cycle time 供給電源 Power Supply Separate location, Shut tight and Forced exhaust for particle reduction SMIFポッド開閉動作制御による乱流・巻き込み防止 SMIF Pod open / close motion control for suitable air flow. ACサーボモータ・アブソリュートエンコーダ採用により 原点復帰動作不要（制御性向上／低振動） High trough put 検出機能 Detecting Function -ウェーハ飛び出し （オプション）-Wafer protrusion sensor (Option) - SMIFポッド在席 -SMIF pod present sensor スモールフットプリント実現により専用機との接続が容易 ＫＷO-T08 347W×473D×170H (mm) 94kg ー オプション Option ー 有り Available 46秒 46 sec 単相AC200V 1 phase AC200V Small footprint for easy interface for dedicated systems. KWO-T08 PODセンタ POD center 300（アーム最大到達点）Maximum range of arm 32180 290 175 95（グリップ幅）Grip width 22.5 C L 294 571 150 左側面I/F位置 Left side I/F position F.L 900 ポッド投入高さ Pod loading height 34 36 アジャスト寸法 Adjuster height ±25 写真上： アーム収納時 Top : Arm closed 写真下： アーム展開時 Bottom: Arm extended 正面図 Front view 35 306 15 (開口寸法） Opening size 背面 開口寸法 Backface opening size （カセット チルト位置） Cassette tilting position Rotatition direction 回転方向 ﾟ 85 取付ピッチ＝357 Mounting picth ボルトサイズ(M8) Bolt size カセット回転角度 85ﾟ Cassette rotation degree 右側面 Right side 446 （装置 外寸） System overall width 15 414 (開口寸法） Opening size ポ−トドア上面 Port door upside ア−ム旋回センタ− Arm rotation center カセット投入位置 Cassete loading position カセット 位置関係 Cassette positioning グリップア−ム上限 Tilt axis center チルト軸センタ− 721 179 右側面I/F位置 Right side I/F position メンテ開口部 Opening for maintenance 435ST（ポッド昇降可動ST） Pod moving stroke 65ST(取出ST） 153 Grip arm upper limit 980(ダクトカバ−） Duct cover 1709 左側面 I/F Left side I/F 290 175 22.5 50 ロボット待機位置 Robot waiting position 右側面 I/F Right side I/F 106 機能 Function T : チルト機構 Tilt arm 742.5 1048(ダクトカバ−） （操作スイッチ 高さ） Duct cover Operation switch height S : 特殊対応 Customer engineering special 1815（装置 全高） System overall height 特殊仕様 Special specification Standard カセット取り出し位置 基準 Cassette unloading position 111.5 装置背面取り付け基準 ラッチセンタ− Backface datum line Latch centor 137.5 13(ダクト） Duct 10 362 336 10 13(ダクト） Duct 32 32 192 取付ピッチ＝552 Mounting picth KＷ O - T 08A - 平面図 Plan view F.L 背面図 907 336 284 189 Dimensions ロードポート 型式表示 Type Description 外形寸法図 Dimensions グリップ幅 Grip width （チルト幅含む） Parallel (15pins) interface (SEMI standard) 76（グリップ取付位置） Mounting position of grip 148 138 5 286 15 パラレル（15P）外部インターフェース対応（SEMI規格準拠） 85(使用 ST) Interference height 7.5 7.5(ストッパ−時）Stooper height 25 70 100ST（ア−ム昇降可動ST） 投入高さ範囲 900 Arm moving stroke Loading height カセット投入高さ Cassette loading height KWO-T08 Backside view 40.3 97.3 12.7 357 110 467 502 右側面 Right side 35 37 アライナ Aligner 450ｍｍ対応プリアライナ 200∼300ｍｍ対応プリアライナ 450mm Prealigner 特 長 Strong Point 特 長 Strong Point 高分解能アブソリュートACサーボモータ使用による 高速・高精度な位置決めが可能。 アライナー単体での使用が可能。 非接触（センサ方式）で、オリフラタイプ、 ノッチタイプに 対応。 高速・高精度でアライメントを行います。 石英ウェ−ハ対応可。 AC servo motor with high resolution absolute encoder enables high speed/accurate positioning Non-contact sensor guided aligner. High speed and accurate orientation on both standard and notch wafer. Quartz wafer option available. 仕 様 Specifications 名称 Description 型式表示 Type Description KWA - 18 KWA-08/12 450ｍｍ対応プリアライナ 450mm Pre-aligner 型式 Type KWA-18 適用ウェーハサイズ Wafer Size 450ｍｍ 位置合わせ時間 Alignment Time 補正精度 Accuracy 200 ∼ 300mm Prealigner 4.0秒以下 センタリング Centering ±0.1mm ノッチ合わせ Alignment ±0.1deg クリーン度 Clean Class KWA-08/12 ISO クラス1 ISO Class1 名称 Description 型式表示 Type Description KWA-06/08 Less than 4sec Applicable to both 6/8 inch Applicable to both 8/12 inch KWA-18 KWA-06/08 KWA-06/08 KWA-08/12 適用ウェーハサイズ Wafer Size 150,200,300mm 位置合わせ時間 Alignment Time 3.5秒以下 Less than 3.5sec 補正精度 Accuracy 8/12インチ兼用 外形寸法図 Dimensions 200∼300ｍｍ対応プリアライナ 200∼300mm Pre-aligner 型式 Type 6/8インチ兼用 外形寸法図 Dimensions 仕 様 Specifications センタリング Centering ±0.2mm ノッチ合わせ Alignment ±0.2deg クリーン度 Clean Class ISO クラス1 ISO Class1 プレッシャースイッチ DC24V 3A MANUAL/AUTO T_PENDANT MAINTENANCE PORT 76 (Pressure switch) SERIAL POWER ON SW1 DC24V 10A ワーク吸着用：継手φ6 (-80kPa±10kPa) DI/DO Work Adsurption Fittings E-STOP BATTERY CPU DC-IN VAC DC24V 4-φ 6.9通シ (M6:取付穴) 215（本体取付） 30 (Mount to the main unit) 30 335 8 259 160 2*4-M5 (アジャスト用) 169 (For adjustment) 40 Pressure switch 0 排気 Exhaust ファン吹出口 66 Fan outlet 0 ∅20 25 83 配線出口 10st 0 ∅15 244 9.5 234 67.5 295 10st Exhaust 排気 445 430 （本体取付） プレッシャー スイッチ 76 ∅6 Yaxis Xaxis (Mount to the main unit) a 93 237 アライナ (T ∅ ） 径 ter) ル ブ iame ー テ ble D 270 （ 80 80 10 (Mounting hole) 16 ∅ 110 330 4-Ø6 (取付穴) 120 246 72 30 30 7.5 (For adjustment) (M6:Mounting hole) 137 275 10 4*2-M6通シ (アジャスト用) ∅ 46 Wiring outlet Waxis 70 36 38 ファン吹出口 Fan outlet 7.5 ーハ 30 50 ∅4 ウェ m 0m fer Wa 10st 10st 45 37 39 アライナ Aligner 300ｍｍ対応エッジグリップアライナ 外形寸法図 Dimensions 特 長 Strong Point KWA-08/12 ウェ−ハ裏面非接触でパーティクル汚染を抑えたエッジ グリップ方式 高分解能アブソリュ−トACサ−ボモ−タ使用による高 速・高精度位置決め ウェ−ハグリップセンサによる把持確認 導電性材料使用及び導電性表面処理によるESD対策※ 76 3-φ6 (取付穴)(Mounting hole) 160 2*3-M5 (アジャスト用) (For adjustment) 80 ※ESD：Electro-Static Discharge; 静電気放電 330 10 16 237 Edge grip mechanism to avoid contacting the back of a wafer for reducing particle generation AC servo motor with high resolution absolute encoder enables high speed/accurate positioning Wafer presence check with grip sensor Electric conductor materials and electro conductor surface finish for electro-static discharge プレッシャースイッチ 76 Pressure switch 162 排気 ファン吹出口 Exhaust 72 40 型式表示 Type Description 00 ∅2 294 284 117.5 Fan outlet 00 ∅3 66 仕 様 Specifications K W A- 12 - E 名称 Description 83 6 Wiring outlet 16 20 位置合わせ時間 Alignment Time 補正精度 16 120 KWA-12-E 適用ウェーハサイズ Wafer Size Ø4 配線出口 エッジグリップアライナ Edge Grip Prealigner 型式 Type 15 50 9.5 300mm Edge Grip Prealigner Accuracy 20 ３００ｍｍ 3.3秒以下 Less than 3sec (動作パターンにより変化） センタリング Centering ±0.2mm ノッチ合わせ Alignment ±0.1deg クリーン度 Clean Class ISO クラス1 ISO Class 1 外形寸法図 Dimensions KWA-12-E 4-n6通シ 365 4-n6 245 235 n6エアー供給 n6 Air supply 120 112 レギュレータ 80 93 72 200 94 107 86 Regulator ノッチ検出センサ用アンプ ロード位置、ノッチ検出位置 圧力計 Notch detection sensor amplifier Load position, Notch detection position アンロード位置 Pressure gauge キースイッチ Unload position Key switch サーキットプロテクタ 226.5 224.5 211.5 45 ∅ 5 Φ 2( di 52（ 開口 am et Nec 必要 er e fo ss 径) r o ar pe y ni ng ) 69 67 64 93 58.5 21 158 38 40 When lifting up 8 82 24V電源 24V Power supply リフトUP時 347 196 I/O board 13 I/O基板 65 75(電源コネクタ取り外し時) 75(When removing power connector) ) 径 要 174 CPU board アライナ CPU基板 173 200 Circuit protector g) ry nin sa pe (開 ces r o 65 e r fo ∅ 65（N ete Φ diam 必 口 85 39 41
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