NC工作機械向け リニアエンコーダ 2014.7 製品の詳しい情報は、弊社へお問い合わせく ださい。 製品カタログ: • オープンタイプリニアエンコーダ • ベアリング内蔵角度エンコーダ • ベアリングを内蔵しない角度エンコーダ • ロータリエンコーダ • インターフェースユニット • 工作機械精度評価用計測システム 技術情報: • ハイデンハインエンコーダのインターフェース • 送り軸の精度 • 安全対応の位置計測システム • EnDat2.2-位置エンコーダのための双方向 通信 • DDモータ用エンコーダ このカタログの発行により、前版カタログとの 差替えをお願いいたします。 ハイデンハインへの注文は契約時の最新カ タログを御覧ください。 ISO、IEC、ENなどの規格はカタログに明記 されているものに限ります。 2 各インターフェースおよび電気的仕様に関し ての詳しい説明が、カタログ ハイデンハインエンコーダのインターフェース に記載されています。 目次 概要 リニアエンコーダ 4 選択の手引き 6 技術的特徴と取付け情報 スケール本体 8 アブソリュート測定方式 8 インクリメンタル測定方式 9 光電走査 10 測定精度 12 シリーズ別エンコーダの取付け 14 機械的仕様 18 測定の原理 仕様 リニアエンコーダ シリーズもしくは型式 アブソリュート位置測定用 LC 400 シリーズ 20 LC 100 シリーズ 24 長い測定長での アブソリュート位置測定用 LC 200 シリーズ 28 非常に高い繰り返し精度の インクリメンタル測定用 LF 485 30 LF 185 32 LS 400 シリーズ 34 LS 100 シリーズ 36 LB 382 - シングルセクション 38 LB 382 - マルチセクション 40 インクリメンタル測定用 長い測定長でのインクリメンタル測定用 電気的接続 » 1 VPP 42 TTL 43 EnDat 44 ファナック、三菱、シーメンス 45 ケーブルと接続部品 47 診断・検査機器 52 インターフェースユニット 54 インクリメンタル信号 位置値 3 NC工作機械向けリニアエンコーダ NC工作機械用のハイデンハイン製リニアエン コーダは、様々な環境でお使いいただけます。 このエンコーダは、フライス盤、マシニングセ ンタ、ボール盤、旋盤、研削盤のようなサー ボループの軸を持つ工作機械や装置に最適 です。 リニアエンコーダの動特性、高い許容走査速 度、測定方向への加速は、リニアモータや高 い動特性のボールネジ駆動軸での使用に適 しています。 ハイデンハインでは、下記のアプリケーション向 けのリニアエンコーダも用意しております。 • マニュアル操作の工作機械 • プレス及び曲げ加工機 • 自動制御及び製造機器 詳細については、弊社へお問い合わせください。 4 リニアエンコーダの長所 リニアエンコーダは、機械に直接取付けて直 線軸の位置を測定します。リニアエンコーダで 位置制御をする制御ループには、送り機械全 体も含まれています。機械から生じる移動誤 差は、リニアエンコーダによって検出され、制 御装置によって訂正できます。これにより、次 のように考えられる多くの誤差原因を除去す ることができます。 • ボールネジの熱膨張による位置決め誤差 • 方向反転誤差 • ボールネジのピッチ誤差による動的誤差 このように、リニアエンコーダは高精度位置決 めと高速加工の要求を満たす機械に必要不 可欠と言えます。 機械的デザイン NC工作機械向けリニアエンコーダは、シール ドタイプのエンコーダです。アルミニウム製のハ ウジングがスケール、走査キャリッジ、ガイドを 切粉、ダスト、切削液から保護します。下向き に配置された弾力性のあるシーリングリップ が、ハウジングの開口部をふさいでいます。 走査キャリッジは、スケールユニット内ではほ とんど摩擦なく移動します。カップリングが、走 査キャリッジを外部の取付けブロックと連結し、 スケールとマシンガイドの間での避けれないミ スアライメントを補正する働きをします。 スケールと取付けブロック間の側面と軸方向 の許容オフセットは、エンコーダのタイプに応じ て±0.2mmから±0.3mmまでです。 通常、リニアエンコーダの熱特性は、工作物や 測定物の熱特性と一致するものが選択されま す。温度変化があった際には、リニアエンコー ダは定められた再現性の通りに伸縮しなけれ ばなりません。ハイデンハインのリニアエンコー ダはこのように設計されています。 ハイデンハインリニアエンコーダの目盛スケー ルは、製品により熱膨張係数が異なります。 (仕様をご参照ください) このためアプリケーションに最適な熱特性を持 つリニアエンコーダを選択することができます。 動特性 機械の効率と性能を常に上げていくためには、 送り速度と加速度を常に高めることが必要で すが、同時に機械の精度も高いレベルに保た なくてはなりません。速くしかも正確な送り動作 をするためには、使用されるリニアエンコーダ はもちろん、厳密な機械設計も非常に重要に なります。 ハイデンハイン製のリニアエンコーダの特質 は、測定方向における高い剛性にあります。こ れは工作機械が高い経路精度を保つための 必須条件です。さらに、可動部分の質量が小 さく設計されていることも、すぐれた動特性を 実現するための要因となっています。 走査キャリッジ アベイラビリティ 工作機械の軸はとても長い距離を動きます。 (一般的な値は、3年間で10 000km) したがって、エンコーダは丈夫で長期にわたっ て安定性を持つことが重要です。それにより、 機械の一定のアベイラビリティが保証されるか らです。 ハイデンハインのリニアエンコーダには、長年ご 使用になられても適切な動作をするような設 計が細部に施されています。非接触でスケー ル本体を光電走査する測定原理と、スケール ハウジング内にある走査キャリッジのボールベ アリング･ガイドにより、製品寿命を伸ばすこと が可能です。この密閉性、特有の走査原理、 そして必要に応じて圧縮空気を注入すること で、リニアエンコーダは汚れに強くなります。完 全なシールドの設計は、高精度な電気的ノイ ズ耐性をお約束します。 DIADUR スケール 光源 受光素子 シーリングリップ 取付けブロック シールドタイプリニアエンコーダLC 115の概略図 5 概要 熱特性 周囲が囲われた環境で、迅速な機械加工を おこなう場合、機械の作動している内部では温 度が常に上昇することになります。そのため、 使用するリニアエンコーダの熱特性は、機械の 加工精度を決める重要な要素となります。 選択の手引き 小型ハウジングのリニアエンコーダ 小型スケールハウジングのリニアエンコーダ は、狭い取付けスペースに適した設計になっ ています。マウンティングスパーやクランプを使 用して取付けた場合、より測定長の長いものが 利用でき、許容加速度も高くなります。 標準型ハウジングのリニアエンコーダ 精度等級 測定長 ML アブソリュート位置値測定 • ガラススケール ± 5 µm ± 3 µm 70 mm ～ 1 240 mm シングル マウンティングスパー フィールド またはクランプ付: 走査方式 70 mm ～ 2 040 mm 高い繰り返し精度用のイン クリメンタル・リニア測定 • スチールスケール • 信号周期が小さい ± 5 µm ± 3 µm 50 mm ～ 1 220 mm インクリメンタル・リニア測定 • ガラススケール ± 5 µm ± 3 µm 70 mm ～ 1 240 mm シングル マウンティングスパー フィールド またはクランプ付: 走査方式 70 mm ～ 2 040 mm アブソリュート位置値測定 • ガラススケール ± 5 µm ± 3 µm 140 mm ～ 4 240 mm シングル フィールド 走査方式 長尺用 アブソリュート位置値測定 ± 5 µm 3 240 mm ～ 28 040 mm シングル フィールド 走査方式 高い繰り返し精度用の インクリメンタル・リニア測定 • スチールスケール • 信号周期が小さい ± 3 µm ± 2 µm 140 mm ～ 3 040 mm シングル フィールド 走査方式 インクリメンタル・リニア測定 • ガラススケール ± 5 µm ± 3 µm 140 mm ～ 3 040 mm シングル フィールド 走査方式 長尺用 インクリメンタル・リニア測定 ± 5 µm 440 mm ～ 30 040 mm 断面 測定原理 シングル フィールド 走査方式 標準型スケールハウジングのリニアエンコー ダは、堅牢性と高耐振性、長尺測定を特徴と しています。走査キャリッジと取付けブロックの 連結部は斜めになっているため、シーリングリッ プ部分が垂直下方向へ向けられるよう設計さ れており、ハウジングの取付けが縦位置でも横 位置でも同じ保護等級を満たします。 • スチールスケールテープ • スチールスケールテープ 6 シングル フィールド 測定長がこれ以上の場合 走査方式 はお問合せください （ただし、最長72040mm) インターフェース 信号周期 型式 ページ EnDat 2.2 – LC 415 20 EnDat 2.2 » 1 VPP 付き 20 µm LC 485 ファナック Þiインタフェース – LC 495 F 三菱 LC 495 M DRIVE-CLiQ LC 495 S LC 415 22 » 1 VPP 4 µm LF 485 30 » 1 VPP 20 µm LS 487 34 TTL ～ 1 µm LS 477 EnDat 2.2 – LC 115 EnDat 2.2 » 1 VPP 付き 20 µm LC 185 ファナック Þiインタフェース – LC 195 F 三菱 LC 195 M DRIVE-CLiQ LC 195 S EnDat 2.2 – LC 211 EnDat 2.2 » 1 VPP 付き 40 µm LC 281 ファナック Þiインタフェース – LC 291 F LF 485 LS 487 24 LC 115 26 28 LF 185 LC 291 M 三菱 » 1 VPP 4 µm LF 185 32 » 1 VPP 20 µm LS 187 36 TTL ～ 1 µm LS 177 » 1 VPP 40 µm LB 382 LC 211 38 7 測定の原理 スケール本体 ハイデンハインエンコーダは光学走査方式を 採用しており、格子構造で形成される目盛を スケール本体に使用しています。 これらの目盛は、ガラスまたはスチール上に精 密に形成されます。長尺測定用のスケールに は、スチールが使われています。 ハイデンハインは特別に開発された各種フォト リソグラフィー製法により精密目盛を製造して います。 • AURODUR: 金メッキされたスチールテープ表面のつや 消しエッチングライン （目盛周期:通常40 µm） • METALLUR: 金メッキされたスチールテープ表面上の耐 環境性に優れたメタルライン目盛 （目盛周期:通常20 µm） • DIADUR: ガラス表面上の極めて頑強なクロムライン （目盛周期:通常20 µm） もしくはガラス表面上の三次元クロム構造 (目盛周期:通常8 µm) • SUPRADUR 位相格子目盛: 光学的に三次元、かつ平面構造を持ち、特 に耐環境性に優れている (目盛周期:通常8µm以下) • OPTODUR 位相格子目盛: 光学的に三次元、かつ平面構造を持ち、特 に高い反射率を有している (目盛周期:通常2µm以下) アブソリュート測定方式 アブソリュート測定方式では、電源をONする とすぐにエンコーダからの位置情報を入手で き、また後続電子部によって随時呼び出すこ とが可能です。原点位置を探すために軸を移 動させる必要はありません。そのアブソリュート 位置値情報は、連続したアブソリュートコード構 造として形成されたスケール目盛から読まれ ます。独立したインクリメンタルトラックは、位置 値用に補間されると同時に、有効なインクリメ ンタル信号を発生させるために使用されます。 これらの工程は、精巧かつ均一に極めて細い 格子間隔を形成することができます。これらの 格子は鮮明なエッジを形成しています。光電 走査方式とともにこの鮮明なエッジが高い品質 の出力信号を得る条件となります。 ハイデンハインは、独自の技術によりマスター 目盛を製作しています。 アブソリュートリニアエンコーダの目盛 補助的インクリメンタルトラック付きアブソリュートコード構造 (例:LC 485) 8 インクリメンタル測定方式 このように絶対的な基準を確立するためには、 原点を走査する必要があります。 ある状況においては、原点を見つけるために、 測定長全長を通過させる必要があります。そ のような「原点復帰」を迅速に、かつ容易に行 うために、多くのエンコーダでは、絶対番地化 原点（数学的アルゴリズムに従って個々に間 隔を設けた多重原点）を用意しています。隣 接する2 つの原点を通過、すなわち数ミリの移 動のみで、後続電子機器では絶対的な基準 点を見つけることができます。(下表参照) 絶対番地化原点付きリニアエンコーダは、型 式名の後に「C」を付けています。 (例:LS 487C) 技術的特徴と取付け情報 インクリメンタル測定方式では、目盛は周期 的な構造になっています。位置情報は、個々 の基点からの増加量（測定ピッチ数）をカウン トすることによって得られます。ただし、測定上 の絶対位置を確立するためには、絶対的とな る基準が必要となります。 その絶対的な基準を確立するため、スケール またはスケールテープには、原点を備えた補 助トラックが設けられています。絶対位置を確 立することのできる原点は、正確に1信号周期 分に同期するよう作られています。 絶対番地化原点を使用する場合、2原点間の 信号周期数をカウントし、次式を使うことによっ て絶対的な基準点値が算出されます。 P1 = (abs B–sgn B–1) x N + (sgn B–sgn D) x abs MRR 2 2 そこで、 B = 2 x MRR–N ここで、 P1 = 通過した最初の原点の位置 （信号周期で表記） N = 2つの固定原点間の公称増分 (信号周期で表記;下表参照) abs = アブソリュート値 D = 移動方向 (+1 または –1)。 走査ユニットの右への移動 (正しく取 付けられた時) は+1と等しい。 sgn = サイン関数 (“+1” または “–1”) MRR = 通過した原点間の信号周期の数 インクリメンタルリニアエンコーダの目盛 信号周期 信号周期間の公称 増分 N 最大移動距離 LF 4 µm 5 000 20 mm LS 20 µm 1 000 20 mm LB 40 µm 2 000 80 mm 絶対番地化原点付きインクリメンタル目盛 (例:LS) 9 光電走査 ほとんどのハイデンハインのエンコーダでは、光 電走査方式を使用しています。スケール本体 への光電走査は非接触で摩耗がありません。 光電走査では、数µm幅の極めて細い目盛で も信号検出が行えるよう設計されており、非常 に小さい信号周期の出力信号を生成します。 スケール本体の格子間隔が微細であるほど、 光の回折は大きくなります。ハイデンハインで は、この回折の有無により、二種類の走査方 式を使用しています。 • 投影走査方式 (格子間隔20～40µmに適用) • 干渉走査方式 (例えば、格子間隔8µm以下の微細目盛に 適用) 投影走査方式 投影走査方式は、格子間隔の等しい2つの目 盛格子(スケールと走査レチクル)を相対的に 移動させながら光を投射し、投影走査方式 は、格子間隔の等しい2つの目盛格子(スケー ルと走査レチクル)を相対的に移動させながら 光を投射し、発生する投影光を信号とする方 式です。走査レチクル側の目盛は、透明な材 質上に付けられますが、ディスク側の目盛は 透明材質（透過型）か、反射材質上（反射型） に付けられます。 平行な光が格子を通過すると、特定の間隔に 置かれている相手格子に、明るい面と暗い面 が投影されます。2つの格子が互いに相対移 動すると、入射光は変調されます。目盛の無 い部分が揃うと、光は通過します。一方の格子 の目盛が他方の目盛の無い部分に一致すると 光は通過しません。投影光を受ける複数の受 光素子はこれら光の強さの変化を、電気信号 （出力信号）に変換します。走査レチクルの格 子は、出力信号が正弦波波形となるように作 られています。 格子構造の格子間隔が細かいほど、走査レチ クルとスケール間の距離は狭くなり、公差も厳 しくなります。 リニアエンコーダLC、LS、LBは、投影走査方 式に基づいて動作しています。 投影走査方式 LED光源 コンデンサレンズ 走査レチクル スケール本体 受光素子 10 干渉走査方式 干渉走査方式では、細かい目盛に当たる光の 回折と干渉を利用して移動を測定する信号を 作り出します。 スケール本体には高さ0.2µmの段状の格子が 平坦な面に施されています。 走査レチクル（スケールと同じ格子間隔を持つ 透明な位相格子）は、そのスケール本体の正 面にあります。 光が走査レチクルを通過すると、ほぼ同等の 光度を持つ反射回折次数-1、0、+1の3つの 部分波に回折されます。その部分波はさらに スケールにより回折され、反射回折次数+1 と–1として検出されます。これらの部分波は再 び走査レチクルの位相格子で回折干渉し、3 つの位相差がある波が作られます。 これらは異なる角度で走査レチクルを透過し、 受光素子がこれら光の強さの変化を電気信号 に変換します。 スケールと走査レチクルの相対移動によって、 回折された部分波の移動が得られます格子 が1間隔分移動すると、次数1の波は1波長 分、正方向に移動し、次数–1の波は1波長 分、負方向に移動します。2つの波は、格子を 出る時に互いに干渉するので、相対的に波長 2つ分位相シフトすることになります。 この結果、1格子間隔分の相対移動から結果 的に2信号周期分の位相シフトが生じることに なります。 干渉走査方式は、格子間隔が8 µm、4 µm、 それより微細のエンコーダに採用されていま す。その走査信号は基本波以外の調波をほと んど含まないため、高倍率で補間できます。そ のため、これらのエンコーダは、高分解能およ び高精度の要求を満たすことができます。 干渉走査方式に従って動作するシールドタイ プリニアエンコーダはLFという名称が与えられ ています。 干渉走査方式（光学概念図） C 格子間隔 ψ 走査レチクルを通過する時の光波の位相シフト スケールの移動Xによる光波の位相シフト 受光素子 LED光源 コンデンサレンズ 走査レチクル スケール本体 11 測定精度 測定長ML全体にわたっての位置誤差a 位置誤差 長さ測定の精度は、主に次の要因により決定 されます。 • 目盛の質 • 走査の質 • 信号処理回路の質 • 走査ユニットが移動するマシンガイド面から の誤差 比較的長い移動距離（例えば測定長全体）に わたる位置誤差と1信号周期内の位置誤差と は区別されます。 1信号周期内の 位置誤差 測定範囲にわたる位置誤差 シールドタイプリニアエンコーダの精度は、 精度等級として規定され、次のように定義され ます。 測定長の任意区間（最長1m）において、測定 グラフの位置誤差の最大値Fは、精度等級±a の範囲内にあります。この値(F)は、最終検査 で確認され、精度表上に記載されます。 位置誤差 位置 シールドタイプリニアエンコーダの場合、 この値(F)は走査ユニットを含むエンコーダシス テム全体に当てはまり、これをシステム精度と 呼びます。 LF 4 µm ± 0.04 µm LC 100 LC 400 20 µm ± 0.1 µm LC 200 40 µm ± 0.4 µm LS 20 µm ± 0.2 µm LB 40 µm ± 0.8 µm 信号周期 360 °elec. 位置誤差[µm] 走査信号の信号周期 1信号周期内の最大位置誤差u 信号レベル 1信号周期内の位置誤差 1信号周期内の位置誤差は、エンコーダの信 号周期と、目盛および走査の質によって決定 されます。どの測定位置においても、その値 は、通常、信号周期の±0.5%から±2%の間と なります。（下表を参照ください）信号周期が細 かければ、1信号周期内の位置誤差は小さく なります。これらは等速制御や低速制御の 際、極めて重要な要素となり、加工表面や加 工部品の品質に大きく影響します。 1信号周期内の位置誤差 u 位置 [mm] LFシリーズの1信号周期内の位置誤差（測定長70mm) 12 すべてのハイデンハイン製リニアエンコーダ は、出荷前に位置決め精度と機能が検査さ れます。 位置誤差は両方向に走査して測定され、平均 の曲線が精度表に示されます。 製造者発行検査証明書に各エンコーダのシス テム精度が記載されています。検定標準は、 公認の(ドイツ)国内規格または国際規格に合 致するトレーサビリティ(ISO 9001に準拠)が確 保されていることを保証するものです。 カタログに記載しているLC、LF、LSの各シリー ズについては、精度表に測定長全体にて確認 した位置誤差だけでなく、各測定パラメータや 校正時の不確定性も記載されます。 温度範囲 リニアエンコーダの検定は、20℃の基準温 度において行われます。校正証明書に記載 のシステム精度は、この温度において定めた ものです。 使用温度範囲は、リニアエンコーダが正しく機 能する周囲温度範囲を表します。 保存温度範囲–20 °C ～ +70 °Cは、梱包状 態の製品に該当します。測定長3 240 mm以 上に関しては、LC 1x5の許容保存温度範囲 は –10 °C ～ 50 °Cに制限されます。 例 13 シリーズ別エンコーダの取付け 小型ハウジングのリニアエンコーダ 小型ハウジングタイプのLC、LF、LSシリーズ は、特に激しい動きが要求される場合には、そ の全長にわたって機械表面に取付けなければ なりません。マウンティングスパーやクランプ （LC 4x5のみ）を使用して取付けた場合、より 測定長の長いものが利用でき、さらに高い振 動負荷が可能になります。 小型ハウジングのリニアエンコーダは、全て取 付け寸法が同じという特長があります。このた め、例えば、インクリメンタルエンコーダのLSもし くはLFをアブソリュートエンコーダLCに置換える ことも可能になります。 （ただし、LFはLC/LSより測定長が20mm短くな ることにご注意ください。) さらに、LC、LF、LSは、共通のマウンティングス パーを使用することも可能です。 LF 485 LC 415 LS 487 エンコーダは、シーリングリップが下方向きにな るか、あるいは飛散水から避けるように取付け てください。 （機械的仕様の項をご参照ください） 熱特性 リニアエンコーダは、2個のM8ねじを使ってしっ かりと固定されるので、それ自体で取付け表面 に充分適応できます。マウンティングスパーを 使って取付ける場合、エンコーダは、取付け面 へ中心点で固定されます。中心固定点以外 の固定点は熱膨張による伸縮を吸収する構 造となっており、熱特性を確実に再現可能にし ます。 スチールのベースに目盛を付けたLF 485の熱 膨張係数は、鋳鉄またはスチールの取付け表 面と同じ数値です。 取付け ハイデンハインのシールドリニアエンコーダの取 付けはとても簡単です。したがって、あとはス ケールユニットを数箇所でマシンガイド面にあ わせるだけ取付けが完了します。スケールを 合わせるのに固定面または固定ピンを使用す ることもできます。スケールユニットと走査ユニッ トの間のギャップと側面の公差は、あらかじめ輸 送安全具によって適切に設定されています。ス ペースが不足していて輸送安全具を取付け前 に取り外さなければならない場合には、取付け ゲージによってスケールユニットと走査ユニット の間のギャップを簡単で正確に設定できます。 側面の公差も確実に保ってください。 14 .1 // 0 F 輸送安全具 アクセサリ(別売): 小型ハウジングタイプリニアエンコーダ用 取付けおよびテストゲージ 取付けゲージは、輸送安全具を取付け前に 取り外さなければならない場合に、スケールユ ニットと走査ユニットの間のギャップを設定する ために使用します。テストゲージは、取付け たリニアエンコーダのギャップを素早く簡単に チェックすることができます。 x 色 ID 取付けゲージ 1.0 mm 灰 737748-01 最大テストゲージ 1.3 mm 赤 737748-02 最小テストゲージ 0.7 mm 青 737748-03 2個のM8ねじを使用してスケールユニットを平 面に取付ける標準的な方法の他にも、取付け 方法があります。 マウンティングスパーを使用した取付け マウンティングスパーの使用は、エンコーダの 取付け時に非常に有効です。組付け時、マウ ンティングスパーは機械の構成部品のように 取付けることができるので、スケール自体は最 終組付け時にクランプするだけで済みます。し たがって、客先工程内での修理の際にも、簡 単に交換できます。620 mm以上の測定長で 激しい動きをするアプリケーションには、マウン ティングスパーの使用をお勧めします。測定長 が1 240 mm以上の場合には、マウンティング スパーが常に必要になります。 x マウンティングスパー マウンティングスパーMSL 41には、固定に 必要な部品が含まれています。標準エンドブ ロック、短エンドブロック付、両方のエンコーダ に対応しています。LC 4x5、LF 4x5 そして LS 4x7は、エンコーダの表裏どちらの面も取 付けることができるため、ケーブル方向も左 右両方向に向けることができます。マウンティ ングスパーMSL 41は、別売品です。 取付け補助具をマウンティングスパーに固 定することにより、最適な走査ユニットの取付 け状態を模擬することが可能です。この補助 具に従って調整することにより、簡単に走査 ユニットを取付け面に合わせることができま す。調整後、この取付け補助具を取外し、エ ンコーダ本体を取付けてください。 アクセサリ(別売): マウンティングスパー MSL 41 ID 770902-xx 走査ユニット用取付け補助具 ID 753853-01 クランプを使用した取付け LC 4x5のスケールユニットの固定はスケール 両端で行います。さらに、このスケールユニット は、取付け面にクランプで固定することができ ます。これにより測定長1240 mm以上におい て、マウンティングスパーなしでのエンコーダ取 付けや測定長中央での固定（ML620mm以 上で激しい動きをするアプリケーションに推奨） を簡単かつ確実に行うことができます。 マウンティングスパーに固定されている取付け補助具 アクセサリ(別売): クランプ ピンおよびM5x10ねじ付き ID 556975-01 (10セット入り) 15 標準型ハウジングのリニアエンコーダ 標準型ハウジングタイプのリニアエンコーダ LB、LC、LF、LSは、その全長にわたってマシン 表面に取付けられます。これにより、高い耐振 動性が得られます。シーリングリップを斜めに配 置することにより、縦位置でも横位置でも同じ保 護等級で自由自在の取付けが可能です。 LC 1x5はシーリングリップを2重にして最適化し たシーリングシステムを特徴としています。きれ いな圧縮空気をハウジングに導入すると、2組 のシーリングリップを効果的に外気から遮断し ます。これによりエンコーダ内部を汚れから最 適に保護します。 LC 1x5のシーリングシステム スロットル付エアニップルにより流量を設定でき ます。（18ページの保護等級に記載の別売ア クセサリを参照してください） 熱特性 標準型ハウジングタイプのリニアエンコーダ LB、LC、LF、LS100シリーズでは、その熱特性 を利用しています。 LFシリーズの場合、スチールスケールは機械 に直接固定されるスチールベースに固定され ています。 LBシリーズの場合、スチールスケールテープ は機械に直接クランプ固定されます。それゆ え、LBは取付け面の温度変化に影響を受け ます。 LCシリーズとLSシリーズは、取付け面へ中心 点で固定されます。中心固定点以外の固定 点は熱膨張による伸縮を吸収する構造となっ ており、熱特性を確実に再現可能にします。 取付け ハイデンハインのシールドリニアエンコーダの取 付けはとても簡単です。したがって、あとはス ケールユニットを数箇所でマシンガイド面にあ わせるだけ取付けが完了します。 スケールを合わせるのに固定面または固定ピ ンを使用することもできます。スケールユニット と走査ユニットの間のギャップは、あらかじめ輸 送安全具によって適切に設定されています。 側面のギャップは、取付けの際に設定してくだ さい。スペースが不足していて輸送安全具を取 付け前に取り外さなければならない場合には、 取付けゲージによってスケールユニットと走査 ユニットの間のギャップを簡単で正確に設定で きます。側面の公差も確実に保ってください。 16 輸送安全具 マルチセクションLC 2x1とLB 382の取付け 測定長が3 240 mmを超えるLC 2x1と LB 382は、セクションごとに機械表面に取付 けられます。 • 各ハウジングセクションをつなぎ合わせて取 付ける • スチールテープを全体にわたって引き入 れ、テンションをかける • シーリングリップを引き入れる • 走査ユニットを挿入する スチールテープのテンション調整により、直線 機械誤差を±100µm/mまで補正できます。 アクセサリ(別売): 取付け補助具 LC 1x3、LS 1x7用 LC 1x5用 ID 547793-02 ID 1067589-02 取付け補助具をスケールユニットに固定する ことにより、最適な走査ユニットの取付け状態 を模擬することが可能です。この補助具に従っ て調整することにより、簡単に走査ユニットを取 付け面に合わせることができます。取付け補助 具を取り外し、走査ユニットを取付けブラケット に取付けます。 アクセサリ(別売): 標準型ハウジングタイプのリニアエンコーダ用 取付けおよびテストゲージ 取付けゲージは、輸送安全具を取付け前に 取り外さなければならない場合に、スケールユ ニットと走査ユニットの間のギャップを設定する ために使用します。テストゲージは、取付け たリニアエンコーダのギャップを素早く簡単に チェックすることができます。 例 LC、LS x 色 ID 取付けゲージ 1.5 mm 灰 575832-01 最大テストゲージ 1.8 mm 赤 575832-02 最小テストゲージ 1.2 mm 青 575832-03 LB 382/LC 2x1 x 色 ID 取付けゲージ 1.0 mm 灰 772141-01 最大テストゲージ 1.3 mm 赤 772141-02 最小テストゲージ 0.7 mm 青 772141-03 17 機械的仕様 保護等級 シールドタイプリニアエンコーダは、飛沫防止 のシーリングリップが付いていれば、 EN 60 529もしくはIEC 60529に定める等級 IP 53の要求を満たしています。必要であれ ば、別個の保護カバーを付けます。 エンコーダに高濃度の冷却剤や潤滑剤がかか りそうな場合は、スケールハウジングに圧縮空 気を供給し、汚れの侵入をさらに効果的に防 ぐことができます。この時の保護等級はIP 64に 相当します。ハイデンハインのシールドタイプリ ニアエンコーダLB、LC、LF、LSは、エアパージ 用の圧縮空気注入口をスケール両端のエンド ブロックと走査ユニットの取付けブロックに備え ています。 エンコーダに直接導入される圧縮空気は、あ らかじめ微細フィルタで清浄されていなければ ならず、ISO 8573-1 (2010 版)に準じた以下 の品質等級に適合しなくてはなりません。 • 固体汚染物質: 等級 1 粒子サイズ 粒子数/ m3 0.1 µm ～ 0.5 µm ≦ 20 000 0.5 µm ～ 1.0 µm ≦ 400 1.0 µm ～ 5.0 µm ≦ 10 • 最大加圧露点: 等級 4 (3 °Cの時の加圧露点) • 全油含有量: 等級 1 (最大油濃度:0.01 mg/m3) シールドタイプリニアエンコーダに供給する圧縮 空気を最適にするには、1 台あたり7 ～10 リッ トル/分の空気流量が必要になります。ハイデン ハイン製のスロットル付エアニップル（別売アク セサリを参照ください）により空気流量の理想 的に調整が可能です。吸入圧力が 5 1 · 10 Pa (1 bar)の時、スロットルを用いて規 定の空気流量を確保することができます。 アクセサリ(別売): 圧縮空気ユニットDA 400 ID 894602-01 アクセサリ(別売): 接続部品 (直線タイプ) スロットルおよびガスケット付き ID 226270-xx DA 400 は、3段階のフィルタ (プリフィルタ、微 細フィルタ、そして活性炭素フィルタ)と圧力計 付圧力調整器で構成されています。圧力計と 自動圧力スイッチ(別売アクセサリ)は効果的に 圧縮空気の要求圧を監視します。 接続部品 (直線・短タイプ) スロットルおよびガスケット付き ID 275239-xx DA 400 ハイデンハインは、浄化機能を搭載した圧縮 空気フィルタシステムDA 400を用意していま す。この製品はエンコーダへの圧縮空気導入 用途に特別に設計されています。 DA 400へ供給する圧縮空気は、 ISO 8573-1(2010 版)に準じた以下の品質等 級を満たさなければなりません。 その他アクセサリ（別売）: 90°スイベルねじ込み継手 シール付き ID 207834-xx • 固体汚染物質: 粒子サイズ 0.1 µm ～ 0.5 µm 0.5 µm ～ 1.0 µm 1.0 µm ～ 5.0 µm • 最大加圧露点: (10 °Cの時の加圧露点) • 全油含有量: (最大油濃度:5 mg/m3) 等級 5 粒子数/ m3 規定なし 規定なし ≦ 100 000 等級 6 等級 4 さらに詳しい情報については、 製品情報DA 400 を参照してください。 DA 400 18 取付け ケーブル配線を簡単にするために、通常、走 査ユニットの取付けブロックを機械の可動しな い部分にねじ止めし、反対にスケールハウジン グを可動部に取付けます。 リニアエンコーダの取付け場所は、最高の精 度と可能な限り長い寿命が確保されるように 慎重に選定してください。 • エンコーダは、アッベの誤差が小さく抑えら れるよう、できるだけ作業面に近い位置に取 付けてください。 • 正常な動作を行うため、常時エンコーダに 強い振動を与えないよう考慮してください。 機械の剛性を上げることでも、取付け面での 振動を抑えることができます。エンコーダを 中空部品に取付けたり、アダプタを介在させ たりしてはなりません。小型のシールドタイプ リニアエンコーダの取付けには、マウンティン グスパーの使用を推奨します。 • 温度の影響を避けるため、リニアエンコーダ を熱源から離して取付けてください。 加速度 リニエンコーダは、操作中ならびに取付け中に 様々な種類の衝撃振動にさらされます。 • 記載の振動最大値は、 55 ～ 2000Hz(IEC 60068-2-6)の周波数に 適用されます。用途や取付け方によります が、共振により許容値を超える振動が生じる と、エンコーダを損傷しかねません。システ ム全体の総合的テストが必要となります。 • 衝撃やインパクトに対する最大許容加速度 値(半正弦波形衝撃)は11ms (IEC 60068-2-27)の時に有効です。いかな る場合でも、エンコーダの調整にハンマーま たは類似の道具を使用しないでください。 消耗品 ハイデンハインのエンコーダには、アプリケーシ ョンや操作によっては摩耗しやすい部品が含 まれています。特に消耗品とされる部品は次 の通りです。 • LED光源 • ケーブル ベアリング内蔵のエンコーダ用として: • ベアリング • シャフトシーリングリング （ロータリおよび角度エンコーダ用） • シーリングリップ （シールドタイプリニアエンコーダ用） 必要送り力 必要送り力とは、スケールユニットを走査ユニッ トに対して相対移動させるのに必要な最大の力 のことです。 システム検査 ハイデンハインのエンコーダは、通常、シス テムの一部として組み込まれます。このよう な使用法では、エンコーダの仕様ではなく、 システム全体での検査が必要となります。 RoHS ハイデンハインは、電気・電子機器に含まれる 特定有害物質の使用制限に関する欧州指令 2002/95/EC(RoHS)及び電気・電子機器の廃 棄に関する欧州指令 2002/96/EC (WEEE)に 基づく材料の有害性に関する製品試験を行な っています。各製品毎の対応状況については、 各営業所までお問合せください。 カタログに記載の仕様は、システム全体では なく、特定のエンコーダに適応されるもので す。仕様の範囲外でのご使用や、意図され たアプリケーション以外でご使用の場合に は、弊社では責任を負いません。 組立て 取付時に行う作業手順と取付寸法について は、製品に添付されている取付説明書の記 載に従ってください。このカタログに記載され ている取付けについてのすべての情報は暫 定的なもので、拘束力はありません。 このカタログの情報は、契約の情報にはなり ません。 DIADUR、AURODUR、METALLURは、 いずれもDR.JOHANNES HEIDENHAIN GmbH, Traunreut, Germany.の登録商標です。 DRIVE-CLiQはSIEMENS AG社の登録商標です。 19 LC 400 シリーズ 小型ハウジングのアブソリュートリニアエンコーダ • 狭いスペース取付け用 • LC 415/LC 485/LC 495は、すべて同寸法 ML 70 L 37.5 公差 20 120 170 220 270 320 370 420 470 520 570 620 670 720 770 820 920 1020 1140 1240 1340 1440 1540 1640 1740 1840 2040 55 75 100 115 140 175 200 225 250 275 300 325 350 375 400 450 F P ð 500 555 610 655 710 760 810 855 910 1010 = エンドブロック12A（マウンティングスパー使用時・未使用時の両方で取付け可能) = エンドブロック14A(マウンティングスパー使用時、直接M4ネジで取付ける場合、仕様に制約があります) = マウンティングスパー MSL 41 = マシンガイド = 調整用計測点 = 取付けに必要な寸法 = 圧縮空気注入口 = 測定長 (ML) 開始点(絶対位置値= 20 mm) = 本カタログインターフェース解説通りの出力信号を得るための走査ヘッド移動方向 仕様 LC 415 スケール本体 熱膨張係数 DIADURガラススケール (アブソリュートとインクリメンタルトラック)、目盛間隔20 µm –6 –1 –6 –1 Þtherm 8 x 10 K (取付けタイプ /); マウンティングスパー付き:Þtherm 9 x 10 K (取付けタイプ ) 精度等級* ± 3 µm; ± 5 µm 測定長 ML*(mm) マウンティングスパー*もしくはクランプ* ML 1 240までは推奨、ML 1 340以上は必須 70 120 170 220 270 320 370 420 470 520 570 620 670 720 770 820 920 1 020 1 140 1 240 1 340 1 440 1 540 1 640 1 740 1 840 2 040 機能安全* オプション インターフェース EnDat 2.2 区分 EnDat22 EnDat02 0.001 µm 0.010 µm 0.005 µm 0.010 µm 1) 精度 ± 3 µm 精度 ± 5 µm – 診断用インターフェース デジタル クロック周波数 計算時間 tcal ≦ 16 MHz ≦ 5 µs ≦ 2 MHz ≦ 5 µs インクリメンタル信号 – » 1 VPP 信号周期 カットオフ周波数–3 dB – 20 µm ≧ 150 kHz 電気的接続 取付けブロック差込用分離型アダプタケーブル (1 m/3 m/6 m/9 m) ケーブル長 ≦ 100 m2) 供給電圧 DC 3.6 V ～ 14 V 消費電力(最大) 3.6 V:≦ 1.1 W; 14 V:≦ 1.3 W 消費電流（通常） 5 V:140 mA (負荷なし) 走査速度 ≦ 180 m/min 必要送り力 ≦5N 振動 5 5 ～ 2 000 Hz 衝撃 11 ms 加速度 走査ユニット部:≦ 200 m/s2 (IEC 60 068-2-6) ハウジング部(マウンティングスパー未使用時):≦ 100 m/s2 (IEC 60 068-2-6) ハウジング部(マウンティングスパー使用時、ケーブル出口が 右):≦ 150 m/s2、 (マウンティングスパー使用時、ケーブル出口が 左):≦ 100 m/s2 (IEC 60 068-2-6) 2 ≦ 300 m/s (IEC 60 068-2-27) ≦ 100 m/s2 (測定方向) 使用温度 0 °C ～ +50 °C 保護等級(IEC 60529) IP 53(取付け説明書に従って取付けた場合)、IP 64(DA 400から圧縮空気を注入する場合) 質量 エンコーダ:0.2 kg + 0.55 kg/m (測定長1mあたり)、マウンティングスパー:0.9 kg/m ≦ 150 m2) 1) * 注文時にご指定ください 外形寸法および仕様については、Product Informationを参照ください。 ハイデンハインケーブル使用時、クロック周波数≦ 8 MHz 2) 仕様 分解能 LC 485 21 LC 400 シリーズ 小型ハウジングのアブソリュートリニアエンコーダ • 狭いスペース取付け用 • LC 415/LC 485/LC 495は、すべて同寸法 ML 70 L 37.5 公差 22 120 170 220 270 320 370 420 470 520 570 620 670 720 770 820 920 1020 1140 1240 1340 1440 1540 1640 1740 1840 2040 55 75 100 115 140 175 200 225 250 275 300 325 350 375 400 450 F P ð 500 555 610 655 710 760 810 855 910 1010 = エンドブロック12A（マウンティングスパー使用時・未使用時の両方で取付け可能) = エンドブロック14A(マウンティングスパー使用時、直接M4ネジで取付ける場合、仕様に制約があります) = マウンティングスパー MSL 41 = マシンガイド = 調整用計測点 = 取付けに必要な寸法 = 圧縮空気注入口 = 測定長 (ML) 開始点 (絶対位置値= 20 mm ) = 本カタログインターフェース解説通りの出力信号を得るための走査ヘッド移動方向 仕様 LC 495 F LC 495 M LC 495 S スケール本体 熱膨張係数 DIADURガラススケール (アブソリュートとインクリメンタルトラック)、目盛間隔20 µm –6 –1 –6 –1 Þtherm 8 x 10 K (取付けタイプ /);マウンティングスパー付き:Þtherm 9 x 10 K (取付けタイプ ) 精度等級* ± 3 µm; ± 5 µm 測定長 ML*(mm) マウンティングスパー*もしくはクランプ* ML 1 240までは推奨、ML 1 340以上は必須 70 120 170 220 270 320 370 420 470 520 570 620 670 720 770 820 920 1 020 1 140 1 240 1 340 1 440 1 540 1 640 1 740 1 840 2 040 機能安全* – インターフェース ファナックシリアルインターフェース Þiインタフェース 三菱高速シリアルインターフェース DRIVE-CLiQ 区分 Þi インタフェース Mitsu03-04 DQ01 分解能 精度 ± 3 µm 精度 ± 5 µm Þiインタフェース/Þインタフェース 0.00125 µm/0.010 µm 0.0125 µm/0.050 µm 0.001 µm 0.010 µm 診断用インターフェース デジタル 電気的接続 取付けブロック差込用分離型アダプタケーブル (1 m/3 m/6 m/9 m) ケーブル長 ≦ 50 m 供給電圧 DC 3.6 V ～ 14 V DC 10 V ～ 28.8 V 消費電力(最大) 3.6 V:≦ 1.1 W; 14 V:≦ 1.3 W 10 V:≦ 1.5 W; 28.8 V:≦ 1.7 W 消費電流（通常） 5 V:140 mA (負荷なし) 24 V:46 mA (負荷なし) 走査速度 ≦ 180 m/min 必要送り力 ≦5N 振動 55 ～ 2 000 Hz 衝撃 11 ms 加速度 走査ヘッド部:≦ 200 m/s2 (IEC 60 068-2-6) ハウジング部(マウンティングスパー未使用時):≦ 100 m/s2 (IEC 60 068-2-6) ハウジング部(マウンティングスパー使用時、ケーブル出口が右):≦ 150 m/s2、 (マウンティングスパー使用時、ケーブル出口が左):≦ 100 m/s2 (IEC 60 068-2-6) 2 ≦ 300 m/s (IEC 60 068-2-27) ≦ 100 m/s2 (測定方向) 使用温度 0 °C ～ +50 °C 保護等級(IEC 60529) IP 53 (取付け説明書に従って取付けた場合)、IP 64 (DA 400から圧縮空気を注入する場合) 質量 エンコーダ:0.2 kg + 0.55 kg/m (測定長1mあたり)、マウンティングスパー:0.9 kg/m 1) オプション ≦ 30 m 2) ≦ 30 m * 注文時にご指定ください 外形寸法および仕様については、Product Informationを参照ください。 2) これより長いケーブルは現在準備中 1) 23 LC 100 シリーズ 標準型ハウジングのアブソリュートリニアエンコーダ • 高い耐振動性 • 水平方向取付け可 • ダブルシーリングリップによる高い信頼性 • LC 115/LC 185/LC 195は、すべて同寸法 公差 24 = 取付け方法 F = マシンガイド P = 調整用計測点 = 取付けに必要な寸法 = 別の取付け寸法 b = アダプタケーブル左右どちら側からでも取付け可能 = 圧縮空気注入口。左右どちら側からでも取付け可能 t = 機械取り付け時の固定点（推奨） h = 機械取り付け時の固定点（旧形式と互換性あり） g = 機械取り付け時の固定点（100mm間隔） = 測定長 (ML) 開始点 (絶対位置値= 20 mm ) w = 接触面 ð = 本カタログインターフェース解説通りの出力信号を得るための走査ヘッド移動方向 仕様 LC 115 スケール本体 熱膨張係数 DIADURガラススケール (アブソリュートとインクリメンタルトラック)、目盛間隔20 µm –6 –1 Þtherm 8 x 10 K 精度等級* ± 3 µm (測定長3 040 mmまで); ± 5 µm 測定長 ML*(mm) 140 240 340 440 540 640 740 840 940 1 040 1 140 1 240 1 340 1 440 1 540 1 640 1 740 1 840 2 040 2 240 2 440 2 640 2 840 3 040 3 240 3 440 3 640 3 840 4 040 4 240 機能安全* オプション インターフェース EnDat 2.2 区分 EnDat22 EnDat02 0.001 µm 0.010 µm 0.005 µm 0.010 µm 分解能 LC 185 1) 精度 ± 3 µm 精度 ± 5 µm – 診断用インターフェース デジタル クロック周波数 計算時間 tcal ≦ 16 MHz ≦ 5 µs ≦ 2 MHz ≦ 5 µs インクリメンタル信号 – » 1 VPP 信号周期 カットオフ周波数–3 dB – 20 µm ≧ 150 kHz 電気的接続 分離型アダプタケーブル (1 m/3 m/6 m/9 m)、取付けブロックの左右どちら側からでも差込可能 ケーブル長 ≦ 100 m2) 供給電圧 DC 3.6 V ～ 14 V 消費電力(最大) 3.6 V:≦ 1.1 W; 14 V:≦ 1.3 W 消費電流（通常） 5 V:140 mA (負荷なし) 走査速度 ≦ 180 m/min 必要送り力 ≦4N 振動 55 ～ 2 000 Hz 衝撃 11 ms 加速度 ハウジング部:≦ 200 m/s2 (IEC 60 068-2-6) 走査ユニット部:≦ 200 m/s2 (IEC 60 068-2-6) ≦ 300 m/s2 (IEC 60 068-2-27) ≦ 100 m/s2 (測定方向) 使用温度 0 °C ～ +50 °C 保護等級(IEC 60529) IP 53 (取付け説明書に従って取付けた場合)、IP 64 (DA 400から圧縮空気を注入する場合) 質量 0.55 kg + 2.9 kg/m (測定長1mあたり) ≦ 150 m2) 1) 外形寸法および仕様については、Product Informationを参照ください。 * 注文時にご指定ください 2) ハイデンハインケーブル使用時、クロック周波数≦ 8 MHz 25 LC 100 シリーズ 標準型ハウジングのアブソリュートリニアエンコーダ • 高い耐振動性 • 水平方向取付け可 • ダブルシーリングリップによる高い信頼性 • LC 115/LC 185/LC 195は、すべて同寸法 公差 26 = 取付け方法 F = マシンガイド P = 調整用計測点 = 取付けに必要な寸法 = 別の取付け寸法 b = アダプタケーブル左右どちら側からでも取付け可能 = 圧縮空気注入口。左右どちら側からでも取付け可能 t = 機械取り付け時の固定点（推奨） h = 機械取り付け時の固定点（旧形式と互換性あり） g = 機械取り付け時の固定点（100mm間隔） = 測定長 (ML) 開始点 (絶対位置値= 20 mm ) w = 接触面 ð = 本カタログインターフェース解説通りの出力信号を得るための走査ヘッド移動方向 仕様 LC 195 F LC 195 M LC 195 S スケール本体 熱膨張係数 DIADURガラススケール (アブソリュートとインクリメンタルトラック)、目盛間隔20 µm –6 –1 Þtherm 8 x 10 K 精度等級* ± 3 µm (測定長3 040 mmまで); ± 5 µm 測定長 ML*(mm) 140 240 340 440 540 640 740 840 940 1 040 1 140 1 240 1 340 1 440 1 540 1 640 1 740 1 840 2 040 2 240 2 440 2 640 2 840 3 040 3 240 3 440 3 640 3 840 4 040 4 240 機能安全* – インターフェース ファナックシリアルインターフェース Þiインタフェース 三菱高速シリアルインターフェース DRIVE-CLiQ 区分 Þiインタフェース Mitsu03-04 DQ01 分解能 精度 ± 3 µm 精度 ± 5 µm Þiインタフェース/Þインタフェース 0.00125 µm/0.010 µm 0.0125 µm/0.050 µm 0.001 µm 0.010 µm 診断用インターフェース デジタル 電気的接続 分離型アダプタケーブル (1 m/3 m/6 m/9 m)、取付けブロックの左右どちら側からでも差込可能 ケーブル長 ≦ 50 m 供給電圧 DC 3.6 V ～ 14 V DC 10 V ～ 28.8 V 消費電力(最大) 3.6 V:≦ 1.1 W; 14 V:≦ 1.3 W 10 V:≦ 1.5 W; 28.8 V:≦ 1.7 W 消費電流（通常） 5 V:140 mA (負荷なし) 24 V:46 mA (負荷なし) 走査速度 ≦ 180 m/min 必要送り力 ≦4N 振動 55 ～ 2 000 Hz 衝撃 11 ms 加速度 ハウジング部:≦ 200 m/s2 (IEC 60 068-2-6) 走査ユニット部:≦ 200 m/s2 (IEC 60 068-2-6) ≦ 300 m/s2 (IEC 60 068-2-27) ≦ 100 m/s2 (測定方向) 使用温度 0 °C ～ +50 °C 保護等級(IEC 60529) IP 53 (取付け説明書に従って取付けた場合)、IP 64 (DA 400から圧縮空気を注入する場合) 質量 0.55 kg + 2.9 kg/m (測定長1mあたり) 1) オプション ≦ 30 m ≦ 30 m2) * 注文時にご指定ください 1) 外形寸法および仕様については、Product Informationを参照ください。 2) これより長いケーブルは現在準備中 27 LC 200 シリーズ 標準型ハウジングのアブソリュートリニアエンコーダ • 最大測定長28m • 簡単な取付け（垂直もしくは水平方向） • ミラーイメージバージョン供給可(取付け側寸法についてはお問い合わせください) 公差 28 , , = 取付け 方法 F = マシンガイド L = ハウジングセクションの長さ = 取付けに必要な寸法 = アダプタケーブル左右どちら側からでも取付け可能 = 圧縮空気注入口。左右どちら側からでも取付け可能 = 測定長 (ML) 開始点(絶対位置値= 100 mm) w = 接触面 ð = 本カタログインターフェース解説通りの出力信号を得るための走査ヘッド移動方向 仕様 LC 211 スケール本体 熱膨張係数 METALLUR スチールスケールテープ (アブソリュートとインクリメンタルトラック付)、目盛間隔40 µm –6 –1 取付け相手側に同じ(鋳鉄の場合、Þtherm 10 x 10 K ) 精度等級 ± 5 µm 測定長 ML*(mm) 3 240 mm ～ 28 040 mm (200 mm間隔） シングルセクションMETALLURスチールスケールテープとハウジングセクションキット付 インターフェース EnDat 2.2 区分 EnDat22 分解能 0.010 µm 診断用インターフェース デジタル クロック周波数 計算時間 tcal ≦ 16 MHz ≦ 5 µs ≦ 2 MHz ≦ 5 µs – – インクリメンタル信号 – » 1 VPP – 信号周期 – 40 µm – カットオフ周波数–3 dB – ≧ 250 kHz – 電気的接続 分離型アダプタケーブル (1 m/3 m/6 m/9 m)、取付けブロックの左右どちら側からでも差込可能 ケーブル長1) ≦ 100 m (クロック周波数≦ 8 MHzの時) LC 281 EnDat02 LC 291 F LC 291 M ファナック シリアルインターフェース Þiインタフェース 三菱高速 シリアルインターフェース Þiインタフェース Mitsu03-04 Þiインタフェース/Þインタフェース 0.010 µm 0.0125 µm/0.050 µm ≦ 150 m ≦ 50 m ≦ 30 m 供給電圧 DC 3.6 V ～ 14 V 消費電力(最大) 14 Vにおいて: ≦ 1.3 W 3.6 Vにおいて: ≦ 1.1 W 消費電流（通常） 5 Vにおいて:225 mA (負荷なし) 走査速度 ≦ 180 m/min 必要送り力 ≦ 15 N 振動 55 ～ 2 000 Hz 衝撃 11 ms 加速度 ハウジング部:200 m/s2 (IEC 60 068-2-6) 走査ユニット部:300 m/s2 (IEC 60 068-2-6) ≦ 300 m/s2 (IEC 60 068-2-27) ≦ 100 m/s2 (測定方向) 使用温度 0 °C ～ +50 °C 保護等級(IEC 60529) IP 53 (取付け説明書に従って取付けた場合)、IP 64 (DA 400から圧縮空気を注入する場合) 質量 1.3 kg + 3.6 kg/m (測定長1mあたり) * 注文時に ご指定ください 1) ハイデンハインケーブル 使用 29 LF 485 小型ハウジングのインクリメンタルリニアエンコーダ • 非常に高い繰返し精度 • 鋼・鋳鉄に近い熱特性 • 狭いスペース取付け用 公差 30 = エンドブロック12A; （マウンティングスパー使用時・未使用時の 両方で取付け可能) = エンドブロック 11A; （マウンティングスパー使用時) = マウンティングスパー MSL 41 F = マシンガイド P = 調整用計測点 = 取付けに必要な寸法 r = LF 485の原点位置 測定長に原点2個 c ð 50 ...1000 1120 ...1220 z = 25 mm zi = ML – 50 mm z = 35 mm zi = ML – 70 mm = LF 485Cの原点位置 = 圧縮空気注入口 = 測定長 (ML) 開始点 = 本カタログインターフェース解説通りの出力信 号を得るための走査ヘッド移動方向 仕様 LF 485 スケール本体 熱膨張係数 SUPRADUR位相格子付スチールスケール、目盛間隔8 µm –6 –1 Þtherm 10 x 10 K 精度等級* ± 3 µm; ± 5 µm 測定長 ML*(mm) マウンティングスパー* 別売 50 100 150 200 250 300 350 750 800 900 1 000 1 120 1 220 インターフェース » 1 VPP 信号周期 4 µm 原点* LF 485 LF 485 C 400 450 500 550 600 650 700 • 測定長中央に原点1個 • 2 個、測定長開始点および終端から25 mmの位置に各1個 (ML ≦ 1 000 mmの場合) もしくは 35 mmの位置に各1個 (ML ≧ 1 120 mmの場合) 絶対番地化原点 診断用インターフェース アナログ カットオフ周波数–3 dB ≧ 250 kHz 電気的接続 取付けブロック差込用分離型アダプタケーブル (1 m/3 m/6 m/9 m) ケーブル長 ≦150 m (ハイデンハインケーブルを使用) 電源（負荷なし時） DC 5 V ± 0.25 V/< 120 mA 走査速度 ≦ 60 m/min 必要送り力 ≦4N 振動 55 ～ 2 000 Hz 衝撃 11 ms 加速度 ハウジング部 ( マウンティングスパー 使用時):≦ 150 m/s2 (IEC 60 068-2-6) 走査ユニット部:≦ 200 m/s2 (IEC 60 068-2-6) ≦ 300 m/s2 (IEC 60 068-2-27) ≦ 100 m/s2 (測定方向) 使用温度 0 °C ～ +50 °C 保護等級IEC 60529 IP 53(取付け説明書に従って取付けた場合) IP 64(DA 400から圧縮空気を注入する場合) 質量 0.4 kg + 0.6 kg/m (測定長1mあたり) * 注文時にご指定ください 31 LF 185 標準型ハウジングのインクリメンタルリニアエンコーダ • 非常に高い繰返し精度 • 鋼・鋳鉄に近い熱特性 • 水平方向取付け可 公差 32 = 取付け方法 F = マシンガイド P = 調整用計測点 = 取付けに必要な寸法 = アダプタケーブル左右どちら側からでも取付け可能 = 圧縮空気注入口。左右どちら側からでも取付け可能 = 測定長 (ML) 開始点 r = LF 185の原点位置 c = LF 185Cの原点位置 w = 接触面 À = LS/LC 100とは異なり、別の取付け寸法なし ð = 本カタログインターフェース解説通りの出力信号を得るための走査ヘッド移動方向 仕様 LF 185 スケール本体 熱膨張係数 SUPRADUR位相格子付スチールスケール、目盛間隔8 µm –6 –1 Þtherm 10 x 10 K 精度等級* ± 2 µm; ± 3 µm 測定長 ML*(mm) 140 240 340 440 540 640 740 840 940 1 040 1 140 1 240 1 340 1 440 1 540 1 640 1 740 1 840 2 040 2 240 2 440 2 640 2 840 3 040 インターフェース » 1 VPP 信号周期 4 µm 原点* LF 185 LF 185 C 測定長中央に原点1個; 他の原点仕様についてはお問合せください。 絶対番地化原点 診断用インターフェース アナログ カットオフ周波数–3 dB ≧ 250 kHz 電気的接続 取付けブロック差込用分離型アダプタケーブル (1 m/3 m/6 m/9 m) ケーブル長 ≦150 m (ハイデンハインケーブルを使用) 電源（負荷なし時） DC 5 V ± 0.25 V/< 120 mA 走査速度 ≦ 60 m/min 必要送り力 ≦4N 振動 55 ～ 2 000 Hz 衝撃 11 ms 加速度 ハウジング部:≦ 150 m/s2 (IEC 60 068-2-6) 走査ユニット部:≦ 200 m/s2 (IEC 60 068-2-6) ≦ 300 m/s2 (IEC 60 068-2-27) ≦ 100 m/s2 (測定方向) 使用温度 0 °C ～ +50 °C 保護等級IEC 60529 IP 53(取付け説明書に従って取付けた場合) IP 64(DA 400から圧縮空気を注入する場合) 質量 0.8 kg + 4.6 kg/m (測定長1mあたり) * 注文時にご指定ください 33 LS 400 シリーズ 小型ハウジングのインクリメンタルリニアエンコーダ • 狭いスペース取付け用 他の取付け方法に関しては 取付説明書を御覧ください。 公差 34 = エンドブロック09A; （マウンティングスパー使用時・未使用時の両 方で取付け可能) = エンドブロック 10A; （マウンティングスパー使用時) = マウンティングスパー MSL 41 F = マシンガイド P = 調整用計測点 = 取付けに必要な寸法 r = LS 4x7の原点位置 測定長に原点2個 c ð 70 ...1020 1140 ...2040 z = 35 mm zi = ML – 70 mm z = 45 mm zi = ML – 90 mm = LS 4x7Cの原点位置 = 圧縮空気注入口 = 測定長 (ML) 開始点 = 本カタログインターフェース解説通りの出力信 号を得るための走査ヘッド移動方向 LS 4x7 マウンティングスパーなし LS 4x7 マウンティングスパー付き 仕様 LS 487 スケール本体 熱膨張係数 DIADUR目盛付きガラススケール、目盛間隔20 µm –6 –1 –6 –1 Þtherm 8 x 10 K (取付けタイプ /); マウンティングスパー付き:Þtherm 9 x 10 K (取付けタイプ ) 精度等級* ± 3 µm; ± 5 µm 測定長 ML*(mm) マウンティングスパー*:ML 1 240までは推奨、ML 1340以上は必須 70 120 170 220 270 320 370 420 470 520 570 620 670 720 770 820 920 1 020 1 140 1 240 1 340 1 440 1 540 1 640 1 740 1 840 2 040 原点* LS 4x7 LS 4x7 C LS 477 • 50 mm 間隔で選択可(選択マグネットを使用): • 測定長中央に原点1個 • 2個、測定長開始点および終端から35 mmの位置に各1個(ML ≦ 1 020 mmの場合) もしくは 45 mmの位置に各1個(ML ≧ 1 140 mmの場合) 絶対番地化原点 インターフェース » 1 VPP TTL 分割倍率* 信号周期 – 20 µm 5倍 4 µm 診断用インターフェース アナログ – カットオフ周波数–3 dB ≧ 160 kHz 走査周波数* エッジ間隔 a 10倍 2 µm 20倍 1 µm – – – – 100 kHz 50 kHz ≧ 0.5 µs ≧ 1 µs 100 kHz 50 kHz 25 kHz ≧ 0.25 µs ≧ 0.5 µs ≧ 1 µs 50 kHz 25 kHz ≧ 0.25 µs ≧ 0.5 µs 測定分解能 分割倍率により異なる 1 µm1) 0.5 µm1) 0.25 µm1) 電気的接続 取付けブロック差込用分離型アダプタケーブル (1 m/3 m/6 m/9 m) 2) ケーブル長 ≦ 150 m ≦ 100 m 電源（負荷なし時） DC 5 V±0.25V/<120mA DC 5 V ± 0.25 V/< 140 mA 走査速度 ≦ 120 m/min ≦ 120 m/min 必要送り力 ≦5N 振動 55 ～2000 Hz 衝撃 11 ms 加速度 マウンティングスパーなし:≦ 100 m/s2 (IEC 60 068-2-6) マウンティングスパー使用時、ケーブル出口が右:≦ 200 m/s2、 マウンティングスパー使用時、ケーブル出口が左:100 m/s2 (IEC 60 068-2-6) ≦ 300 m/s2 (IEC 60 068-2-27) ≦ 100 m/s2 (測定方向) 使用温度 0 °C ～ +50 °C 保護等級IEC 60529 IP 53 (取付け説明書に従って取付けた場合)、IP 64 (DA 400から圧縮空気を注入する場合) 質量 0.4 kg + 0.5 kg/m (測定長1mあたり) * 注文時にご指定ください 1) 2) ≦60 m/min ≦ 120 m/min ≦60 m/min ≦ 30 m/min ≦ 60 m/min ≦ 30 m/min 後続電子部にて4分割後 ハイデンハインケーブル使用 35 LS 100 シリーズ 標準型ハウジングのインクリメンタルリニアエンコーダ • 高い耐振動性 • 水平方向取付け可 公差 36 , , = 取付け方法 F = マシンガイド P = 調整用計測点 = 取付けに必要な寸法 = 別の取付け寸法 b = アダプタケーブル左右どちら側からでも取付け可能 = 圧縮空気注入口。左右どちら側からでも取付け可能 t = 機械取り付け時の固定点（推奨） g = 機械取り付け時の固定点（100mm間隔） r = LS 1x7の原点位置 c = LS 1x7Cの原点位置 = 測定長 (ML) 開始点 w = 接触面 ð = 本カタログインターフェース解説通りの出力信号を得るための走査ヘッド移動方向 仕様 LS 187 スケール本体 熱膨張係数 DIADUR目盛付きガラススケール、目盛間隔20 µm –6 –1 Þtherm 8 x 10 K 精度等級* ± 3 µm; ± 5 µm 測定長 ML*(mm) 140 240 340 440 540 640 740 840 940 1 040 1 140 1 240 1 340 1 440 1 540 1 640 1 740 1 840 2 040 2 240 2 440 2 640 2 840 3 040 LS 1x7 LS 1x7 C 原点* LS 177 50 mm 間隔で選択可(選択マグネットを使用)、標準設定:測定長中央に原点1個 絶対番地化原点 インターフェース » 1 VPP TTL 分割倍率* 信号周期 – 20 µm 5倍 4 µm 診断用インターフェース アナログ – カットオフ周波数–3 dB ≧ 160 kHz 走査周波数* エッジ間隔 a 10倍 2 µm 20倍 1 µm – – – – 100 kHz 50 kHz ≧ 0.5 µs ≧ 1 µs 100 kHz 50 kHz 25 kHz ≧ 0.25 µs ≧ 0.5 µs ≧ 1 µs 50 kHz 25 kHz ≧ 0.25 µs ≧ 0.5 µs 測定分解能 分割倍率により異なる 1 µm1) 0.5 µm1) 0.25 µm1) 電気的接続 取付けブロック差込用分離型アダプタケーブル (1 m/3 m/6 m/9 m) 2) ケーブル長 ≦ 150 m ≦ 100 m 電源（負荷なし時） DC 5 V ± 0.25 V/< 120 mA DC 5 V ± 0.25 V/< 140 mA 走査速度 ≦ 120 m/min ≦120 m/min 必要送り力 ≦4N 振動 55 ～2000 Hz 衝撃 11 ms 加速度 2 ≦ 200 m/s (IEC 60 068-2-6) ≦ 400 m/s2 (IEC 60 068-2-27) ≦ 60 m/s2 (測定方向) 使用温度 0 °C ～ +50 °C 保護等級IEC 60529 IP 53(取付け説明書に従って取付けた場合) IP 64（DA 400から圧縮空気を注入する場合） 質量 0.4 kg + 2.3 kg/m (測定長1mあたり) ≦60 m/min ≦120 m/min ≦60 m/min ≦ 30 m/min ≦ 60 m/min ≦ 30 m/min * 注文時にご指定ください 1) 後続電子部にて4分割後 2) ハイデンハインケーブル使用 37 LB 382 測定長 3 040 mm まで (シングルセクションハウジング) 標準型ハウジングのインクリメンタルリニアエンコーダ • 水平方向取付け可 • ミラーイメージバージョン供給可(取付け側寸法についてはお問い合わせください) A B A A-A 42.4 公差 38 , , = 取付け方法 F = マシンガイド = 取付けに必要な寸法 = 圧縮空気注入口 r = LB 3x2の原点位置 c = LB 3x2Cの原点位置 = 測定長 (ML) 開始点 w = 接触面 ð = 本カタログインターフェース解説通りの出力信 号を得るための走査ヘッド移動方向 B 仕様 LB 382 ML 3 040 mmまで スケール本体 熱膨張係数 AURODUR目盛付きステンレススチールテープ、目盛間隔40 µm –6 –1 Þtherm 10 x 10 K 精度等級 ± 5 µm 測定長 ML*(mm) シングルセクションハウジング 440 640 840 1 040 1 240 1 440 1 640 1 840 2 040 2 240 2 440 2 640 2 840 3 040 原点* LB 382 LB 382 C 50 mm 間隔で選択可 (選択マグネットを使用)、標準設定:測定長中央に原点1個 絶対番地化原点 インターフェース » 1 VPP 信号周期 40 µm 診断用インターフェース アナログ カットオフ周波数–3 dB ≧ 250 kHz 電気的接続 取付けブロック差込用分離型アダプタケーブル (1 m/3 m/6 m/9 m) ケーブル長1) ≦ 150 m 電源（負荷なし時） DC 5 V ± 25 V/< 150 mA 走査速度 ≦ 120 m/min 必要送り力 ≦ 15 N 振動 55 ～2000 Hz 衝撃 11 ms 加速度 2 ≦ 300 m/s (IEC 60 068-2-6) ≦ 300 m/s2 (IEC 60 068-2-27) ≦ 60 m/s2 (測定方向) 使用温度 0 °C ～ +50 °C 保護等級IEC 60529 IP 53(取付け説明書に従って取付けた場合) IP 64（DA 400から圧縮空気を注入する場合） 質量 1.3 kg + 3.6 kg/m (測定長1mあたり) * 注文時にご指定ください 1) ハイデンハインケーブル使用 39 LB 382 測定長 30 040 mm まで (マルチセクションハウジング) 標準型ハウジングのインクリメンタルリニアエンコーダ • 最大測定長 30 m (これ以上、72 m以下 はお問合せください) • 水平方向取付け可 • ミラーイメージバージョン供給可 (取付け側寸法についてはお問い合わせください) A B A A-A 42.4 公差 40 , , = 取付け方法 F = マシンガイド = 取付けに必要な寸法 = 圧縮空気注入口 r = LB 3x2の原点位置 c = LB 3x2Cの原点位置 = 測定長 (ML) 開始点 g = ハウジングセクションの長さ w = 接触面 ð = 本カタログインターフェース解説通りの出力信 号を得るための走査ヘッド移動方向 B 仕様 LB 382 ML 3 240 mmから スケール本体 熱膨張係数 AURODUR目盛付きステンレススチールテープ、目盛間隔40 µm 取付け相手側に同じ 精度等級 ± 5 µm 測定長 ML* 1本ものAURODURスチールテープとハウジングユニットの組合せ。測定長は、200 mm 刻みで 3 240 mm ～ 30 040 mmまで(これ以上で72 040 mm まではお問合せください) ハウジングセクションの長さ:1 000 mm、1 200 mm、1 400 mm、1 600 mm、1 800 mm、2 000 mm 原点* LB 382 LB 382 C 50 mm間隔(選択プレートを使用) 絶対番地化原点 インターフェース » 1 VPP 信号周期 40 µm 診断用インターフェース アナログ カットオフ周波数–3 dB ≧ 250 kHz 電気的接続 取付けブロック差込用分離型アダプタケーブル (1 m/3 m/6 m/9 m) ケーブル長1) ≦ 150 m 電源（負荷なし時） DC 5 V ± 0.25 V/< 150 mA 走査速度 ≦ 120 m/min 必要送り力 ≦ 15 N 振動 55 ～2000 Hz 衝撃 11 ms 加速度 2 ≦ 300 m/s (IEC 60 068-2-6) ≦ 300 m/s2 (IEC 60 068-2-27) ≦ 60 m/s2 (測定方向) 使用温度 0 °C ～ +50 °C 保護等級IEC 60 529 IP 53(取付け説明書に従って取付けた場合) IP 64(DA 400から圧縮空気を注入する場合） 質量 1.3 kg + 3.6 kg/m (測定長1mあたり) * 注文時にご指定ください 1) ハイデンハインケーブル使用 41 インターフェース インクリメンタル信号» 1 VPP ハイデンハインエンコーダで »1 VPP インターフェース形式のものは、 高い内挿分割ができます。 信号周期 360° elec. 正弦波インクリメンタル信号A 相とB相は 90°elec.の位相差を有し、信号レベルが1 VPP です。図で表示した出力信号のシーケンス(B 相がA相に遅れて出力)は、個別の寸法図に 示されている状態で動作した際に得られる信 号です。 インクリメンタル信号に原点信号Rの役割は 重要です。出力信号は原点近傍では低くなり ます。 各インターフェースおよび電気的仕様に関し ての詳しい説明が、カタログ ハイデンハインエンコーダのインターフェース に記載されています。 代替信号波形 (規定値) A、B、R はオシロスコープにて差動で測定される ピン配列 12ピン M23カップリング 12ピン M23コネクタ 15ピンD-subコネクタ IK 220用 15ピンD-subコネクタ エンコーダもしくはIK 215用 供給電圧 インクリメンタル信号 12 2 10 11 5 6 8 1 3 4 9 7 / 1 9 2 11 3 4 6 7 10 12 5/8/13/15 14 / 4 12 2 10 1 9 3 11 14 7 5/6/8/15 13 / UP センサ1) UP 0V A+ A– B+ B– R+ R– 空き 空き 空き 茶/緑 青 白/緑 茶 緑 灰 ピンク 赤 黒 / 紫 黄 1) センサ 0V 白 シールド はハウジングへ; UP = 供給電圧 センサ:センサ線は内部にて電源線と接続されています。 未使用のピンまたは線は使用しない事！ 1) LIDA 2xx:空き 42 その他信号 インクリメンタル信号 TTL ハイデンハインエンコーダで TTLインターフェース形式のものは、正弦 波走査信号を分割して、または分割なしで、デ ジタル化する回路を内蔵しています。 異常発生時 信号周期 360° elec. インクリメンタル信号は、90°(elec.) の位相差 をもった矩形波パルスUa1、Ua2として送信され ます。原点信号は1個以上の原点パルスUa0と して出力し、インクリメンタル信号によりゲートが かけられ出力幅が決定されています。さらに、 内蔵電子回路では反転信号¢、£、¤を 発生し、ノイズに強い信号伝送が行えます。 図で表示した信号シーケンス(すなわちUa2が Ua1に遅れて出力される)は、個別の寸法図に 示されている状態で動作した際に得られる信 号です。 4倍評価後の 測定ステップ 反転信号¢、£、¤ は表示していません アラーム信号¥は電源線の断線や光源の 異常などの故障状況を知らせます。 各インターフェースおよび電気的仕様に関し ての詳しい説明が、カタログ ハイデンハインエンコーダのインターフェース に記載されています。 1倍、2倍、4倍評価をした後のインクリメンタル 信号Ua1とUa2の連続する2つのエッジ間の距 離が、1測定分解能となります。 12ピン M23カップリング 12ピン M23コネクタ 15ピンD-subコネクタ IK 220用 15ピンD-subコネクタ エンコーダもしくはPWM 20用 供給電圧 インクリメンタル信号 その他信号 12 2 10 11 5 6 8 1 3 4 7 / 1 9 2 11 3 4 6 7 10 12 14 8/13/15 4 12 2 10 1 9 3 11 14 7 13 5/6/8 UP センサ1) UP 0V Ua1 ¢ Ua2 £ Ua0 ¤ 茶/緑 青 白/緑 茶 緑 灰 ピンク 赤 黒 1) センサ 0V 白 2) ¥ 紫 3) 9 5 3) 15 空き 空き / 黄 シールド はハウジングへ;UP = 供給電圧 センサ:センサ線は内部にて電源線と接続されています。 未使用のピンまたは線は使用しない事！ 1) LIDA 2xx:空き/ 2) ERO 14xx:空き 3) オープンタイプリニアエンコーダ:PWT用にTTL/11 µAPP切換え、もしくは空き 43 電気的接続 ピン配列 インターフェース 位置値 EnDatインターフェースは、エンコーダ用のデジ タル双方向インターフェースです。インクリメン タルエンコーダの位置値の伝送と、エンコーダ に保存された情報の読み出し または更新が 可能で、新しい情報を保存することもできま す。シリアル伝送方式のため、4本の信号線 だけで処理できます。データは後続電子部か らのクロック信号と同期して伝送されます。伝 送のタイプ(位置値、パラメータ、診断等)は、 後続電子部がエンコーダへ送るモードコマンド で選択します。EnDat 2.2モードコマンドのみで しか利用できない機能があります。 区分 コマンドセット インクリメンタル信号 EnDat01 EnDat 2.1 もしくは EnDat 2.2 あり EnDat21 なし EnDat02 EnDat 2.2 あり EnDat22 EnDat 2.2 なし EnDatインターフェースの種類 アブソリュートエンコーダ 後続電子部 インクリメンタル 信号*) » 1 VPP B*) EnDatインターフェ-ス アブソリュート 位置値 各インターフェースおよび電気的仕様に関し ての詳しい説明が、カタログ ハイデンハインエンコーダのインターフェース に記載されています。 » 1 VPP A*) エンコーダメーカのパラメータ オペレーティング オペレーティング OEMメーカの パラメータ ステータス領域 パラメータ EnDat 2.1 *) エンコーダによっ て異なる EnDat 2.2 ピン配列 8ピン M12カップリング 供給電圧 アブソリュート位置値 8 2 5 1 3 4 7 6 UP センサ UP 0V センサ 0 V DATA DATA CLOCK CLOCK 茶/緑 青 白/緑 白 灰 ピンク 紫 黄 17ピン M23カップリング 15ピンD-subコネクタ IK 220用 インクリメンタル信号1) 供給電圧 7 1 10 4 11 15 16 12 13 14 17 8 9 1 9 2 11 13 3 4 6 7 5 8 14 15 UP センサ UP 0V A+ A– B+ B– DATA DATA 茶/緑 青 白/緑 緑/黒 黄/黒 青/黒 赤/黒 灰 ピンク センサ 内部 0V シールド 白 シールド はハウジングへ; UP = 供給電圧 センサ:センサ線は内部にて電源線と接続されています。 未使用のピンまたは線は使用しない事！ 1) インターフェースEnDat01およびEnDat02のみ 44 アブソリュート位置値 / CLOCK CLOCK 紫 黄 ファナックおよび三菱用ピン配列 ファナック用ピン配列 ハイデンハインのエンコーダで、型式の最後に Fが付いているものは、下記のインターフェース 付きのファナック社の制御装置に対応しており ます。 • ファナックシリアルインターフェース – インタフェース 区分: Þインタフェース（標準および高速度、2対通信) • ファナックシリアルインターフェース – iインタフェース 区分: Þiインタフェース(高速度、1対通信) Þインタフェース(標準および高速度、2対通信)と 互換性があります 20ピン ファナックコネクタ 8ピンM12カップリング 供給電圧 アブソリュート位置値 9 18/20 12 14 16 1 2 5 6 8 2 5 1 – 3 4 7 6 UP センサ UP 0V センサ 0V シールド シリアル データ シリアル データ リクエスト リクエスト 茶/緑 青 白/緑 白 – 灰 ピンク 紫 黄 シールドはハウジングへ;UP = 供給電圧 センサ:センサ線は内部にて電源線と接続されています。 未使用のピンまたは線は使用しない事！ 三菱用ピン配列 ハイデンハインのエンコーダで、型式の最後に Mが付いているものは、次のインターフェース 搭載の三菱電機社の制御装置に対応してお ります。 三菱高速シリアルインターフェース • 区分:Mitsu01 4線式 • 区分:Mitsu02-2 Generation 1、 2線式 • 区分:Mitsu03-4 Generation 2、 4線式 • 区分:Mitsu02-4 Generation 1、 4線式 10ピン 三菱コネクタ付 20ピン 三菱コネクタ付 8ピン M12カップリング 供給電圧 アブソリュート位置値 10ピン 1 – 2 – 7 8 3 4 20ピン 20 19 1 11 6 16 7 17 8 2 5 1 3 4 7 6 UP センサ UP 0V センサ 0V リクエスト フレーム リクエスト フレーム 茶/緑 青 白/緑 白 紫 黄 シリアルデータ シリアルデータ 灰 ピンク シールド はハウジングへ; UP = 供給電圧 センサ:センサ線は内部にて電源線と接続されています。 未使用のピンまたは線は使用しない事！ 45 シーメンス用 ピン配列 シーメンス用ピン配列 ハイデンハインのエンコーダで、型式の最後に Sが付いているものは、DRIVE-CLiQインター フェース搭載のシーメンス社の制御装置に対 応しております。 • 区分 DQ01 DRIVE-CLiQはSIEMENS AG社の登録商標です。 RJ45 コネクタ 8ピン M12カップリング 供給電圧 アブソリュート位置値 送信データ A B 3 6 1 2 1 5 7 6 3 4 UP 0V TXP TXN RXP RXN シールドはハウジングへ;UP = 供給電圧 46 受信データ ケーブルと接続部品 一般情報 コネクタ(絶縁のための樹脂コート): スリーブ付。オスとメスがあります。 カップリング(絶縁のための樹脂コート): 外部にネジを切ってあります。オスとメスがあ ります。 アダプタケーブル （エンコーダ側） 記号 記号 M12 M12 M23 M23 フランジソケット:外側にネジ(カップリングと 同様の)が切ってあり、エンコーダまたはハウ ジングに取付けてあります。オス、メスどちら も取り扱っています。 中央留め具付き 組込み型カップリング 取付け用の切り込み M23 フランジ付 組込み型カップリング M23 記号 M23 コネクタのピンは、カップリングまたはフランジソ ケットのピンの反対方向に番号が付けられてい ます。接続部品がオスかメスかは関係ありま せん。 オス メス 接続された状態で、保護等級はIP 67です。 (D-subコネクタ:IP 50;RJ-45:IP 20;EN 60 529) 接続されていない状態では、防水されていま せん。 D-subコネクタ:デジタル表示カウンタおよび IKインターフェースボード用です。 記号 フランジソケットおよび 組込み型M23カップリング用 アクセサリ（別売） ベルシール ID 266526-01 埃よけキャップ ID 219926-01 1) インターフェース回路内蔵の場合 47 アダプタケーブル ケーブル ¬ LB 382 LF 185/485 LS 187/177 LS 487/477 アダプタケーブル 12ピンM23カップリング(オス)付 6 mm 310128-xx 360645-xx アダプタケーブル コネクタなし 6 mm 310131-xx 354319-xx アダプタケーブル 12ピンM23コネクタ(オス)付 6 mm 4.5 mm 310127-xx – 344228-xx 1) 352611-xx 金属保護アダプタケーブル 12ピンM23コネクタ(オス)付 10 mm 310126-xx 344451-xx アダプタケーブル 15ピンD-subコネクタ付 6 mm 298429-xx 360974-xx ケーブル ¬ LC 185 LC 485 LC 281 アダプタケーブル 17ピンM23カップリング(オス)付 6 mm 533631-xx 金属保護アダプタケーブル 17ピンM23カップリング(オス)付 10 mm 558362-xx アダプタケーブル 15ピンD-subコネクタ付 6 mm 558714-xx ケーブル ¬ LC 115 LC 415 LC 211 4.5 mm 533661-xx 10 mm 550678-xx 6 mm 1083369-xx インクリメンタルリニアエンコーダ用 PUR [6(2 x 0.19 mm2)]; AP = 0.19 mm2 AP = 電源線の断面積 1) PUR [4(2 x 0.05 mm2) + (4 x 0.14 mm2)]; AP = 0.14 mm2 アブソリュートリニアエンコーダ用 –EnDat(インクリメンタル信号付) PUR [6(2 x 0.19 mm2)]; AP = 0.19 mm2 供給可能ケーブル長:1 m/3 m/6 m/9 m AP = 電源線の断面積 アブソリュートリニアエンコーダ用 –EnDat(インクリメンタル信号なし) PUR [4(2 x 0.14 mm2)]; AP = 0.14 mm2 アダプタケーブル 8ピンM12カップリング(オス)付 M12 金属保護アダプタケーブル 8ピンM12カップリング(オス)付 M12 アダプタケーブル 25ピンD-subコネクタ付 AP = 電源線の断面積 1) PUR [2(2 x 0.9 mm2) + (2 x 0.14 mm2)]; AP = 0.14 mm2 48 1) アブソリュートリニアエンコーダ – シーメンス用 ケーブル ¬ LC 195 S LC 495 S アダプタケーブル 8ピンM12カップリング(オス)付 6.8 mm 805452-xx 金属保護アダプタケーブル 8ピンM12カップリング(オス)付 11.1 mm 816675-xx アダプタケーブル RJ45(IP 20)シーメンスコネクタ付 6.8 mm 805375-xx ケーブル ¬ LC 195 F LC 495 F LC 291 F アダプタケーブル 17ピンM23カップリング(オス)付 6 mm 4.5 mm – 547300-xx 金属保護アダプタケーブル 17ピンM23カップリング(オス)付 10 mm 555541-xx PUR [2(2 x 0.17 mm2) + (2 x 0.24 mm2)]; AP = 0.24 mm2 アブソリュートリニアエンコーダ – ファナック用 2 2 PUR [4(2 x 0.14 mm )]; AP = 0.14 mm アダプタケーブル 8ピンM12カップリング(オス)付 M12 4.5 mm 533661-xx 金属保護アダプタケーブル 8ピンM12カップリング(オス)付 M12 10 mm 550678-xx アダプタケーブル 20ピンファナックコネクタ付 4.5 mm 545547-xx 金属保護アダプタケーブル 20ピンファナックコネクタ付 10 mm 551027-xx アブソリュートリニアエンコーダ – 三菱用 ケーブル ¬ LC 195 M LC 495 M LC 291 M アダプタケーブル 17ピンM23カップリング(オス)付 6 mm 4.5 mm – 547300-xx 金属保護アダプタケーブル17ピン M23カップリング(オス)付 10 mm 555541-xx PUR [4(2 x 0.14 mm2)]; AP = 0.14 mm2 アダプタケーブル 8ピンM12カップリング(オス)付 M12 4.5 mm 533661-xx 金属保護アダプタケーブル 8ピンM12カップリング(オス)付 M12 10 mm 550678-xx アダプタケーブル 10ピン三菱コネクタ付 20ピン三菱コネクタ付 4.5 mm 4.5 mm 640915-xx 599685-xx 金属保護アダプタケーブル 10ピン三菱コネクタ付 20ピン三菱コネクタ付 10 mm 10 mm 640916-xx 599688-xx 供給可能ケーブル長:1 m/3 m/6 m/9 m AP = 電源線の断面積 49 接続ケーブル » 1 VPP TTL EnDat 12ピン 17ピン 8ピン M23 M23 M12 » 1 VPP « TTL EnDat (インクリメンタル 信号付) EnDat (インクリメンタル 信号なし) SSI PUR被覆接続ケーブル 2 2 2 ¬ 6 mm 8ピン: [(4 × 0.14 mm ) + (4 × 0.34 mm )]; AP = 0.34 mm 2 2 2 ¬ 8 mm 12ピン: [4(2 × 0.14 mm ) + (4 × 0.5 mm )]; AP = 0.5 mm 2 2 2 2 17ピン: [(4 × 0.14 mm ) + 4(2 × 0.14 mm ) + (4 × 0.5 mm )]; AP = 0.5 mm ¬ 8 mm 両側 コネクタ(メス)とカップリング(オス)付 298401-xx 323897-xx 368330-xx 両側 コネクタ(メス)とコネクタ(オス)付 298399-xx – – 両側 コネクタ(メス)とDsubコネクタ(メス)付、IK220用 310199-xx 332115-xx 533627-xx 両側 コネクタ(メス)とD-subコネクタ(オス)付、 IK 115/IK 215用 310196-xx 324544-xx 524599-xx 片側 コネクタ (メス) 309777-xx 309778-xx 634265-xx ケーブルのみ 816317-xx 816322-xx 816329-xx ケーブル ¬ 8 mm用 291697-05 291697-26 – 接続ケーブルのコネクタ エンコーダケーブルの カップリングへの接続用 コネクタ(メス) 接続ケーブル用コネクタ 後続電子部への接続用 コネクタ (オス) ケーブル ¬ 4.5 mm用 291697-06 ¬ 8 mm用 291697-08 ¬ 6 mm用 291697-07 291697-27 – 接続ケーブル用カップリング カップリング(オス) ケーブル ¬ 4.5 mm用 291698-14 ¬ 6 mm用 291698-03 ¬ 8 mm用 291698-04 291698-25 291698-26 291698-27 – フランジソケット 後続電子部への接続用 フランジソケット(メス) 315892-08 315892-10 – 取付け用カップリング フランジ(メス)付 ¬ 6 mm 291698-17 ¬ 8 mm 291698-07 291698-35 – フランジ (メス)付 ¬ 6 mm 291698-08 ¬ 8 mm 291698-31 291698-41 291698-29 – 中央留め具付 (オス) ¬ 6 mm 741045-01 ～ 10 mm 741045-02 – – – アダプタコネクタ » 1 VPP/11 µAPP 後続電子部用に 1 VPP出力信号を11 µAPP入 力信号に変換。12ピンM23コネクタ(メス)およ び9ピンM23コネクタ(オス) AP:電源線の断面積 50 364914-01 接続ケーブル ファナック 三菱 シーメンス ケーブル ファナック 三菱 両側 17ピンM23 コネクタ（メス）と ファナックコネクタ付 2 2 [(2 x 2 x 0.14 mm ) + (4 x 1 mm )]; 2 AP = 1 mm ¬ 8 mm 534855-xx – 両側 17ピンM23 コネクタ（メス）と 20ピン三菱コネクタ付 [(2 x 2 x 0.14 mm2) + (4 x 0.5 mm2)]; AP = 0.5 mm2 ¬ 6 mm – 367958-xx ¬ 8 mm – 573661-xx ¬ 8 mm 816327-xx ケーブル ファナック PUR被覆接続ケーブル（M23コネクタ/カップリング用） 両側 17ピンM23 コネクタ（メス）と 10ピン三菱コネクタ付 [(2 x 2 x 0.14 mm2) + (4 x 1 mm2)]; AP = 1 mm2 20ピン 10ピン ケーブルのみ [(2 x 2 x 0.14 mm2) + (4 x 1 mm2)]; AP = 1 mm2 三菱 PUR被覆接続ケーブル(M12 コネクタ/カップリング用) [(1 x 4 x 0.14 mm2) + (4 x 0.34 mm2)]; AP = 0.34 mm2 両側 8ピンM12コネクタ（メス）と ファナックコネクタ付 ¬ 6 mm 646807-xx – 両側 8ピンM12コネクタ（メス）と 20ピン三菱コネクタ付 ¬ 6 mm – 646806-xx ¬ 6 mm – 647314-xx ケーブル シーメンス 両側 8ピンM12コネクタ（メス）と 10ピン三菱コネクタ付 20ピン 10ピン PUR被覆接続ケーブル(M12 コネクタ/カップリング用) [2(2 x 0.17 mm2) + (2 x 0.24 mm2)]; AP = 0.24 mm2 両側 8ピンM12コネクタ(メス)と 8ピンM12カップリング(オス)付 ¬ 6.8 mm 822504-xx 両側 8ピンM12コネクタ(メス)と シーメンスRJ45コネクタ (IP 67) ケーブル長:1 m ¬ 6.8 mm 1094652-01 両側 8ピンM12コネクタ(メス)と シーメンスRJ45コネクタ (IP 20) ¬ 6.8 mm 1093042-xx AP:電源線の断面積 51 診断・検査機器 ハイデンハイン製エンコーダから、調整、監視、 診断に必要な全ての情報を入手できます。ア ブソリュートエンコーダかインクリメンタルかどう か、そして出力インターフェースの種類によっ て、入手可能な情報が異なります。 インクリメンタルエンコーダは、主に1 VPP、TTL もしくはHTLインターフェースを搭載しています。 TTLおよびHTL出力のエンコーダは内部で信 号振幅の監視を行い、簡単なアラーム信号を 生成します。1 VPP信号の場合は、別の検査 用機器もしくは後続電子機器（アナログ診断イ ンターフェース）の処理機能を用いてのみ出力 信号の解析を行うことが可能です。 アブソリュートエンコーダは、シリアルデータ伝 送を行います。インターフェースの種類により 異なりますが、1 VPPのインクリメンタル信号を 出力できるアブソリュートエンコーダもあります。 エンコーダ内部で総合的に信号の監視を行い ます。シリアルインターフェース経由にて監視 結果（特に評価番号を用いた場合）を位置値 とともに後続電子機器（デジタル診断インター フェース）に伝送することが可能です。 以下の情報を伝送可能です。 • エラーメッセージ: 不正確な位置値 • 警告: エンコーダにあらかじめ設定した限界値に達 している • 評価番号: – エンコーダに保存されている詳細情報 – 全てのハイデンハイン製エンコーダの スケーリングを統一 – 周期的出力が可能 これら機能により後続電子機器がクローズド ループ制御においてエンコーダの現在の状況 を低コストで評価することが可能です。 ハイデンハインは、エンコーダの解析に適してい る検査機器PWMやPWTを用意しています。 診断方法には以下の2種類があり、検査機器 の接続方法により異なります。 • エンコーダ診断: エンコーダに検査機器を直接接続する。 これによりエンコーダを総合的に解析するこ とが可能です。 • 制御ループ内での診断: 位相角測定装置PWMをアダプタを用いて クローズド制御ループ内に組込むことが可能 です。これによりエンコーダを搭載した機械も しくはシステムを運転中でのリアルタイム診 断が可能です。機能はインターフェースの種 類により異なります。 52 PWM 20/ATS ソフトウェアを用いた診断 PWM 20/ATS ソフトウェアを用いた調整 PWM 20 ハイデンハイン製エンコーダの診断および調整 用として、ATSソフトウェアと位相角測定装置 PWM 20をセットで用意しています。 PWM 20 エンコーダ入力 • EnDat 2.1 またはEnDat 2.2 (インクリメンタル信号「あり」もしくは「なし」のアブソリュート値） • DRIVE-CLiQ • ファナックシリアルインターフェース • 三菱高速シリアルインターフェース • 安川シリアルインターフェース • SSI • 1 VPP/TTL/11 µAPP インターフェース USB 2.0 供給電圧 AC 100 ～240 V もしくは DC 24 V 寸法 258 mm x 154 mm x 55 mm ATS 表示言語 ドイツ語 または 英語を選択 機能 • • • • • • システム要件 PC (デュアルコアプロセッサ搭載、クロック周波数 2 GHz以上) RAM 容量 2 GB以上 対応OS:Windows XP、Vista、7 (32 ビット版/64ビット版)、8 200 MBのハードディスク空き容量 位置値表示 接続用対話画面 診断 EBI/ECI/EQI、LIP 200、LIC 4000等用取付け操作ガイド 付加機能(エンコーダによりサポートされている場合) メモリ内容 DRIVE-CLiQはSIEMENS AG社の登録商標です。 PWM9はハイデンハインのインクリメンタルエン コーダをチェック・調整する測定装置です。 各種エンコーダ信号のチェックに使用できるよ うに各種拡張モジュールを用意しています。 測定値は、LCDモニタに表示されます。ソフト キーを使って簡単に操作で きます。 PWM 9 入力 11µAPP; 1VPP; TTL; HTL; EnDat*/SSI*/磁極検出位置信号用 の拡張モジュール(インターフェース) *位置値またはパラメータの表示なし 機能 • 信号振幅、消費電力、動作電圧、走査周波数の測定 • インクリメンタル信号(信号振幅、位相角、on/off比) と原点信 号(幅と長さ)のグラフ表示 • 原点検出、故障検出、カウント方向のシンボル表示 • 汎用カウンタ、1～1024倍の内挿分割を選択可能 • オープンタイプリニアエンコーダ用信号調整 出力 • 後続電子部に接続し信号を入力 • オシロスコープ接続用のBNCソケットコネクタ 供給電圧 DC 10 ～ 30 V、最大 15 W 寸法 150 mm × 205 mm × 96 mm 53 インターフェースユニット ハイデンハイン製インターフェースユニットは、エ ンコーダ信号を後続電子機器に中継します。 後続電子部がハイデンハイン製エンコーダから の出力信号を直接受信できない場合や高い 分割倍率を必要とする場合に使用できます。 インターフェースユニットの入力信号 ハイデンハイン製インターフェースユニットには 正弦波アナログ出力の1 VPP (電圧信号) もしく は11 µAPP(電流信号)を接続することができま す。EnDatもしくは SSIシリアルインターフェース 搭載のエンコーダも接続可能なインターフェー スユニットも用意しています。 インターフェースユニットの出力信号 以下の信号形式を出力するインターフェース ユニットを用意しています。 • TTL 矩形波信号 • EnDat 2.2 • DRIVE-CLiQ • ファナックシリアルインターフェース • 三菱高速シリアルインターフェース • 安川シリアルインターフェース • PROFIBUS ボックスタイプ コネクタタイプ 正弦波入力信号の内挿分割 インターフェースユニット内では、信号変換の 他に正弦波信号を内挿分割することも可能で す。これにより高い分解能が達成できるため、 より高品質の制御や位置決め精度の向上が 可能になります。 位置値の計算 インターフェースユニットの中には計数機能を 搭載したものを用意しています。絶対番地化 コード付き目盛において最後に通過した原点 から次の原点を通過した際に絶対位置値を 生成し後続電子部に出力します。 組込み基板タイプ DINレール取付けタイプ 54 形状タイプ - 保護等級 内挿分割1) 型式 ボックスタイプ – IP 65 5/10倍 IBV 101 20/25/50/100倍 IBV 102 分割なし IBV 600 25/50/100/200/400倍 IBV 660 B コネクタタイプ – IP 40 5/10/20/25/50/100倍 APE 371 組込み基板タイプ – IP 00 5/10倍 IDP 181 20/25/50/100倍 IDP 182 5/10倍 EXE 101 20/25/50/100倍 EXE 102 なし/5倍 EXE 602 E 25/50/100/200/400倍 EXE 660 B 組込み基板タイプ – IP 00 5倍 IDP 101 ボックスタイプ – IP 65 2倍 IBV 6072 5/10倍 IBV 6172 5/10倍 および 20/25/50/100倍 IBV 6272 ボックスタイプ – IP 65 ≦ 16 384分割 EIB 192 コネクタタイプ – IP 40 ≦ 16 384分割 EIB 392 2 ボックスタイプ – IP 65 ≦ 16 384分割 EIB 1512 出力 入力 インターフェース 軸数 インターフェース 軸数 TTL » 1 VPP 1 1 » 11 µAPP TTL/ » 1 VPP 切換可 EnDat 2.2 DRIVE-CLiQ 2 1 1 1 » 1 VPP » 1 VPP 1 ボックスタイプ – IP 65 1 EnDat 2.2 1 ボックスタイプ – IP 65 – EIB 2391 S ファナック 1 シリアル インターフェース » 1 VPP 1 ボックスタイプ – IP 65 ≦ 16 384分割 EIB 192 F コネクタタイプ – IP 40 ≦ 16 384分割 EIB 392 F 2 ボックスタイプ – IP 65 ≦ 16 384分割 EIB 1592 F 1 ボックスタイプ – IP 65 ≦ 16 384分割 EIB 192 M コネクタタイプ – IP 40 ≦ 16 384分割 EIB 392 M 2 ボックスタイプ – IP 65 ≦ 16 384分割 EIB 1592 M 1 コネクタタイプ – IP 40 – EIB 3391 Y 1 DINレール取付けタイプ – PROFIBUS ゲートウェイ 三菱高速 1 シリアル インターフェース » 1 VPP 安川シリアル 1 インターフェース EnDat 2.22) PROFIBUS-DP 1 EnDat 2.1 1) 2) 切換可 EnDat 2.2 分解能5nmのLIC 4100と分解能50 nmと100 nmのLIC 2100のみ 55 http://www.heidenhain.co.jp 本社 名古屋営業所 大阪営業所 九州営業所 〒102-0083 東京都千代田区麹町3-2 ヒューリック麹町ビル9F (03) 3234-7781 (03) 3262-2539 〒460-0002 名古屋市中区丸の内3-23-20 HF桜通ビルディング10F (052) 959-4677 (052) 962-1381 〒532-0011 大阪市淀川区西中島6-1-1 新大阪プライムタワー16F (06) 6885-3501 (06) 6885-3502 〒802-0005 北九州市小倉北区堺町1-2-16 十八銀行第一生命共同ビルディング6F (093) 511-6696 (093) 551-1617 ドイツ本社 DE BE BG BR BY CA CH CN HEIDENHAIN Scandinavia AB 7300 Orkanger, Norway www.heidenhain.no DK TP TEKNIK A/S 2670 Greve, Denmark www.tp-gruppen.dk PH Machinebanks` Corporation Quezon City, Philippines 1113 E-mail: info@machinebanks.com FARRESA ELECTRONICA S.A. 08028 Barcelona, Spain www.farresa.es PL APS 02-384 Warszawa, Poland www.heidenhain.pl FI PT HEIDENHAIN Technisches Büro Nord 12681 Berlin, Deutschland 030 54705-240 HEIDENHAIN Scandinavia AB 02770 Espoo, Finland www.heidenhain.fi FARRESA ELECTRÓNICA, LDA. 4470 - 177 Maia, Portugal www.farresa.pt FR RO HEIDENHAIN Technisches Büro Mitte 07751 Jena, Deutschland 03641 4728-250 HEIDENHAIN FRANCE sarl 92310 Sèvres, France www.heidenhain.fr HEIDENHAIN Reprezentant¸a˘ Romania Bras¸ov, 500407, Romania www.heidenhain.ro GB HEIDENHAIN (G.B.) Limited Burgess Hill RH15 9RD, United Kingdom www.heidenhain.co.uk RS Serbia BG RU MB Milionis Vassilis 17341 Athens, Greece www.heidenhain.gr OOO HEIDENHAIN 115172 Moscow, Russia www.heidenhain.ru SE HEIDENHAIN LTD Kowloon, Hong Kong E-mail: sales@heidenhain.com.hk HEIDENHAIN Scandinavia AB 12739 Skärholmen, Sweden www.heidenhain.se SG HEIDENHAIN PACIFIC PTE LTD. Singapore 408593 www.heidenhain.com.sg HEIDENHAIN Technisches Büro Südost 83301 Traunreut, Deutschland 08669 31-1345 AU NO ES HEIDENHAIN Technisches Büro Südwest 70771 Leinfelden-Echterdingen, Deutschland 0711 993395-0 AT HEIDENHAIN s.r.o. 102 00 Praha 10, Czech Republic www.heidenhain.cz HEIDENHAIN Vertrieb Deutschland 83301 Traunreut, Deutschland 08669 31-3132 08669 32-3132 E-Mail: hd@heidenhain.de HEIDENHAIN Technisches Büro West 44379 Dortmund, Deutschland 0231 618083-0 AR CZ GR HK HR Croatia SL HU SK NAKASE SRL. 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