真空 位置決め コント TSDM 仕様 ユニット ローラ ドライバ モータ SGSP SGSP SGSP （直動）（回転）（ゴニオ） KST 自動偏光子ホルダー/自動NDフィルターホルダー SGSP-GTPC / WPQ / ND / NDU グラントムソンプリズム GTPC-08-20AN使用 30 82 36 光 軸 30 70 22 φ1 2 60 波長板 WPQ-6700-4M使用 30 82 36 干渉計 NDフィルター VND-100/VND-100U使用 06 φ1 29 ホルダー 42 光 軸 30 70 ベース 光 軸 22 光源 φ1 2 60 28 60 φ 12 手動ステージ X軸 XY 軸 Z軸 XZ軸 XYZ軸 回転 ゴニオ・傾斜 多軸 M6 直動ガイド 自動ステージ ピエゾ ステッピング スケール付 ACサーボ ソフトウェア ケーブル オプション アクチュエータ マイクロメータ・ 微調ネジ ブラケット・ スペーサー アクセサリ・ メンテツール 共通仕様 移動量 テーブル面上からみて反時計方向は∞、時計方向は 機械原点センサ（CWリミットセンサ）で停止します。 1 パルス移動量 （フルステップ / ハーフステップ） モータ 材質 案内ガイド 送り方式 機械原点センサ（CWセンサ） 0.005°／0.0025° SGSP-60-ND-0B SGSP-60-NDU-0B TS3664N4（0.66A／相） アルミ合金（特） ベアリング方式 ウォームとウォームホイール PM-R24 SHOT-202 〔2軸〕 SHOT-204MS 〔4軸〕 SHOT-602 〔2軸〕 Controller SHOT-102 PAT-001 〔2軸〕 〔1軸〕 Cable コネクタピン番号 ヒロセ電機 （株） 製 RP17-13RA-12SC SGSP-60YAW Cable Stage SGSP-60YAW MINI-CA 波長 可視、近赤外域用 紫外、近赤外域用 結線図 Stage DMINIS-CA ガラス材質 BK7 合成石英 クロム膜をガラスにコーティングしてあります。 強いレーザには膜の破損を生じますのでご注意下さい。 対応コントローラとケーブル Controller フィルタ品番 VND-100 VND-100U 黒 1 モーターリード青 2 2 モーターリード赤 3 3 モーターリード橙 4 4 モーターリード緑 5 5 モーターリード黒 6 （未使用） 6 N.C. 7 7 ＋VS 茶 8 8 GND （0V） 青 9 9 黒 10 （未使用） 白 11 機械原点センサ （CW リミットセンサ） 11 N.C. （未使用） 12 12 N.C. （未使用） 青 E相 A相 赤 1 10 ご案内 5 相ステッピング モータ D相 B相 C相 緑 橙 SUNX （株） 製 マイクロフォトセンサ PM-R24 （黒リードは入光時 ON） 機械原点センサ 注 1 （CW リミットセンサ） 注2 ●SHOT-102は1分割、2分割できますのでそのときの1パルスあたりの移動量は0.005°、 0.0025°です。また、SHOT-602ご使用の場合は1パルスあたりの移動量は0.0025°です。 ●SHOT-202、SHOT-204MS、SHOT-602をご使用の場合、原点検出方式はMINI 方式で行って下さい。自動回転ステージの目盛りはハーフステップ時にMINI方式で 原点検出を行ったときに0度付近で停止するように調整されています。 ●自動回転ステージではCWリミットセンサを原点センサとして使用し、原点復帰させます。 品名 グラントムソンプリズム付自動偏光子ホルダー SGSP-60-GTPC用アダプタ 波長板付自動偏光子ホルダー SGSP-60-WPQ用アダプタ 自動NDフィルターホルダー 自動NDフィルターホルダー 質量 最大移動量 〔kg〕 〔°/s〕 0.5 － 0.5 － 0.5 0.5 30 － 30 － 30 30 使用光学素子 GTPC-08-20AN使用 － WPQ-6700-4M使用 － VND-100使用 VND-100U使用 注1 ”+”方向の移動命令で載物テーブルは上面から見てCCW（反時計）方向には∞回転し ますが、CW（時計）方向は機械原点センサ（CWリミットセンサ）で停止します。 機械原点検出は機械原点センサ（CWリミットセンサ）を使う原点検出する方法（MINI 方法）で検出してください。 注2 対応ケーブルのコネクタ：ヒロセ電機（株）製 RP17-13PA-12PC/RP17-PC-122 繰り返し ロスト 面振れ精度 位置決め精度 モーション 〔°〕 〔°〕 〔mm〕 0.02 － 0.02 － 0.02 0.02 0.05 － 0.05 － 0.05 0.05 0.02 － 0.02 － 0.02 0.02 品番 SGSP-60-GTPC-0B SGSP-60-GHD SGSP-60-WPQ-0B SGSP-60-WHD SGSP-60-ND-0B SGSP-60-NDU-0B 価格 〔￥〕 218,000 6,000 164,000 6,000 198,000 218,000 納期の 目安 A A A A A A 納期 A…受注後1週間、問…要問合せ C430 www.sigma-koki.com *sales@sigma-koki.com
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