A p p l i c a t i o n S y s t e m s 反射率測定装置 干渉計 アプリケーション システム WEB http://www.sigma-koki.com/ E-mail sales@sigma-koki.com SGRM-200 微小領域、局率面の分光反射率測定を実現します。 局率を持ったレンズや機能性シートなどの極薄試料も裏面反射光の影響を受けずに高速、高精度な分光反射率測定が 可能です。 光学素子 ホルダー 光源 ベース 手動ステージ アクチュエータ 自動ステージ 索引 バイオフォトニクス 検査/観察系 測定 光通信系 レーザ加工 ◦特殊ハーフミラーにより試料からの反射光を効率良く分光器に取り 込み、低反射試料でも短時間測定が可能となりました。 ◦特殊ハーフミラーで裏面からの反射を阻止していますので、 試料裏面 の処理無しで正確な測定が可能です。 ◦512素子のリニアPDA、 16bit A/Dコンバータ内蔵、 USB2.0インター フェイスで高速演算。 ◦ファイバからスリッ トへの集光系とアライメント機構により光量の利用率 を最大限に高めており、 スピーディで再現性の高い測定ができます。 ◦試料面の微小領域 (φ50μm) を測定するため、 レンズ曲面及びコー ティングむらも測定可能です。 ◦Excel形式でのデータ保存が可能です。 ◦同一画面上に複数の測定結果の表示 (重ね書き) が可能ですので、 測定結果の比較が容易です。 仕様 品番 4,500,000 測定波長 360〜800nm 試料側N.A 試料の測定範囲 試料の曲率半径 測定再現性 表示分解能 測定時間 外径寸法 (本体) 使用温度範囲 使用湿度 納期の目安 反射率グラフイメージ B026 SGRM-200 価格 〔¥〕 0.13 (10×対物レンズ使用時) 約φ50μm (10×対物レンズ使用時) -2R〜−∞、 +2R〜∞ ±0.1% (360〜450nm) ±0.01%(450〜750nm) ±0.1% (750〜800nm) 1nm 数秒 (サンプリング時間による) (W) 230× (H) 530× (D) 460mm 18〜28℃ 60%以下 (結露なきこと) TOKYO TEL.03-5638-6551 FAX.03-5638-6550 OSAKA TEL.06-6307-4835 FAX.06-6307-4834 KYUSHU TEL.092-481-4300 FAX.092-481-4310 カタログ コード W2019 干渉計 対物レンズ 1.25倍対物レンズ PLAPON1.25× 標準白色板 10倍対物レンズ UPLFLN10× 波長校正板 アプリケーション システム 光学素子 20倍対物レンズ UPLFLN20× ホルダー 光源 WS-3 ※色の測定時の基準 測定範囲:φ400μm 測定範囲:φ50μm 薄板:0.4mm 測定範囲:φ25μm 薄板:0.3mm V-30 ※キャリブレーションデータ付 分光器 ベース 手動ステージ ①標準仕様 :波長360 ~ 800nm 200万画素 USBカメラ ②赤外仕様 :波長370 ~ 960nm ③近紫外仕様:波長330 ~ 800nm アクチュエータ 自動ステージ (参考) 検査用自動XYステージ SKDCE-3 索引 B022 バイオフォトニクス W.D.=10mm スーパーCマウント ズームアダプター 検査/観察系 サンプルの厚み t≦20mm 測定 NY-CZ (×0.35〜×0.7) 保守部品 ハロゲンランプ(10個パック) SGRM-200-64607(OSRM) ¥45,000 低反射率リファレンス板 SGRM-G03-09001A OFB-25C05 (裏面砂掛け) 光通信系 レーザ加工 コントローラ 高反射率リファレンス板 TFAN-25C05-1-Rdata (規格品の測定データ付) ※330~1100nm、入射角5° 、 1nm刻み電子データ付 2軸ステージコントローラ SHOT-302GS Ⅰ095 反射率計測ソフトウエア ◦薄型ターゲットの高精度測定 (ソフト+ハード) ◦測定データの重ね書き (MAX64回) ◦自動ステージとの連動機能標準組込 ◦カメラ連動ソフト組込 ◦エクセルシートへのデータ落とし込み機能 ◦合否判定機能組込 (波長1nm毎に判定基準設定可能) ◦膜厚測定機能追加 2軸ステージコントローラ GSC-02 + ジョイスティックターミナル SJT-02 Ⅰ092、 Ⅰ097 B027
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