JPCA Show2002「鉛フリーオープンセミナー」資料, 東京, h14.6.7 鉛フリーはんだ実装技術の現状と EUの規制動向 (阪大産研) 菅沼克昭 環境と法規制動向 実用化とロードマップ プロジェクト研究 鉛規制の動向 1 (x10,000 m3) 25,000 産業廃棄物 処理容量の 残余年数 15,000 10,000 5,000 2005 2002 2000 1992 2008 1995 0 2010 残余容量 20,000 年 朝日新聞朝刊 平成13年5月1日付け 下野新聞平成13年12月 K.Suganuma, ISIR, Osaka University 1997年の鉛消費国内統計 鉛の消費量 : 27万 トン (全世界:約500万トン) はんだ中の鉛消費量 : 9000 トン エレクトロニクス産業使用量 : 5000 トン 破砕不燃物残さに対する溶出試験(環境庁,pH4.8) パソコン基板 : 13-27 mg/l パチンコ台基板 : 29-30 mg/l ブラウン管 : 11-19 mg/l 埋め立て処分基準 : 0.3 mg/l K.Suganuma, ISIR, Osaka University 2 廃棄物に関する条約・法律・宣言 年代 名 称 内 容 1974 ロンドン条約 廃棄物の投棄による海洋汚染防止 1996より産廃の投棄は禁止 1989 バーゼル条約 有害廃棄物の越境移動禁止 1991 リサイクル法 資源の有効利用,廃棄物発生の抑制,リサイク ル促進 リオ宣言 「人類は自然と調和しつつ健全で生産的な生活 1992 1993 1995 1997 1998 2002 ? (国連環境開発会議) を送る権利がある...」 環境基本法 環境に関する基本理念.国や地方の施策. 包装容器リサイクル法 ガラス,プラスチック容器の再商品化 廃掃法改正 廃棄物の抑制,分別,保管,収集,再生,処理 家電リサイクル法 4家電のリサイクル,廃棄処理 WEEE/RoHS ほとんどの電器製品に対する廃棄処理詳細,リ サイクル,リユース及び有害元素規制 K.Suganuma, ISIR, Osaka University 家電リサイクル法 2001年4月より回収,リユース,リサイクルを義務化 リサイクルの基本 エアコン TV 冷蔵庫 洗濯機 : 60 % : 55 % : 50 % : 50 % 廃掃法 回収した廃家電製品は,鉛を環境へ排出しないような 適切な処理が必要.リサイクルを容易にする. 鉛フリー化 K.Suganuma, ISIR, Osaka University 3 資源有効利用促進法 PC:製品の長寿命化,分離・分解のし易さ 4.処理に関わる安全性の確保 (1)材料の毒性その他の特性に配慮することにより、処理 に係る安全性を確保すること。 例) リサイクル時に有害な物質を発生する等、処理に係 リサイクル時に有害な物質を発生 る安全性を阻害する恐れのある物質・部品の使用を可能 な限り回避すること K.Suganuma, ISIR, Osaka University 鉛フリー化で得られるメリット 鉛の害を素から遮断 製品の長寿命化 廃棄・再処理を容易にする グリーン製品戦略 K.Suganuma, ISIR, Osaka University 4 『 NTT東日本環境報告書2000』 NTT東日本環境報告書2000』より 『NTT東日本環境報告書2000』より 3. 通信機器に関するグリーン調達ガイドラインの制定と環境ラベルの導入 NTT東日本では、すでに「グリーン調達のためのガイドライン」を制定し、交換 機等の自ら使用する電気通信設備について、環境にやさしい製品を優先的に 購入する活動に取組んでいます。 そして、この度、人・地球にとって環境負荷の小さい通信機器商品の提供をよ りいっそう推進するために、「通信機器に関するグリーン調達のためのガイドラ イン」を追加制定しました。 通信機器は、「お客様宅に設置される」、「お客様の手に触れる」、「お客様に より廃棄される」ことから、例えば半田に含まれる鉛の使用の削減やポリ 塩化ビニルの使用抑制などを規定しています。 2001年度からは、環境に配慮した通信機器について、NTT東日本が定める 基準を満たすものについては独自の環境ラベル※3を定め、表示することにより 情報の提供をしていきます。 ※3 製品がどのように環境配慮しているのかを「自己宣言」するタイプ II 環境 ラベルを制定します URL: http://www.ntt-east.co.jp/ecology/ K.Suganuma, ISIR, Osaka University エレクトロニクスで使用する鉛に関する海外の法案 国 法 案 年 S.391, S729; Lead Exposure Reduction Act 米 国 はんだ中の鉛を0.1%以下に規制 → 最終的にエレクトロニクスに 用いるはんだは除外 Environmental Quality Objectives スウェ-デン 全ての鉛使用を禁止.2020年頃から(?) 2003年には見直しをする. Lead Ban デンマ-ク 鉛を含む製品の使用・輸入禁止. CRTと部品は除外 代 1991 ∼ 1993 1997∼ 審議中 1997 ∼ 2000 WEEE/RoHS指令案 E U ほとんどの電気製品に対する廃棄処理 1998∼ のリサイクル・リユース及び有害物質 審議中 使用禁止 K.Suganuma, ISIR, Osaka University 5 WEEE/RoHS有害元素規制の理由 鉛: 潜在的な健康への害 廃棄物中の全鉛量に対する 電化製品の占める割合 → 40% PBDE,PBB: ダイオキシン発生 リサイクルの容易さ・利益確保 リサイクル業者の安全確保 “end-of-pipe”的な対策よりも原因から対処する K.Suganuma, ISIR Osaka University WEEE/RoHS法制化の流れ 第1次ドラフト 1998.4 EU DG11 ↓ 第2次ドラフト 1998.7 コメント 第3次ドラフト 1999.7 コメント Environment Inter service consultation 総局間協議(主にDG3 ) 総局間協議(主にDG3) WEEE + Hazardous Substances in EEE 2000.6 欧州委員会投票 2000.末 2000.末 ORGALIME JBCE AEA ORGALIME JBCE←EIAJ 各国法制化 2003/4(?) 指令成立 2002.末 2002.末 2002.4 欧州議会で2 2回投票 欧州議会で 欧州議会で2回投票 欧州評議会・議会調整 K.Suganuma, ISIR, Osaka University 6 電子・電気機器廃棄に関するEU指令(WEEE+RoHS) 対象製品 再生率/リサイクル率 (2005年12月31日までに) 報告の義務 廃棄前処理システム 確立の義務化 有害化学物質 使用規制 (2006.1.1から (2006.1.1から 2007.1.1までに? 2007.1.1までに?)) 11ジャンル 大型家電,小型家電,IT・通信機器,一般民生機器,照明,電動工具 ,玩具・レジャー機器,医療機器,モニター機器,自動販機,電球 90/75%:大型家電 80/50%:上記以外 85/65%:IT機器,民生機器 有害元素の種類と使用量を毎年報告する 全ての液体と特定有害元素を含む部品は事前に除去 ( 鉛 , 25mmt×25mmφ 電解コン,カドミ,六価 クロム,水銀, PBB/PBDE,アスベスト,コード,セラミック繊維部品,放射性物 質,ブラウン管,PCB部品,液晶>100cm2,CFC/HFC) 鉛,水銀,カドミ,6価クロム, etc. (適用外:高温はんだ 高温はんだ,ブラウン管・蛍光灯の鉛や水銀,電子部 品の鉛ガラス,圧電部品,鉄中0.35%・アルミ中0.4%・銅中4%,サー バー・ストレージ,Voice/Data Transmission,ネットワーク機器; 2006.1.1以前に販売開始されたスペア部品は適用除外.但し,今 後の技術の進歩によって代替が可能になるものは適用除外から外 す) 分別収集のためのシンボル K.Suganuma, ISIR, Osaka University 有害化学物質使用規制(RoHS) 2006年1月1日から/2007年1月1日までに? 重金属:鉛,水銀,カドミ,6価クロム, etc. 適用外: 高温はんだ(≧85%Pb),ブラウン管・蛍光灯の鉛や水銀 ,電子部品の鉛ガラス,圧電部品,鉄中0.35%・アルミ 中0.4%・銅中4%,サーバー・ストレージ(2010年まで), Voice/Data Transmission,ネットワーク機器 2006/7.1.1以前に販売開始されたスペア部品は適用 除外.今後の技術の進歩によって代替が可能になるも のは適用除外から外す. K.Suganuma, ISIR, Osaka University 7 廃棄前処理システム確立の義務化 全ての液体と特定有害元素を含む部品は事前に除去 鉛,六価クロム,水銀, カドミ 25mmt×25mmφ電解コン PBB/PBDE,アスベスト,コード セラミック繊維部品,放射性物質 ブラウン管,PCB部品,液晶>100cm2 CFC/HFC K.Suganuma, ISIR, Osaka University 今 後 成 立:2002年4月 見直し:2003年 技術の進展・遅延に伴い 除外する場合や除外項目から外すこともある ハロゲン系難燃材は拡大する方向 重金属は拡大する方向 K.Suganuma, ISIR, Osaka University 8 デンマークの規制 PROHIBITION OF IMPORT AND MARKETING OF PRODUCTS CONTAINING LEAD 規制対象: ※全ての鉛(金属及び化合物)を含む製品の輸入や販売 ※鉛を100ppm以上含む製品(カーボネートやサルフェートは除外) 例外:輸出のための扱い,原料や中間原料,中古品,リペア 金属鉛 金属鉛 2001年 2001年3月から:玩具・娯楽用品,カーテンの重り,装飾品,屋根部材… 月から:玩具・娯楽用品,カーテンの重り,装飾品,屋根部材…etc 2002年 24kV以下の地下ケーブル被覆,外壁等,釣り具 以下の地下ケーブル被覆,外壁等,釣り具 2002年12月から:水道・排水管,電圧 12月から:水道・排水管,電圧24kV エレクトロニクス関連の化合物鉛 エレクトロニクス関連の化合物鉛 電線ケーブル被覆の安定剤 : 放電管 : ガラス(電灯など) : 電子部品(“ 電子部品(“Electric components” components”) : リペア部品 : 研究・実験・開発 : 未 未 未 未 未 未 定 定 定 定 定 定 K.Suganuma, ISIR, Osaka University ロードマップと実用化 9 鉛フリーはんだ導入のためのロードマップ (2000年JEIDA報告会より) 量産品のへの鉛フリーはんだの導入 1999 鉛フリーめっき部品の採用開始 2000 フローはんだプロセスへの鉛フリーはんだ導入 2000 鉛フリーめっき部品の採用広がる 2001 新製品への鉛フリーはんだの採用が拡大する 2001 新製品への鉛フリーはんだ導入が一般的となる 2002 新製品への鉛フリーはんだ全面採用 2003 鉛入り従来はんだの使用は例外となる 2005 (註)上記は鉛フリー化の完遂を予測するものではない K.Suganuma, ISIR, Osaka University 各社の鉛フリーはんだ導入状況と予定 年 松下電産 1998 1999 SnCuフロー SONY 富士通 冷蔵庫,他 NotePC SnAgCuリフロー SnAgCuフロー SnAgCuiリフロー 2005∼ ほぼ国内 転換達成 グループ内 全面転換 社内 全面転換 各社1モデル ウオークマン VCR SnAgBiリフロー 2006/3までに 全面転換 NotePC 導入 TV NotePC,携帯電話 Sn-3Ag-0.5Cuフロー サーバ SnBiリフロー 東 芝 2004 グループ内 全面転換 国内 全面転換 SnZnBiリフロー VCR 2003 国内50∼70% NotePC全面転換 グループ内 全面転換 NotePC→デスクトップPC ページャ SnAgCuリフロー 日 立 2002 2001 携帯電話 180製品以 SnAgCuフロー 上実用化 VTR MD→カセット SnAgBiInリフロー NEC 2000 VTR 全面転換 全面転換 NotePC SnAgCuフロー SnAgCuiリフロー 2006.3 全面転換 三菱電機 エプソン 日本ビク ター Pioneer 2002.3 全面転換 プリンター・プロジェクタ等 DVC Sn-2.8Ag-1Bi-0.5Cuリフロー 2003.3 全面転換 DVD,カーオーディオ Sn-0.7Cuフロー シャープ NotePC,コピー機等 SnAgCuiリフロー カシオ 日 産 Philips Ericsson 概ね 全面転換 キーレスエントリ SnAgCuリフロー 電灯インバータ SnAgBiフロー 携帯電話 SnAgCuリフロー 新製品の80%鉛フリー &ハロゲンフリー 携帯電話 Motorola Ford 2004.3 全面転換 電卓 SnAgCuリフロー 盗難防止システム K.Suganuma, ISIR, Osaka University 10 自動車メーカーの鉛フリーはんだに対する取り組み 取り組み内容 時 期 備 考 鉛量を1/2(96年比) 鉛量を1/3(96年比) 2000年末 2005年末 ELV指令 鉛,水銀,カドミ, 六価クロムを禁止 2003年 7月1日より 概ね全廃 2002年に 2002年新型車は2005 年目標をクリヤー キーレスエントリー・ システムに実用化 2000年 2000年8月 Sn-Ag-Cu系フロー メ ー カ ー 自主規制 日 産 車両盗難防止システム Ford (Visteon 用トランシーバ・モ 2000年 2000年12月 12月 ) ジュール実用化 バッテリーを除く はんだは除外 未発表 車の鉛 総量1.85kg (バッテリー以外)/ /ラジエータ31%/ ケーブル15%/ 15%/バランサ バランサ13%/ 13%/基板 基板2.7% 2.7% 総量1.85kg(バッテリー以外) ラジエータ31%/ケーブル はんだ:50g/ 台×500万台 はんだ:50g/台 500万台 → 2500 t/年がシレッダーダスト t/年がシレッダーダスト K.Suganuma, ISIR, Osaka University JEITA半導体環境対応ロードマップ2001 分 類 対 2000 象 2005 2010 はんだ ディプコート 材料 Sn-Ag系 Sn-Ag系 (リード端子用) 採用比率 一部 50 はんだボール (外部端子用) 材料 Sn-Ag-Cu系 Sn-Ag-Cu系 採用比率 一部 50 材料 − Sn-Ag系 採用比率 − 50 Ni/Pd/(Au) Sn-Bi,Sn-Ag Sn-Cu 100 Sn-Bi,Sn-Ag Sn-Cu 100 Sn-Ag系 Sn-Cu系 100 Sn-Ag-Cu系 Sn-Cu系 100 Sn-Ag系 新素材 100 材料 − Sn-Ag系 Sn-Ag系 Ni/Pd/(Au) Sn-Bi,Sn-Ag Sn-Cu 100 Sn-Bi,Sn-Ag Sn-Cu 100 Sn-Ag系 Sn-Cu系 100 Sn-Ag-Cu系 Sn-Cu系 100 Sn-Ag系 新素材 100 Sn-Ag系 採用比率 − 250∼260 250∼265 一部 250∼260 250∼265 50 250∼260 250∼265 100 250∼260 250∼265 一部 一部 一部 100 はんだ めっき 材料 Ni/Pd/(Au) Sn-Bi,Sn-Ag 採用比率 一部 材料 Sn-Bi,Sn-Ag 採用比率 一部 銅合金 系フ レーム (リード端子用) 鉛 フ リ ー 化 鉄合金 系フ レーム はんだバンプ (ベアチップ用) ダイボンド材 (はんだ使用) ハロゲン フリー化 2003 Ni/Pd/(Au) Sn-Bi, Sn-Ag Sn-Cu 50 Sn-Bi, Sn-Ag Sn-Cu 50 パッケージ 耐熱 封止樹脂 インターポー ザー リフ ピーク ロー 温度(℃) フロー 難燃材中の Br,Sb削減比率 (%) 導電性接着剤 K.Suganuma, ISIR, Osaka University 11 SolderTech * Draft * EUの目標設定 1999 2000 2001 2002 2003 2004 2005 2006 2007 All lead-free materials available 鉛フリーめっき部品 第1号 めっきの鉛フリー化 鉛フリー製品(第1号) 半分達成 新製品鉛フリー化 全ての製品を 鉛フリー化 K.Suganuma, ISIR, Osaka University プロジェクトと戦略 12 × EU指令検討 EU指令検討 米国法制化検討 2010 2008 2004 2002 2000 1998 1996 1994 1992 1990 エレクトロニクス実装における鉛フリーはんだ開発をめぐる変遷 ? JEIDAJEIDA-JIEPロードマップ JIEPロードマップ DTI Lead-Free Project(英) NCMS Project(米) IDEALS Project(EU) NEDOプロジェクト NEMI Project(米) COST351 Project(EU) IMECAT Project(EU) IMSプロジェクト 研究開発 JWES標準化Pj プロジェクト JEITA標準化Pj JIEP低温鉛フリーはんだ Pj K.Suganuma, ISIR, Osaka University IDEALSプロジェクト(BRITE/EURAM BR95-1944) 参加メンバー: Philips Siemens GEC Malconi Alpha Metals/Witmetaal Multicore Solders National Microelectronics Centre of Ireland 期間: 1996∼1999 予算: 約6億円 初期到達目標: 鉛フリーはんだの選択, リフロー+フロー リペア・リワーク,メッキ 鉛フリーはんだ実装は技術的に可能である. 1999年中に,実用化製品を出す. K.Suganuma, ISIR, Osaka University 13 PhilipsがSn-Ag-Bi系のフローで実用化した電灯基板 (Co van Veenより) K.Suganuma, ISIR, Osaka University NEMI Pb-Free Interconnect Group Edwin Bradley, Motorola Ken Snowdon, Snowdon, Nortel Network Alloy Selection Jasbir Bath, Solectron Carol Handwerker, Handwerker, NIST Environmental Monitoring Ron Gedney, Gedney, NEMI Solder Reliability Gordon Whitten, Delphi Eliz Bennedetto, Bennedetto, Compaq Components Srini Chada, Chada, Mark Kwoka, Kwoka, Intersil Sn-Ag-Cuファミリーから選択 実装部品や基板に260℃の耐熱化を目指す K.Suganuma, ISIR, Osaka University 14 NEDO「鉛フリーはんだ規格化のための研究開発」 新エネルギー・産業技術総合開発機構 (社)産業環境管理協会 技術評価委員会 多田委員長 (社)日本溶接協会 (社)日本電子工業振興協会 須賀委員長 (11社) 竹本委員長 (20社) (社)日本電子機械工業会 (33社) 年度:平成10,11年度,予算:3億5千万円 (目 標) 鉛フリーはんだの特性評価方法確立 鉛フリーはんだ実用推進 K.Suganuma, ISIR, Osaka University JEIDAプロジェクトの主な結果 【全 般】 鉛フリーはんだの諸特性を把握できた.何れのはんだも 制約事項はあるが,実用可能である. 【リフロー】 絶縁性,マイグレーション特性はほぼ問題はないが,ぬ れ性はSn-Pb共晶はんだより多少劣る. Bi含有量が多いほど,Pbとの両立性が劣化する. 【フロー】 Bi量の存在によりリフトオフは促進されるが,条件によ ってBi無しでも発生する. クリープ,温度サイクルに対しては,Sn-Pb共晶はんだよ りも鉛フリーはんだは優れている. K.Suganuma, ISIR, Osaka University 15 2001∼国内プロジェクト IMSプロジェクト :元素の生体影響,溶出性,実装性 JWESプロジェクト(終了) :規格・標準化 JEITAプロジェクト :部品側から見た評価技術の標準化 JIEPプロジェクト :220℃以下リフロー実装を目指す SnZnBi系,SnBiAg系 K.Suganuma, ISIR, Osaka University EFSOTの研究開発活動 研 ワークパッケージ 接 合 技 術 WP1 生 物 影 響 WP2 環 境 影 響 WP3 リサイクル・リユース WP4 究 開 発 内 容 Task1 高精度リフロー技術開発(温度分布均一化,高効率化) 狭ピッチ接続技術の開発(限界値の明確化と方向付け) Task2 Task3 フロー浴組成管理基準の設定(不純物混入限界) Task1 Task2 鉛フリーめっき/鉛フリーはんだの信頼性向上 構成元素の溶出,土壌汚染,人体への摂取形態 構成元素の生物影響(人体への摂取許容量の推 定) Task1 Task2 鉛フリーはんだの資源状況/製造時エネルギー評価 Task1 Taks2 調査による方式案と絞り込み 製品の生涯にわたる環境影響評価 リサイクル・リユース基本技術の確立 K.Suganuma, ISIR, Osaka University 16 JIEP低温鉛フリーはんだ実装技術開発プロジェクト 目 的 鉛フリー実装技術の体系化 低温域実装の実現 → Sn-Zn系,Sn-Bi系 期 間 H12.8∼h14.9 活動内容 これまで集積されたデータやノウハウの取りまとめ Sn-Zn, Sn-Bi系使いこなしの条件 公開研究会や講習会等の開催,書籍の出版 国内・国際会議の開催などを通して積極的に公表 K.Suganuma, ISIR, Osaka University 今、はんだ選択肢は? 候補なし 250 200 温 度 (°C) SnSn-Cu Sn-Sb SnSn-AgAg-Cu Sn-Ag-Cu-Bi SnSn-Zn(Zn(-Bi) Sn-Ag-much Bi Sn-37Pb Sn-Ag-In(-Bi) Lead-FreeSolders Soldersvs. vs. Lead-Free Melting Temperature Melting Temperature 150 SnSn-58Bi(58Bi(-Ag) 有力候補なし Sn-In 100 なぜ低温なのか? 温度に敏感な部品・基板をどうする? 真の環境調和実現 & 真の無毒 K.Suganuma, ISIR, Osaka University 17 JIEPプロジェクトの目的と組織 9 産業界のニーズを広く調査し、開発目標設定する 9 Sn-Znはんだの潜在的能力を明らかにする 9 最適なプロセス条件を明らかにする 9 ほかの全ての低温鉛フリーはんだを含め低温化の可能性を総括する 「低 温 と は?」 ⇒ ≦ 220 ºC JIEP プロジェクト構成 素材 G 忠内(東芝) 委員長 推進企画 牧本(Sony) 菅沼(阪大) プロセスG 谷口(Sony) 副委員長 津久井(東海大) 須賀(東大) 事務局 平田、鈴木 オブザーバー 経済産業省 信頼性G 津久井(東海大) 環境G 須賀(東大) 渉外・特許 菅沼(阪大) はんだペースト 部品 基板 プロセス条件 装置 電気・機械信頼性 腐食 環境影響 ロードマップ 情報発信交換 特許調査 プロジェクト活動内容 アンケート調査, 特許調査 共同実験 (技術的および科学的根拠を明らかにする) 生産性評価 ⇒ CSP の大気リフロー (210 ºC ~230 ºC) 信頼性試験 ⇒ 機械的疲労試験 with or without heat exposure up to 125 ºC with or without Au/Ni plating with changing the thickness of Au plating ⇒ 熱疲労試験: -40 ºC ∼ 125 ºC ⇒ マイグレーション ⇒ 腐食試験 (塩水噴霧、, NO2, 大気) 期間: 2000年8月 ∼ 2002年9月 18 300 210 ºC reflow Temperature (ºC) 200 209 ºC at a ball 140 ~ 160 ºC - 80 s 100 0 300 230 ºC reflow 200 229 ºC at a ball CSP ball CSP top PWB 140 ~ 160 ºC - 80 s 100 0 0 60 120 Time 180 (s) リフロー温度プロファイル Sn-Ag-Cu ball Sn-Pb ball 210 ºC 230 ºC リフロー後の組織的特長 19 30% Load drop Relative displacement (µm) 0.01 Ball/Paste SnAgCu/SnZnBi SnPb/SnZnBi SnAgCu/SnPb SnPb/SnPb SnAgCu/SnZnBi-h SnPb/SnZnBi-h SnAgCu/SnAgCu SnAgCu/SnPb SnAgCu/SnAgCu-h SnPb/SnAgCu-h SnAgCu/SnPb-h SnPb/SnPb-h 0.005 Sn-Zn-Bi Cu Cracking inside Sn-Zn layer After 110 ºC-300h exposure 0.001 500 1000 5000 10000 Number of fatigue cycles 125 ºCで暴露後の機械疲労強度 ま と め 1. 鉛フリーはんだに対する産業界の要求は高く、 中でも60%近くの会社がSn-Zn-Biはん だに興味を持っている。 2. 多くの会社がN2 雰囲気の採用を可能としている。半数の会社が、2004年までに何らか の形で低温鉛フリーはんだの実用化を考慮している。 3. Sn-PbやSn-Ag-CuボールのCSP実装では、Sn-Zn-Biペーストは210℃でさえも良好な 実装が可能である。125 ºC高温放置は、Sn-Zn-Bi/Cu界面にほとんど悪影響を持たな い。 4. Cu-Zn金属間化合物の分散層がSn-Ag-CuボールとSn-Zn-Biペーストの界面に形成す るが、信頼性にはほとんど影響しない。 5. リフロー温度が220ºCを超える場合、Sn-Pbボールには大きなボイドが生じ、疲労強度 にばらつきを生じる。Sn-Zn-Biを用いたCSP搭載では、特にSn-Ag-Cuボールの場合に もっとも信頼性が高い。 6. CSPと基板の間が広いほど疲労寿命は長い。これが、Sn-Zn-Biで210ºCでリフローした 良好な結果を与えている。 7. 熱疲労試験では、保持時間が長いほど熱疲労寿命が短くなる。 20 そして….. プロジェクトは全ての評価を2002年9月に終了。 MES2002で速報、データブックの出版、シンポジウムの 開催… 出 版: 1. JIEPシンポジウム 低温鉛フリーはんだプロジェクト 「Sn-Zn鉛フリーはんだの実用化」, (2001). 2. MES2001特別セッション「JIEP低温鉛フリーはんだ実装技術プロジェクト」, MES2001,(2001), pp.7-22. 3. T. Suga, M. Takeuchi, “JIEP Project of Low-Temperature Lead-Free Solder and Its Report on Questionnaire Survey”, Proc. 2nd. International Symposium on Environmentally Conscious Design and Inverse Manufacturing: EcoDesign 2001, (2001), pp.1059-1063. 4. Q. Yu, T. Kiga, M. Takeuchi, K. Toi, Y. Kato, “CSP Mounting Reliability with Sn-Zn-Bi in JIEP Project”, Proc. 2nd. International Symposium on Environmentally Conscious Design and Inverse Manufacturing: EcoDesign 2001, (2001), pp.1059-1063. 5. K. Suganuma, T. Tsukui, T. Suga and T. Makimoto, “JIEP Low Temperature Lead-Free Soldering Project”, ICEP2002, (2002), in press. 世界で活動する電子実装コンソーシアム 米 国 コ ア 組 織 NIST Colorado 大学 Arkansas 大学 UCLA 大学 Maryland 大学実装工学研究センタ Georgia 工科大学 SEMATECH MCC IVF, ESPRIT, NETPACK ヨーロッパ Berlin 工科大学/Fraunhofer 研究所 アジア 日本 Bordeaux 大学(仏) 仏国立研究所 オール大学/Helsinki 大学 Chalmer 工科大学 Bluetooth(スウェーデン) IMEC(ベルギー) ノルウェー国立研究所 COST531 シンガポール国立研究所(IME) GINTEC(シンガポール) ITRI(台湾工業技術研究院) Bangalore 大(インド) NECTEC(タイ) ASET 実装工学研究所(東大先端研) 先進導電性接着剤研究会(阪大産研) 開 発 項 目 実装材料,ミリ波・光・レーザ研究,測定・評価治具,装置,ソフト 実装技術,ミリ波設計技術,評価技術開発 超高速パッケージ設計技術(GHz 帯) ミリ波 接続材料,CAD,ディスプレイ,光インタコネクション,情報システム 材料,MCM,光電気伝送路の研究,実装の世界的中心を狙う 半導体全般,インターナショナルな活動を行う MCM,KGD,フリップチップの評価開発応用他8PJ 材料,半導体実装中心,FF・CSP の評価・応用,MCM,KGD 実装技術全般,評価解析技術,実装材料技術 実装評価システム(特にシミュレーション技術) 実装/部品材料 厚膜・薄膜技術,製造評価,材料開発 (IVF)電子実装技術, (IMC)素子・光ファイバ・モジュール化技術 近距離無線データ通信技術(IBM,インテル,ノキア,東芝他 1000 社以上) 半導体の設計,製造,実装,システムの一貫研究 実装技術全般 鉛フリーはんだ開発(アカデミックな大プロジェクト) 実装全般,光実装,CAD,CAE,民間との合弁ベンチャー実施 半導体実装中心,CSP の評価・応用 実装材料,MCM,フリップチップ,最近では KGD シリコンバレー化(シンガポールの合弁投資) ソフト,通信,コンピュータ,光電気,電子技術等 3 次元実装,光電子実装,半導体,磁気ディスク,液晶,製造装置 高速パッケージングシステム ,常温接合,分解 導電接着剤技術全般 K.Suganuma, ISIR, Osaka University 21 IMECAT Interconnection Materials for Environmentally Compatible Assembly Technologies Dr.ir. Jan Vanfleteren(Imec/Intec/TFCG, Belgium) ・目 的:鉛フリーはんだ及び導電性接着剤(ICA,NCA)技術を開発 し,広く実用化する 技術的意義 :機器の小型化・高機能化・高速化に対応する 環境意義 :WEEE と ELV 指令により,鉛フリー化,VOCフリー化の実装が 必須になる 経済的意義 :低賃金に基づき生産される低価格製品に対抗する ためには, 付加価値の高い製品の生産が必要 戦略的意義 :非EU接続技術への代替材料及びプロセス開発が必要 (特に日本の接着剤). ・時 期:2002.1∼2004.12 ・予 算: 4.7 Meuro (EC予算: 2.5 Meuro) → 5億円強 K.Suganuma, ISIR, Osaka University IMECAT Consortium 9 partners from 5 different EU member states メンバー (国) IMEC (B) Heraeus (D) Alcatel µElectronics (B) TU Berlin (D) CR Fiat (I) Tecdis Iberica (SP) Alcatel Bell (B) KSW Microtec (D) Elcoteq (FIN) 役 割 分 担 総括,基礎技術開発,モデル化とシミュ レーション 鉛フリーはんだ,VOCフリーはんだ,導電 性接着剤開発 (ICA, NCA) 試験部品の設計開発 バンピング,基礎開発,信頼性評価 自動車応用技術 液晶などの表示機器技術 電話システム技術 スマートカード・ラベル関連技術 携帯電話技術 K.Suganuma, ISIR, Osaka University 22 『鉛フリー』の定義付け(部品の例) From Infineon, Philips & SMTicroelectronics, July 16, 2001 定 義 元 素 上限値(wt) 鉛フリー Pb < 1000 ppm ハロゲンフリー Cl+Br < 900 ppm アンチモンフ リー Sb2O3 範 疇 表面処理 はんだボール モールド ラミネート レジスト モールド ラミネート レジスト < 900 ppm *いずれも故意に加えてはならない K.Suganuma, ISIR, Osaka University Sn-Ag-Cu特許状況 Manufacturing 海 外JohnsonMulticore 15/02/2001 Contraction (Iowa Univ.) (松下電産) 松下電産) Sn-3.5~7.7Ag-1.0~4.0Cu Sn-3.0~5.0Ag-0.5~3.0Cu はんだメーカA はんだメーカA はんだメーカB はんだメーカB はんだ はんだ はんだメーカC はんだメーカC 千住子会社 製 製 ? 品品 × は ん だ License契約 License契約 ○ 製 製 はんだメーカD はんだメーカD ○ ○ 製 製 License 海外工場 だ んだ は はん 国内工場 (Locktite) Locktite) License はん んだ だ は 松尾綜合法律事務所 はん んだ だ は SnSn-3.0∼ 3.0∼5.0Ag5.0Ag-0.5∼ 0.5∼3.0Cu 日 日本 本 Except for Jp and US 千住金属 は は ん ん だ だ 日本スペリア 品 品 米 国 ? 品品 Based on Takahashi (Toshiba) K.Suganuma, ISIR Osaka University 23 種々の残された問題 リフトオフは? 部品めっきの鉛フリー化でOK? ウィスカは? 伸びても短い? Cu lead Fillet Land PWB ランド剥離は? ランド設計や基板改質OK? マイグレーションは? 温度急変試験でチップ部品のSnめっきに 発生したウィスカ(TDKのご厚意より) OK? Snペストは? OK? 「何故だろう?」が理解できると対策は早い (TDKのご厚意による) K.Suganuma, ISIR Osaka K.Suganuma, ISIR, OsakaUniversity University 今,クローズアップされる戦略的課題 標準化におけるイニシアチブ争奪戦激化 新技術開発を巡る国際開発競争の激化 学術基盤形成における競争激化 強固な知的財産権を確立できる産学協力体制が必要 K.Suganuma, ISIR, Osaka University 24 新たな提案 ファインな実装 日本が置くべき : IT,自動車, ターゲット 情報家電,etc. 高度情報化社会のための 環境調和電子実装技術 鉛フリー化で得られるメリット 鉛の害を素から遮断 製品の長寿命化 廃棄・再処理を容易にする 将来の製造技術基盤を確保 日本のグリーン製品戦略 K.Suganuma, ISIR, Osaka University 25 阪大産研 菅沼研 suganuma@sanken.osaka-u.ac.jp http://www.sanken.osaka-u.ac.jp/labs/eco/ 26
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