出展ザクセン州企業紹介パンフレット

ナノテク
ザクセン !
N A N O
S A X O N Y !
A HIGH TECH LOCATION AT ITS BEST
ナノテック東京2008年2月13日 15日
ドイツザクセン州からの出展企業
NANO TECH TOKIO 2008 FEBRUARY 13 - 15
COMPANIES FROM SAXONY / GERMANY
目次 CONTENT
出展参加企業 EXHIBITORS
4
6
ザクセン州におけるナノテクノロジー
Nanotechnology in Saxony
スマートシステムキャンパス、テクノパークケムニッツ
Smart Systems Campus, Technopark Chemnitz
HALL 4 BOOTH C19/16
7
ドレスデン・エー・エックス・オー社
AXO DRESDEN GmbH
HALL 4 BOOTH C19/11
8
クレアバック ― クレアティブ真空コーティング社
Creavac – Creative Vakuumbeschichtung GmbH
HALL 4 BOOTH C19/17
9
オプテグ社
OPTEG GmbH
HALL 4 BOOTH C19/09
10
テュフ・ズード工業サービス社
TÜV SÜD Industrie Service GmbH / Plant Engineering and
Process Technology HALL 4 BOOTH C19/18
11
ザクセン州経済振興公社
Saxony Economic Development Corporation
(Wirtschaftsförderung Sachsen GmbH) HALL 4 BOOTH C19/12
12
ナノテクノロジー・コンピテンスセンター「ウルトラシン・ファ
ンクショナル・フィルム」Nanotechnology Center of Competence
„Ultrathin functional films“ HALL 4 BOOTH C19/12
13
ドレービット社
DREEBIT GmbH
HALL 4 BOOTH C19/12
14
ドレスデン工科大学応用物理学研究所
Technische Universität Dresden Institute of Applied Physics
HALL 4 BOOTH C19/12
15
ドレスデン市経済局経済振興課
City of Dresden / City Department of Economic Affairs /
Economic Development Office HALL 4 BOOTH C19/12
講演 LECTURES
若手科学者によるザクセン州ナノテクノロジー・ハイライト
Highlights of Saxonys nanotechnology presented by young
scientists - The Program
16
フラウンホーファー非破壊評価研究所(IZFP) 非破壊ナノ評価セ
ンター Fraunhofer Institute for Non-Destructive Testing / The
Center for Non-destructive Nano Evaluation (nanoeva ® )
18
IWS ― フラウンホーファー素材照射技術研究所
Fraunhofer Institute for
Material and Beam Technology IWS
19
フラウンホーファー電子ビーム・プラズマ技術研究所 (FEP)
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahlund Plasmatechnik (FEP)
20
ドレスデン工科大学応用光物理研究所
Institut für Angewandte Photophysik
Technische Universität Dresden
21
受付にて INFORMATION AT THE COUNTER
アスメック・アドヴァンスド・サーフェイス・メカニクス社
ASMEC Advanced Surface Mechanics GmbH
IKTS ― フラウンホーファー・セラミック技術・
システム研究所 Fraunhofer Institute of Ceramic
Technologies and Systems
22
23
ザクセン州のナノテクノロジー
ザクセン州におけるここ10年来の成功は、主として当州がマイクロ技
術とナノテクノロジーの研究・経済拠点としての発展を遂げたことによ
るものであります。
4
例えばドレスデン市ですが、近年欧州でも有数のマイクロエレクトロニ
クス産業拠点に発展してまいりました。同市とその近郊に所在するイン
フィネオン、AMD、キモンダ、あるいはフライベルクのジルトロニッ
クなどの半導体企業とならんで、アドヴァンスト・マスク・テクノロジ
ーセンター(AMTC)も、将来のナノテクノロジー製品の研究開発を進め
ております。2005年5月創設のフラウンホーファー・ナノエレクトロニ
クス技術センター(CNT)と2006年6月に開設されたナノエレクトロニク
ス材料ラボ(NaMLab)を合わせ、ドレスデン地域は国際的に最先端を行
くナノエレクトロニクス研究拠点です。
各種産業領域におけるナノ超薄膜やナノ粒子の利用にみられるように、
他のナノテクノロジー応用分野においてもザクセン州は先導的であり
ます。
そして、数多の大学と大学以外の研究機関を結ぶ並外れて優れた研究
インフラが、この場合ザクセン州における成功の主なファクターなの
であります。
SUPPORTED BY
ザクセン州経済労働省
Saxony State Ministry for Economic Affairs and Labor
www.smwa.saxony.de
ザクセン州経済振興公社
Saxony Economic Development Corporation
www.invest-in-saxony.com/nanotech
NANOTECHNOLOGY IN SAXONY
Saxony’s success of the last 10 years is largely due to its development
into a leading research- and business location of microelectronics and
nanotechnology.
Take the City of Dresden, for example, which in recent years has developed into the most important microelectronics location in Europe.
Alongside the big semiconductor makers in and around Dresden, like Infineon, AMD, Qimonda and Siltronic in Freiberg, innovative research and
development in the field of future nanotechnology products is conducted
by institutions like the Advanced Mask Technology Center (AMTC).
With the Fraunhofer-Center Nanoelectronic Technology (CNT), opened
in May 2005, and the Nanoelectronics Materials Lab (NaMLab), founded
in June 2006, Dresden is an internationally leading research location in
nanoelectronics.
Saxony also leads in other areas of application of nanotechnology, e.g.
the use of ultrathin nano-layers or the employment of nanoparticles in
various industrial branches.
The excellent research infrastructure that connects numerous universities
with several other research institutes is one of the main factors of Saxony’s
success.
ナノテクノロジー・コンピテンスセンター「ウルトラシン・
ファンクショナル・フィルム」
Nanotechnology Center of Competence
„Ultrathin functional films“
www.iws.fraunhofer.de, www.nanotechnology.de
ドレスデン市経済局経済振興課
City of Dresden / City Department of Economic
Affairs / Economic Development Office
www.dresden.de/business
5
出展参加企業
EXHIBITOR / HALL 4
BOOTH C19/16
6
スマートシステムキャンパス、
テクノパークケムニッツ
Smart Systems Campus,
Technopark Chemnitz
c/o Fraunhofer IZM
Chemnitz Branch of the InstituteDept. Multi Device Integration
Reichenhainer Strasse 88, 09126 Chemnitz, Germany
Contact: Mr. Prof. Thomas Gessner
Phone: +49-371-531-331-30 / Fax: +49-371-531-240-69
Email: info@che.izm.fraunhofer.de
Internet: www.smartsystemscampus.de
活動的なスタートアップ企業に役立つ専門知識を備えた革新的ネットワ
ーク、スマートシステムキャンパスは、マイクロシステムとナノテクノ
ロジーの中心地ケムニッツ市に、特に著名学術研究機関や一流の国際企
業への直接アクセスを望む企業を対象として設けられました。「スマー
トシステムキャンパス」は、共同プロジェクトに際してスケジュールや
コミュニケーションの向上を図れるように、サービスエリアを集中させ
ているのが特徴です。
パートナー:
CWE-ケムニッツ経済振興公社
フラウンホーファー信頼性マイクロ統合研究所ケムニッツ研究所
ケムニッツ工科大学
ケムニッツ工科大学マイクロテクノロジーセンター
The Smart Systems Campus, an innovative network with expertise
available for young, dynamic start-up companies, is being created at
Chemnitz, the microsystems and nano technology centre, especially for
firms that value direct access to renowned scientific institutes and leading
international companies. The “Smart Systems Campus” is distinguishing
by a compact coverage type to improve timing and communication in
common projects.
Partners:
CWE - Economic Development Corporation, City of Chemnitz
Fraunhofer IZM, Chemnitz Branch of the Institute
Chemnitz University of Technology
Center for Microtechnologies at Chemnitz University of Technology
BOOTH C-19/11
AXO DRESDEN GmbH
Siegfried-Raedel-Straße 31, 01809 Heidenau, Germany
Contact: Mr. Reiner Dietsch
Phone: +49-351-258-324-9 / Fax: +49-351-258-331-4
Email: reiner.dietsch@axo-dresden.de
Internet: www.axo-dresden.de
出展参加企業
EXHIBITOR / HALL 4
ドレスデン・エー・エックス・オー社
AXO DRESDEN GmbH - 応用X線光学機器と高精度析出技術:
• ラボ機器類およびシンクロトロンへの応用に向けたマルチレイヤX線
光学製品、および一次元・二次元X線複合光学システムの開発と製造
• スパッタ技術による高精度解析、大面積パルスレーザー解析
• X線反射率法、X線回析、蛍光X線分析の応用と学習
• 15年以上に渡る、マルチレイヤX線光学機器の設計、開発、製造経験
• 「ウェルカム・トゥ・ナノテク・ジャーマニー」および「リサーチ
・イン・ジャーマニー ― アイディアの国」両振興事業の一環として
進められているネットワーク「モジュラーX線光学」に参加。ネット
ワーク参加者は、ドレスデン・エー・エックス・オー社の他、ドレ
スデン・フラウンホーファーIWS研究所、リムスティング・フーバー
回折技術社、ベルリン・IfG社。
• 主要テーマ:X線源の製造と組合せ、X線光学機器、および超高精度ポ
ジショニングシステム。
• 目標:ハードおよびソフトX線領域における複合X線システムのモジュ
ラー・ソリューション
以下各国の代理販売店: 北米:Blake Industries Inc.(ニュージャーシー州)
日本:フジトク株式会社(東京) オーストラリア:GBC Scienti.c Equipment
AXO DRESDEN GmbH – applied X-ray optics and high precision
deposition: Development and production of multilayer X-ray optics and
complex one and two dimensional X-ray optical systems for applications
at laboratory instrumentations and at synchrotrons.
• High precision deposition by means of sputter techniques and large
area pulse laser deposition.
• Application in X-ray reflectometry, X-ray diffraction and X-ray
fluorescence analysis
• More than 15 years experiences in design, development and
fabrication of multilayer X- ray optics
• Formation of the network “Modular X-Ray Optics” within the
initiative “Welcome to Nanotech Germany” / “Research in Germany
– Land of Ideas” with the partners AXO DRESDEN GmbH, Fraunhofer
IWS Dresden, HUBER Diffraktionstechnik GmbH & Co KG Rimsting
and IfG GmbH Berlin
• Topic: Manufacturing and combination of X-ray sources, X-ray optics
and ultra-precision positioning systems
• Goal: Modular solutions of complex X-ray systems in the hard and in
the soft X-ray regime
Representations in the following countries: USA: Blake Industries Inc.,
New Jersey / Japan: Fujitok Corporation, Tokyo / Australia: GBC Scientific
Equipment
7
出展参加企業
EXHIBITOR / HALL 4
BOOTH C-19/17
8
クレアバック ― クレアティブ真空コーティング社
Creavac – Creative
Vakuumbeschichtung GmbH
Löbtauer Straße 65 - 71, 01159 Dresden, Germany
Contact: Mr. Rolf Winkler, General Manager
Phone: +49-531-2183-80 / Fax: +49-351-2183-819
Email: winkler@creavac.de
Contact: Mr. Tobias Müller, Manager Tech. Development
Phone: +49-351-2183-824 / Fax: +49-351-2183-810-10
Email: mueller@creavac.de
Internet: www.creavac.de
クレアバック社の基幹事業は、プラスチック部品のコーティングです。
またコーティング業務に加えて、装置設計や組み立て、継続的技術コン
サルティング、総合アフターサービスを含めた新しい真空コーティング
技術を提供すると共に、研究開発に取り組んでいます。当社のキー・コ
ンピタンスであるプラスチック部品の表面仕上げには、装飾コーティン
グや部分透過性の赤外線反射膜、ハンダ付け可能コーティング、ESD/
EMIシールディングなどの、PVD技術による塗装と真空金属化が含まれ
ます。さらに、レーザー彫刻、タンポン印刷、組み立て、テスト操作な
どの技術も提供しています。コーティング装置分野におけるクレアバッ
ク社の主力は、マイクロエレクトロニクス用の精密処理加工、EMIコー
ティング、高効率の自動短周期金属化装置など、技術性の高い特殊ソリ
ューションです。全く新しいシステム「クレアメット・ラピッド・エス
・エム・シー(CREAMET rapid smc)」は、ナノ構造物コンポーネント用
の新しい表面技術を提供します。真空コーティング装置と並び、当社は
連続熱蒸発システム、アングル型バルブやビューポートガラスのシリー
ズ等、真空コンポーネント分野での独自開発を行っています。品質保
証は中心的課題です。クレアバック社は、DIN EN ISO 9001:2000、DIN
ISO 16 949、UL 746C等、多様な品質認証を取得しています。
CREAVAC has focused on coating of plastic parts. In addition to job
coatings CREAVAC features new vacuum coating technologies including
equipment design, construction, continuous technological consultation
and comprehensive after-sales service as well as research and development. Surface finishing of plastic parts, CREAVAC key competences,
includes lacquering and vacuum metallization by PVD technology for
decorative coatings, partially transparent IR-reflective layers, solderable
coatings, ESD or EMI shieldings etc. In addition, CREAVAC provides
further technologies, such as laser engraving, Tampon printing, assembly,
testing operations or others. In the area of coating equipment, CREAVAC
focuses mainly on technologically oriented specialised solutions such as
precision treatment for micro-electronics, EMI coating, highly productive
automated short-cycle metallisation equipment and others. A complete
new system with the name “CREAMET rapid smc” offer a new surface
technology insisting of nano structured components. Besides vacuum
coating equipment, the company offer in-house developments in the field
of vacuum components e.g. continuous thermal vaporisation systems,
a series of angle valves or port view glasses. Quality assurance plays a
central role. CREAVAC posses different quality certificates like DIN EN
ISO 9001:2000, DIN ISO 16 949 or UL 746C.
BOOTH C-19/09
OPTEG GmbH
Föpplstrasse 9, 04347 Leipzig, Germany
Contact: Mr. Dr. Steffen Gürtler
Phone: +49-341-2349-352-0 / Fax: +49-341-2349-352-9
Email: sg@opteg.de
Contact: Mr. Prof. Dr. Reinhard Schwabe
Phone: +49-341-2349-351-9 / Fax: +49-341-2349-352-9
Email: reinhard.schwabe@opteg.de
Internet: www.opteg.de
出展参加企業
EXHIBITOR / HALL 4
オプテグ社
オプテグ社は、グラスファイバー使用の低コヒーレンス干渉計および反
射率計の開発と製造、販売に事業を特化、急成長を続ける企業です。
オプテグ社は6年前に、高ダイナミック多軸モーション・システム向け
の革新的な制御システムソリューションの開発企業としてスタートしま
した。目下、5軸モーション・システム、機械制御システム、ユーザー
・インターフェース、データ・インターフェース、およびCAM創成と
いったイオンビーム加工(IBF)装置用のハードおよびソフトウェアコンポ
ーネントをスタンダード製品として提供しています。同時開発された高
インテリジェント電力供給は、700 1500ワットのパワースペクトル距
離で、イオンビーム源運転用に使用されています。
広領域光学製品加工向けのIBF装置の開発を1年程前に完了しましたが、
これは、私共の知るかぎりでは最初のスタンドアローン型ターンキー
で、お客様のご要望に合わせた量産体制のIBF装置です。
下のサイトから、ドイツおよびヨーロッパのナノ技術に関する詳細な情
報をご覧いただけます。
The OPTEG GmbH is an upcoming enterprise who is specialised in
development work, manufacturing as well as distribution of high-tech
products such as fibre-based optical low coherence interferometers and
fibre-based reflectometers, respectively. Six years ago the OPTEG GmbH
started with development work for innovative solutions of controlling systems for highly-dynamic multi-axes motion systems. At present hard- and
software components for ion beam figuring/finishing (IBF) machines such
as five-axes motion systems, machine controlling systems, user interfaces,
data interfaces, and CAM-generation belong to our standard products.
Simultaneous product development has been done for highly intelligent
power supplies used for operating ion beam sources and offered for a
power spectrum ranging from 700 to 1500 Watts. Since about one year
OPTEG finished his development work of a complete IBF machine for
figuring large-area optics, to our knowledge the first stand-alone turnkey
and production ready IBF machine available according to customer
requirements.
You will find more information about German and European
nanotechnology at: www.nanonet.de and www.nano-in-germany.com
9
出展参加企業
EXHIBITOR / HALL 4
BOOTH C-19/18
10
テュフ・ズード工業サービス社
TÜV SÜD Industrie Service GmbH
Plant Engineering and Process Technology
Drescherhäuser 5d, 01159 Dresden, Germany
Contact: Mr. Dr. Gerd Streubel
Phone: +49-351-4202-323
Email: gerd.streubel@tuev-sued.de
Internet: www.tuev-sued.de/technical_installations/
riskmanagement/nanotechnology
株式会社テュフ・ズードは、産業、モビリティー、人材へのご要望を満
たす国際的な大手サービスグループです。1万1千人を超える従業員を
抱え、世界各国で600箇所以上に代理店を設けております。私共の顧客
プロセスの専門家チームがパートナーとしてお客様の技術・システム・
ノウハウを確実に最適化し、国際競争力を強化いたします。
テュフ・ズード社は各企業に合わせたコンサルティング・パッケージを
提供し、確立された標準への適合に向けてナノ技術の専門プロセスと製
品を調整いたします。世界で初めて認証できるナノ技術専門のリスク管
理・モニタリングシステム「CENARIOS®」により、ナノ材料ハンドリン
グにおける安全性が認証され、確実なものとなります。テュフ・ズード
社の「nanoGMP」標準は、ナノ技術プロセスの確実な品質、能力、信
頼性をお約束いたします。
私共は、長年の豊富な経験と総合的な技術専門知識を有す中立的パート
ナーとしてお客様をサポートし、安全リスク管理システムを最先端の科
学技術にまで高めます。ワールドワイドで認められている「CENARIOS®」認証は、テュフ・ズード標準に従ってテュフ・ズードの認証機
関により交付され、正規の手続きに従いモニタリングされます。
TÜV SÜD AG is a leading international service group catering to the
business segments INDUSTRY, MOBILITY and PEOPLE. With over 11,000
employees, we are represented at more than 600 locations worldwide.
As partners in our customers‘ processes, our specialist teams ensure that
technology, systems and know-how are optimized, thus strengthening our
customers‘ global competitiveness.
TÜV SÜD offers companies tailored consulting packages to align nanospecific processes and products to established standards. CENARIOS®, the
world’s first certifiable nanospecific risk management and monitoring system, certifies safety and creates certainty in nanomaterial handling. With
TÜV SÜD “nanoGMP” Standard the quality, capability and reliability of
nanospecific processes are ensured.
As a neutral partner with longstanding experience and comprehensive
technical expertise, we support you to bring your safety and risk management system up to the state of the art in science and technology. The
CENARIOS® certificate is recognised worldwide, issued by the TÜV SÜD
certification body in line with the TÜV SÜD standard and monitored on
a regular basis.
Principal Office Japan / Tokyo: TÜV SÜD Japan ltd.
E-Mail: yoshio.izumi@tuv-sud.jp
Saxony Economic Development Corporation
(Wirtschaftsförderung Sachsen GmbH)
Bertolt-Brecht-Allee 22, 01309 Dresden, Germany
Contact: Mrs. Karin Heidenreich
Phone: +49-351-2138-235 / Fax: +49-351-2138-219
Email: karin.heidenreich@wfs.saxony.de
Internet: www.invest-in-saxony.com/nanotech
BOOTH C-19/12
出展参加企業
EXHIBITOR / HALL 4
ザクセン州経済振興公社
ザクセン州振興公社は、産業立地拠点としてザクセン州をプロモートす
ると共に、リロケーションプロジェクトを予定する投資家へのアドバイ
スを行っています。また、ザクセン州企業の輸出事業をサポートし、州
外のパートナーとの提携を促進します。
私共は以下のサービスを提供しています:
・ザクセン州経済の最新データ
・個別的な要望に応じた商業地の立地拠点サービス
・地域の意志決定者とのコンタクト斡旋
・財政支援の関する情報
・新市場開拓および提携パートナーシップ締結に向けた支援
ザクセン州経済振興公社日本代表部:
代表:勝亦正安
〒108-8248
東京都千港区港南2-16-4
品川グランドセントラルタワー
電話:+81-3-6711-1610/ファックス: +81-3-6711-1292
E-mail: m-katsumata@murc.jp (sachsen@venture-web.or.jp)
Saxony Economic Development Corporation promotes Saxony as a
business location and advises potential investors on relocation projects.
Furthermore, the WFS supports Saxon companies in their export efforts
and initiates cooperation with partners outside Saxony.
Our services include:
• the latest data on Saxony’s economy,
• customized business site location services,
• procurement of contacts with regional decision makers,
• information on opportunities for financial support,
• assistance in opening up new markets, and in initiating cooperative
partnerships.
Our Office in Japan:
Mr. Masayasu Katsumata
Shinagawa Grand Central Tower
(c/o MURC)
2-16-4, Konan, Minato-ku
Tokyo 108-8248, Japan
Phone: +81-3-6711-1610 / fax: +81-3-6711-1292
E-mail: m-katsumata@murc.jp (sachsen@venture-web.or.jp)
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出展参加企業
EXHIBITOR / HALL 4
BOOTH C-19/12
12
ナノテクノロジー・コンピテンスセンター
「ウルトラシン・ファンクショナル・フィルム」
Nanotechnology Center of Competence
„Ultrathin functional films“
Winterbergstrasse 28, 01277 Dresden, Germany
Contact: Mr. Dr. rer. nat. Ralf Jäckel
Phone: +49-351-258-344-4 / Fax: +49-351-258-330-0
Email: ralf.jaeckel@iws.fraunhofer.de
Internet: www.iws.fraunhofer.de, www.nanotechnology.de
ナノテクノロジー・コンピテンスセンター「ウルトラシン・ファンク
ショナル・フィルム」ーは1998年10月に設立されました。ドレスデン
のフラウンホーファー素材照射技術研究所(IWS)を事務所所在地として
います。
当コンピテンスセンターの共同ネットワークには、51企業enterprises、10の総合大学、22の研究所、および5社の株式会社corporationsが
参加しています。各メンバーは薄膜およびコーティング分野の特殊ノ
ウハウを誇ります。コンピテンスセンターは以下の分野において集中
的に業務を展開しています:
・最新式のシーモス(CMOS)
・新デバイス
・医療およびテクノロジー目的の生体高分子フィルム
・光学およびフォトニック用薄膜
・ナノサイズ・アトリックスおよびセンサリックス、ナノシステム
有効なノウハウを効率よく利用して相乗効果を引き出すため、当コン
ピテンスセンターではメンバー間の密接な提携協力を重要課題として
います。コンピテンスセンターの詳しいインフォメーションは以下を
参照して下さい: www.nanotechnology.de
The Nanotechnology Center of Competence “Ultrathin Functional Films”
was founded in October 1998. The office is situated in the Fraunhofer
Institute for Material and Beam Technology (Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS) in Dresden.
The center of competence joins 51 enterprises, 10 university institutes,
22 research institutes, and 5 corporations into a common network. The
members have special know how in the field of thin films and coatings.
The work of the center of competence focuses on the fields of:
• Advanced CMOS
• New devices
• Biomolecular films for medical and technological purposes
• Nanoscaled protective layers
• Thin films for optics and photonics
• Nano-size actorics and sensorics; nano-systems
Close co-operation of the members of the center of competence is one
important aim which assures an efficient use of the available know-how
and allows for synergetic effects.
BOOTH C-19/12
Zur Wetterwarte 50, Haus 301, 01109 Dresden, Germany
Contact: Mr. Dr. rer. nat. habil. Günter Zschornack
Phone: +49-351-2602-212 / Fax: +49-351-2603-285
Email: guenter.zschornack@dreebit.com
Internet: www.dreebit.com
出展参加企業
EXHIBITOR / HALL 4
ドレービット社
DREEBIT GmbH
多価イオン(HCI)ビームには、材料分析と表面ナノ構造化にとって大い
に応用価値があります。講演では、裸原子核(bare nuclei)に至るまでの
HCI生成が可能な3世代の小型イオン源を紹介します。HCIの最大の特徴
は、ビームに蓄積されるポテンシャルエネルギー総量の高さです。イオ
ン表面の相互作用により、大量のエネルギーが非常に小さな反応帯にま
で蓄積可能になります。10^12から10^14W/cm2程度の表面にまでパワ
ー蓄積ができます。こうして高二次イオン・二次エレクトロンが生成さ
れると共に、シングルイオンヒット法による表面ナノ構造形成への応用
も可能となります。続いて、希ガス集束イオンビーム装置(FIB)、および
癌治療への新世代イオン源の応用について最初の成果を報告します。
Manufacturer of: Sources of Highly Charged Ions for Nanotechnology, Medicine and Materials Analysis
Beams of highly charged ions (HCIs) are of principal interest for applications in materials analysis medicine and surface nanostructuring.
We present three generations of compact sources able to produce
HCIs up to bare nuclei. The most distinctive feature of HCIs is their
high amount of potential energy stored in the projectile. As a result in
ion-surface interactions an enormous amount of energy is deposited onto a very small reaction zone leading to a power deposition
onto the surface in the order of 10^12 ... 10^14 W/cm2. This leads
to high secondary ion and secondary electron yields and allows in
certain applications to create surface nanostructures by single ion
hits. Further on, we present first results with a noble gas FIB machine
and first results for the application of a new ion source generation for
medical cancer therapy.
13
出展参加企業
EXHIBITOR / HALL 4
BOOTH C-19/12
14
ドレスデン工科大学
応用物理学研究所
Technische Universität Dresden
Institute of Applied Physics
Helmholtzstr. 10, 01062 Dresden, Germany
Contact: Mr. Ass.-Prof. Dr. Günter Zschornack
Phone: +49-351-260-2212 Fax: +49-351-260-3285
Email: g.zschornack@fzd.de
Internet: www.tu-dresden.de
応用物理学研究所は、以下の分野の研究を重点的に行っています。
• 電子光学への応用に向けた半導体材料の研究
• 半導体およびショートタイム分光法の光学特性評価
• 機能性超薄高分子膜、強誘電薄膜と結晶、
および金属膜とクラスタの研究
• 半導体物理学上の一般問題。欠陥や不純物などのトラップが半導体
の光学的および電子的特性に与える影響など
• イオンビーム物理学
• 多価チャージイオンに関する原子・プラズマ・物性物理学
• 多価チャージイオン源の開発、および研究と産業への応用
The Institute of Applied Physics concentrates on the following fields of
research:
• Investigations on semiconductor materials for optoelectronic
applications
• Optical characterization of semiconductors and ultra-short time
spectroscopy
• investigations on functional ultra-thin polymer layers, on thin
ferro-electrical layers and crystals as well as on metallic layers
and clusters
• General questions of semiconductor physics such as the influence
of defects and impurity traps on the optical and electrical
properties of semiconductors
• Ion beam physics
• Atomic, plasma and solid state physics with highly charged ions
• Development of sources of highly charged ions and their
applications in research and industry
Dr.-Külz-Ring 19, 01067 Dresden, Germany
Contact: Mrs. Birgit Monßen
Phone: +49-351-488-2439 / Fax: +49-351-488-2404
Email: wirtschaftsfoerderung@dresden.de
Contact: Mrs. Sabine Lettau-Tischel
Phone: +49-351-488-2729 / Fax: +49-351-488-2443
Email: slettau-tischel@dresden.de
Internet: www.dresden.de/business
BOOTH C-19/12
出展参加企業
EXHIBITOR / HALL 4
ドレスデン市経済局経済振興部
City of Dresden / City Department of Economic
Affairs / Economic Development Office
ドレスデンのナノテクノロジー ― ハイテク地域発の新アイディアが世界
中に広がっています。
研究環境の成熟したドレスデンのナノテクノロジーは、この数年でハイ
パフォーマンス産業部門へと成長を遂げました。ドイツ技術士協会の調
査によれば、ドイツ全体のナノテクノロジー企業500社のうち、80社に
も及ぶ企業がドレスデンに入植しています。これにより、ドレスデン地
域はドイツにおけるナノテクセクターの中心地となりました。ドレスデ
ンはまた、国際的にも主導的な役割を果たしています ― 当市の研究所は
世界最先端の技術力を誇り、地域内の研究者が集中的に共同研究を行っ
ています。こうして得られた成果が、すぐに世界中で利用されることに
なるのです。
ご質問等ございましたら、喜んでお答えいたします。
私共は以下のサービスを提供しております。
・ドレスデンへの投資に向けたワンステップエージェント
・立地拠点探しのアシスト
・地域の研究者および企業とのコンタクトの斡旋
Nanotechnology in Dresden – a high-technology region sparks new ideas
all over the world.
Over the last few years, nanotechnology in Dresden has developed into
a high-performing branch of industry with a well-developed research environment. According to a study by the Association of German Engineers,
as many as 80 companies, out of 500 in nanotechnology nationwide,
have settled in Dresden, making the region a centre for this sector in
Germany. Dresden also plays a leading role internationally: the city`s
research institutes are at the international forefront and intensive cooperation between researchers in the region sets the course for their results
quickly being put to use all over the world.
If you have any questions, we will be glade to help you.
Our services include:
• one-step-agency for investments in Dresden
• assistance in finding industrial real estates
• procurement of contacts with regional researchers and companies
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新進気鋭の科学者によるドイツ・
ザクセン最新ナ
ノテクノロジー・ハイライト
日時: 2008年2月14日
第4ホール、
シーズ& ニーズB
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プログラム:
14.00-14.05
モデレーターによる開会のご挨拶
ビルギット・モンセン、ドレスデン市経済振興課
14.05-14.25
講演「電子デバイスのための非破壊ナノ評価ロードマップ」
フラウンホーファー・ドレスデン非破壊評価研究所
Dr. ヘニング・ホイアー
14.25-15.45
講演「EUV リソグラフィー、X線分析のためのナノ精密コーティングの
アプリケーション」フラウンホーファー素材照射技術研究所 Dr. シュテ
ファン・ブラウン
14.45-15.05
講演「最新のスパタリング技術」
フラウンホーファー電子ビームプラズマ技術研究所 Dr.ダニエル・
グレス
15.05-15.25
講演「ドーピングレイヤーを使用した高効率有機デバイス」
ドレスデン工科大学応用光物理研究所原田健太郎
15.25-15.45
質疑応答
日英同時通訳をご用意いたしております。
SAXONY NANOTECHNOLOGY
SEMINAR – HIGHLIGHTS OF
GERMAN LATEST
NANOTECHNOLOGY IN SAXONY
PRESENTED BY YOUNG
AND SPIRITED SCIENTISTS
FEBRUARY 14 TH 2008
SEEDS & NEEDS B
HALL 4
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Program:
14.00-14.05
Welcome by the moderator Ms. Birgit Monssen, Head of Office, City
Department of Economic Affairs, Economic Development Office,
City of Dresden
14.05-14.25
Mr. Dr Henning Heuer, Fraunhofer Institute for non-destructive
Evaluation, “The Roadmap for Non-Destructive Nano Evaluation
(nanoEVA) for electronic devices”
14.25-14.45
Mr. Dr. Stefan Braun, Fraunhofer Institute for Material and Beam
Technology IWS, „Application of nanometer precision coatings for
EUV lithography and X-ray analytics“
14.45-15.05
Mr. Dr. Daniel Glöß Fraunhofer Institute for Electron Beam and Plasma
Technology (FEP) Dresden „The latest sputtering technology”
15.05-15.25
Mr. Kentaro Harada, TU Dresden, Institut für Angewandte Photophysik
IAPP „Highly efficient organic devices with doped layers“
15.25-15.45
Q&A
Japanese/English Simultaneous interpretation between English and
Japanese will be provided.
講演
LECTURES /
SEEDS & NEEDS B, FEB. 14 TH / 14.05
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フラウンホーファー非破壊評価研究所(IZFP)
非破壊ナノ評価センター(nanoeva®)
Fraunhofer Institute for Non-Destructive Testing
The Center for Non-destructive Nano Evaluation
(nanoeva ® )
Maria-Reiche-Strasse 2, 01109 Dresden, Germany
Contact: Mr. Dr. Henning Heuer
Phone: +49-3 51 - 8 88 15-524
Email: Henning.Heuer@izfp-d.fraunhofer.de
Internet: www.izfp-d.fraunhofer.de / www.nanoeva.net
ドレスデン・フラウンホーファー非破壊評価研究所(IZFP)の科学者と技
術者たちは、製品品質管理、および製造プロセスとプラント・コンポー
ネントのモニタリングに向けて、材料特性評価の革新的方法と評価シス
テムを開発しています。ドレスデンの研究班は、構造健全性モニタリン
グシステムの開発、マイクロナノ構造用の非破壊評価、センサシステム
の開発、および光診断法において高い専門能力を有しています。
集積回路技術は現在も急速に進歩しており、近い将来、そのテンポが鈍
ることはないでしょう。マイクロエレクトロニクス・デバイスは高集積
化と微細化を続け、I/O数は増加の一方です。エレクトロニクス実装も
この動向に適合していかねばなりません。この挑戦課題に対処するに
は、ナノスケールの制御が求められてきます。これらの新技術の発展と
ともに、新たなタイプのダメージプロセスと欠陥も生じてきました。こ
の欠陥の検出に必要なのが、新しい検査技術、新しい検査設備、そし
てナノスケールの効果に関する新知識です。ドレスデン・フラウンホー
ファーIZFP研究所とマイクロ技術製造センターCenter of Microtechnical
Manufacturing(ZμP)はこの課題解決に向けて、非破壊ナノ評価センタ
ー(nanoeva®)を設立しました。
Scientists and technicians at the Fraunhofer Institute for Non-Destructive
Testing (IZFP), Dresden branch, develop innovative methods and testing
systems to characterize materials, to control product quality and to
monitor manufacturing processes and plant components. The working
groups in Dresden possess special competencies for developing Systems
for Structural Health Monitoring, in NDE for Micro- and Nanostructures,
for developing Sensor Systems, and in Optical Diagnosis.
The development speed of integrated circuits is still very high and is not
expected to decrease in the next future. The integration density of microelectronic devices is increasing, the dimensions are getting smaller and the
number of I/O‘s is getting higher. Electronic packaging has to follow this
trend. To face these challenges it is necessary to control nanometer dimensions. New kinds of damage processes and defects are going hand in
hand with these new technologies. Detecting these defects requires new
inspection technologies, new inspection facilities, and new knowledge
about effects of nanometer dimension. Fraunhofer IZFP Dresden and the
Center of Microtechnical Manufacturing (ZµP) have established the Center for Non-Destructive Nano Evaluation (nanoeva ®) to solve these tasks.
SEEDS & NEEDS B, FEB. 14 TH / 14.25
Fraunhofer Institute for
Material and Beam Technology IWS
Winterbergstrasse 28, 01277 Dresden, Germany
Contact: Mr. Dr. rer. nat. Andreas Leson
Phone: +49-351-258-331-7 / Fax: +49-351-258-331-4
Email: andreas.leson@iws.fraunhofer.de
Internet: www.iws.fraunhofer.de
講演
LECTURES /
IWS ― フラウンホーファー素材照射技術研究所
講演表題: 精密ナノコーティングのEUVリソグラフィおよびX線分析へ
の応用 / 講演者: シュテファン・ブラウン博士
講演概要: IWSは15年来、20 nm以下の波長領域の光学製品と単色光分光
器で利用される精密ナノコーティングの開発、応用、特性評価に取り組
んできました。本事業の主要推進力のひとつは、集積回路のリソグラフ
ィです。この数年内に、照明プロセスの使用波長を193 nmから極端紫
外線 (EUV) の13.5 nmにまで変えて行かねばなりません。高いEUV透過
性を備えた材料は入手不可能なため、レンズの代わりにナノマルチレイ
ヤ・コーティングのミラーを光学システムに使用する必要があります。
本講演ではさらに、ナノマルチレイヤのX線分光器やシンクロトロン・
ビームライン、X線分析への応用をご紹介します。
Title of oral presentation: Application of nanometer precision coatings for
EUV lithography and X-ray analytics / Author: Mr. Dr. rer. nat. Stefan
Braun
Contents: Since more than 15 years IWS is dealing with the development,
application and characterization of nanometer precision coatings that are
used as optics and monochromators for wavelengths below 20 nm.
One of the main driving forces for these activities is the lithography of
integrated circuits. In a few years it is necessary to change the operation
wavelength used for the illumination process from 193 nm to the extreme
ultraviolet (EUV) at 13.5 nm. Since no materials with high EUV transmittances are available, mirrors coated with nanometer multilayers instead of
lenses have to be used in the optical system. Furthermore, applications of
nanometer multilayers in X-ray spectroscopy, synchrotron beamlines and
X-ray analytics will be presented.
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講演
LECTURES /
SEEDS & NEEDS B, FEB. 14 TH / 14.45
20
フラウンホーファー電子ビーム・
プラズマ技術研究所 (FEP)
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahlund Plasmatechnik (FEP)
Winterbergstraße 28, 01277 Dresden, Germany
Contact: Mr. Dr. Daniel Gloess
Phone: +49-351-2586-374/ Fax: +49-351-2586-553-74
Email: daniel.gloess@fep.fraunhofer.de
Internet: www.fep.fraunhofer.de
私共の研究目的は、産業プロセスにおける電子ビーム・プラズマ技術の
革新的な応用を開拓することです。先端技術によって、お客様に新しい
ビジネスチャンスが提供出来るよう専心しております。お客様のご要望
に合わせた対応能力と高度な産業適合性が私共の研究開発の特徴です。
革新的技術の開発ばかりでなく、生産に対する費用効率にも焦点を当て
ております。
電子ビーム技術、パルスマグネトロンスパッタリング、および高速プ
ラズマ活性化蒸着は、私共の研究の基礎となる専門技術のコア領域で
す。常に拡張を続けるこれらの技術は、革新的なビジネス分野へと応用
されています。このビジネス分野には、電子・プラズマを利用した真空
コーティング、および表面改質・処理が含まれています。膜層システ
ム、製品及び技術の開発のほかに主な分野として、生産性の高いより大
きな表面のコーティングと処理技術のスケールアップが挙げられます。
実行可能性調査、開発プログラム、キーコンポーネント生産、パイロッ
ト生産は、お客様およびパートナー企業に提供しております広範な領域
のほんの一部にすぎません。私共の活動は、国内外レベルのネットワー
クと協業に支えられています。
The aim of our work is to open up innovative applications of Electron
Beam and Plasma Technology in industrial processes. We are dedicated
to bringing new business opportunities to our customers through new
and novel technologies. Features of our research and development are its
customer-orientation and high relevance to industry. In carrying out this
work, not just the development of innovative technologies but also their
cost-efficiency for production are taken into account.
Electron beam technology, pulsed magnetron sputtering and plasma-activated high rate deposition are the core areas of expertise on which our
work is based. This expertise is constantly being expanded and utilized
in innovative business fields. The business fields include vacuum coating
and surface modification and treatment with electrons and plasmas. Besides developing layer systems, products and technologies, another main
area of work is the scale-up of the technologies for coating and treatment
of larger areas with high productivity.
Feasibility studies, development programs, production of key components
and pilot production are just a few of the extensive range of services on
offer to customers and partners. Our activities are aided by collaboration
in networks and alliances at both national and international levels.
SEEDS & NEEDS B, FEB. 14 TH / 15.05
Institut für Angewandte Photophysik
Technische Universität Dresden
George-Baehr-Strasse 1, 01062 Dresden, Germany
Contact: Mr. Prof. Dr. Karl Leo
Phone: +49-351-4633-438-9/ Fax: +49-351-4633-706-5
Email: karl.leo@iapp.de
Internet: www.iapp.de
講演
LECTURES /
ドレスデン工科大学応用光物理研究所
タイトル: ドーピングによる有機半導体デバイスの高効率化 / 講演者:
原田健太郎
内容: Institut fuer Angewandte Photophysik (IAPP: 応用光物理研究所)はド
レスデン工科大学の研究機関であり、有機分子の基本的物性および有機
ELや有機太陽電池等、オプトエレクトロニクス応用分野における広範な
経験をもとに研究活動をおこなっています。さらには時分割分光測定や
走査型プローブ顕微鏡をもちいた有機分子特性および分子線エピタキシ
ー薄膜の評価など、研究対象は多岐にわたっています。特筆すべき当研
究所独自の研究対象として分子ドーピングによる有機デバイスの高効率
化があげられます。この技術をベースとして作製された有機ELデバイス
は世界最高レベルの効率を達成しています。また実験による特性評価に
加え、各々の興味対象について理論計算による予測と実験結果の検証も
研究の一環としてなされています。本講演では有機半導体における多様
かつシステマティックなN型およびP型分子ドーピングの研究成果の一部
を紹介いたします。
Title of oral presentation: Highly efficient organic devices with doped
layers / Author: Mr. Kentaro Harada
Contents: The IAPP (Institut fuer Angewandte Photophysik) is an institute
within the Technische Universitaet Dresden with broad experience in the
investigation of physical properties of organic molecules, and their application in organic optoelectronic devices, as organic light-emitting diodes,
and organic solar cells. The topics span from the investigation of the molecular properties (using ultra-fast spectroscopy, scanning probe methods,
optical characterization in vacuum, etc.), over the study of molecular
epitaxy (in vacuum and from solution), to the preparation and electro-optical investigation of the above-mentioned optoelectronic devices.
Special focus is on electrical doping for efficient organic devices, using
novel molecular dopants. Using this technique, the institute has realized
several world records in OLED efficiency. In addition to the experimental
work, each of the topics is supported by theoretical calculations. We
briefly discuss results of a comprehensive study of controlled n- and ptype doping of various molecular organic materials.
21
受付にて
INFORMATION AT THE COUNTER
22
アスメック・アドヴァンスド・
サーフェイス・メカニクス社
ASMEC Advanced Surface
Mechanics GmbH
Bautzner Landstrasse 45, 01454 Radeberg, Germany
Contact: Mr. Herbert Friedrich
Phone: +49-351-2695-348 / Fax: +49-351-2695-346
Email: h.friedrich@asmec.de
Internet: www.asmec.de
アスメック社は、2003年にトーマス・フドーバ博士によりケムニッツ
工科大学物理学研究所のスピンオフとして設立されました。当社では、
ソフト・ハードウエア、計測および最適化サービスの開発から供給ま
で、数マイクロメータから数ナノメータ領域の表面力学に係る全ての
サービスを、ワンストップで行います。ナノテスターのハイエンド機器
UNATにより、垂直力、水平力および変位を高精度で生成、測定できま
す。固形材料の種類を問わずインデンターによってダイヤモンドチップ
の交換が簡単にできることから、摩擦学を応用したオリジナル材料の接
触検査を最高の精度で実施できます。二つの計測ヘッドを組み合わせる
ことで、UNARは硬度・磨耗・微小張力・疲労テスター、および表面形
状測定装置としての利用が可能です。原子間力顕微鏡や白色光共焦点顕
微鏡との組合せなど、多くの利用可能性を有します。
また、当社は、走査型電子顕微鏡(SEM)において真空条件下で操作する
商業用ナノインデンターを提供しています。
ASMEC was established in 2003 by Dr. Thomas Chudoba as a spin-off
from the institute of physics of the Technical University of Chemnitz.
ASMEC offers the full range from one source - Development and supply
of software, hardware and measurement- as well as optimisation services,
which have a relation to surface mechanics in the range from some micrometer down to a few nanometer. The Universal Nanomechanical Tester
UNAT is a high end instrument and generates and measures normal and
lateral forces and displacements with great precision. The easy replacement of the diamond tips by indenters of any solid material allows the
investigation of the original material contact in a tribological application
with so far unrivalled accuracy. Due to the combination of both measuring heads, UNAT is used as hardness, wear, scratch, micro tensile and
fatigue tester, as well as profilometer. A lot of additional modules are available like atomic force microscope or white light confocal microscope.
ASMEC offers the only commercial Nanoindenter for the operation under
the vacuum condition in a scanning electron microscope (SEM).
Fraunhofer Institute of Ceramic
Technologies and Systems
Winterbergstr. 28, 01277 Dresden, Germany
Contact: Mr. Prof. Dr. Volkmar Richter
Phone: +49-351-2553-614 / Fax: +49-351-2554-180
Email: volkmar.richter@ikts.fraunhofer.de
Internet: www.ikts.fraunhofer.de
受付にて
INFORMATION AT THE COUNTER
IKTS ― フラウンホーファー・
セラミック技術・システム研究所
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IKTSフラウンホーファー研究所の活動は、高性能構造・機能セラミッ
ク、サーメット、超硬合金の材料とパーツ開発、同材料を生産するため
の産業向け粉末冶金技術、および革新的な複合システムに重点を置いた
プロトタイプ・コンポーネントの製造に焦点が当てられています。研究
所のR&D製品の応用領域として、マイクロエレクロニクス/マイクロシス
テム技術、機械エンジニアリング、自動車製造、工具製作、航空宇宙産
業、輸送、エネルギー、冶金、計測技術、医療、および革新的な水環境
技術が挙げられます。目下のところ、ナノスケールWCセラミック等の超
硬質・耐磨耗工具材料、超硬物質の常圧焼結法、透過性sub-μm焼結コ
ランダム(αAl2O3)、バイオセラミック、適用軽量構造物向けのセンサ・ア
クチュエータモジュール、燃料電池、およびナノ技術分野におけるリス
ク評価法の開発に取り組んでおります。
The activities of the Fraunhofer IKTS are focussed on the development
of high performance structural and functional ceramics, cermets and
hardmetals materials and parts, on the development of industrial powder
metallurgical technologies in order to produce these materials and on the
manufacturing of prototypical components with emphasis on innovative
complex systems. The R&D products of the institute find applications
in the field of microelectronics/microsystems technology, mechanical
engineering, car manufacturing, toolmaking, aerospace and astronautics, transport, energy, metallurgy, measuring technology, medicine and
innovative water and environmental technologies. Actual developments
include extremely hard and wear-resistant tool materials like nanoscaled
WC ceramics, pressure-less sintering of ultra-hard materials, transparent
sub-µm sintered corundum (αAl2O3), bio-ceramics, sensor/actor modules
for adaptive light-weight constructions, fuel cells and the development of
risk assessment methods in the fields of nanotechnology.
ザクセン州データ
面積: 18,414平方km
人口: 4,242,503人
最大都市: ライプツィッヒ
(住民507,095人)
州都: ドレスデン
(住民506,337人)
経済データ(2006年)
GDP: 887億ユーロ
GDP成長率: +4.0% / 産業
売上高: +13.6% (ドイツ全州
の中で最も高い!)
輸出率: 34%
インフラデータ
道路網: 13,799 km
その内、高速道路: 644 km
鉄道網: 2,580 km
国際空港: 2
(ライプツィッヒ、ドレスデン)
エルベ川の港: 3
研究機関
総合大学: 7
工科大学、
芸術大学、職業訓練校: 26
フラウンホーファー研究所: 14
マックスプランク研究所: 6
ライプニッツ研究所: 7
ベルリン
Berlin
ライプツィッヒ
Leipzig
ドレスデン
Dresden
ポーランド
Poland
ケムニッツ
Chemnitz
ドイツ
GERMANY
チェコ共和国
Czech Republik
ミュンヒェン
Munich
スイス Switzerland
オーストリア
Austria

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