Manual Positioners XZ軸フラットスチールステージ XZ軸フラットスチールステージ TSD-604 ステージサイズ□60mm TSD-654 ステージサイズ□65mm ボールガイドのX軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。 アプリケーション システム ご案内 ▶真空用途にお使いいただけるステンレスタイプ (TSDS-604/654) もご用意 しています。 光学素子 E206 注意 ホルダー ▶Z軸は構造上、 ステージ内のバネが負荷に耐え切れず伸びてしまうおそれが あるため天地逆転の方向で設置し使用することができません。 ▶Z軸はテコの原理を応用した構造のため、 移動量の位置により目盛に対する ベース 送り量にズレ (マイクロメータヘッド0.5mm/1回転に対して±0.02mm 程度) が生じます。 手動ステージ アクチュエータ 自動ステージ 光源 索引 ガイダンス X軸 XY軸 Z軸 XZ軸 XYZ軸 回転 ゴニオ 傾斜 真空 仕様 TSD-604C TSD-604S TSD-654C-M6 INCH − − TSD-654CUU TSD-654SUU METRIC − TSD-604SR − TSD-654SR-M6 METRIC 品番 (勝手違い) − − − TSD-654SRUU 価格 〔¥〕 69,000 69,000 73,000 73,000 テーブル面サイズ 〔mm〕 60×60 60×60 65×65 65×65 INCH 軸タイプ XZ軸 マイクロ操作位置 移動量 〔mm〕 センター サイド センター サイド X軸±6.5 Z軸±5 X軸±6.5 Z軸±5 X軸±6.5 Z軸±5 X軸±6.5 Z軸±5 移動量/1回転 〔mm/1回転〕 0.5 0.5 0.5 0.5 マイクロメータ最小読取 〔mm〕 0.01 0.01 0.01 0.01 移動ガイド ボールガイド クロスローラ アリ溝 すり合わせ ネジ式V溝 その他 □15mm □25mm TSD-654S-M6 ボールガイド 主要材質 鉄 表面処理 スーパーブラッククロム+黒つや消し 耐荷重 〔N〕 移動精度 許容モーメント荷重 モーメント剛性 147 (15.0kgf) 147 (15.0kgf) 147 (15.0kgf) 147 (15.0kgf) 真直度 〔μm〕 2.5 2.5 2.5 2.5 ピッチング 〔N・m〕 6.9 6.9 6.9 6.9 ローリング 〔N・m〕 6.9 6.9 6.9 6.9 ピッチング 〔″/N・cm〕 0.73 0.73 0.73 0.73 ローリング 〔″/N・cm〕 0.64 0.64 0.64 0.64 平行度 〔μm〕 110 110 110 110 オプション FP FP FP FP 質量 〔kg〕 1.5 1.5 1.7 1.7 □40mm □60mm □65mm □80mm □100mm □120mm その他 E118 オプション 注)オプション費用は、1軸分の金額となります。 オプションコード FP 適応機種 品名 ファインピッチスクリューアジャスター 品番 FPSA-62540 移動量/1回転 〔mm/1回転〕 マイクロ最小読取 〔mm〕 オプション費用 オプション 解説ページ 0.25 − −¥3,000 E008 ※品番末尾にオプションコードを追加し、各種オプション仕様をご指示ください。 ※FPタイプの耐荷重は、39.2N (4.0kgf) となります。 ※FPタイプは、駆動操作用として六角レンチまたは別売のツマミ付六角レンチ (KCL) が必要となります。 F010 WEB http://www.sigma-koki.com/ E-mail sales@sigma-koki.com カタログ コード カタログ コード W7060 W7137 外形図 TSD-604C MAX44 60 25 25 32 MAX66 X軸クランプ 光学素子 50 60 (11) 25 25 32 7-M4 深6 アプリケーション システム 六角穴付ボルト M4×6…4本 ホルダー M16 P1 深6 4-M3 深6 ベース 33 手動ステージ 18 10.5 73±5 55 Z軸クランプ TSD-604SR 六角穴付ボルト M4×6…4本 X軸クランプ 4-M3 深6 六角穴付ボルト M4×6…4本 60 25 25 32 4-M3 深6 M16 P1 深6 MAX88 65 55 73±5 XY軸 Z軸 六角穴付ボルト M6×6…4本 (M6) 六角穴付ボルト (黒)1/4-20UNC×1/4…4本 (UU) MAX69 A X軸 1.5 1.5 A ガイダンス 18 10.5 10.5 73±5 55 18 (11) 7-C 深6 50 4-φ4.5取付穴 φ8ザグリ 4-φ4.5取付穴 φ8ザグリ TSD-654C-M6/654CUU 索引 33 Z軸クランプ Z軸クランプ 50 光源 MAX44 33 MAX88 X軸クランプ 32 25 25 60 M16 P1 深6 自動ステージ 7-M4 深6 50 60 25 25 32 MAX44 60 (11) 25 25 32 7-M4 深6 アクチュエータ 50 TSD-604S 4-φ4.5取付穴 φ8ザグリ (11) 1.5 50 XZ軸 X軸クランプ 回転 A B 65 A XYZ軸 MAX41 ゴニオ Z軸クランプ 傾斜 35 20 12 1.5 B TSD-654C-M6 TSD-654CUU 4-φ7取付穴 φDザグリ TSD-654S-M6/654SUU M6 P1 1/4-20UNC X軸クランプ クロスローラ 65 A A 7-C 深6 (5) アリ溝 X軸クランプ すり合わせ ネジ式V溝 B 65 B 65 その他 A A MAX41 MAX41 35 MAX91 Z軸クランプ 55 □25mm □40mm □60mm □65mm 20 品番 TSD-654S-M6 TSD-654SUU B 4-φ7取付穴 φDザグリ 4-φ7取付穴 φDザグリ A (mm) 25 25.4 B (mm) 50 50.8 C M6 P1 1/4-20UNC D (mm) 11 12 品番 TSD-654SR-M6 TSD-654SRUU B □80mm 1.5 1.5 20 12.5 55 Z軸クランプ □15mm 35 75±5 MAX91 75±5 ボールガイド A A A (11) D (mm) 11 12 C 六角穴付ボルト M6×6…4本 (M6) 六角穴付ボルト (黒)1/4-20UNC×1/4…4本 (UU) 65 A B (mm) 50 50.8 TSD-654SR-M6/654SRUU 六角穴付ボルト M6×6…4本 (M6) 六角穴付ボルト (黒)1/4-20UNC×1/4…4本 (UU) 7-C 深6 A (mm) 25 25.4 (11) 75±5 55 真空 品番 □100mm A (mm) 25 25.4 B (mm) 50 50.8 C M6 P1 1/4-20UNC D (mm) 11 12 TOKYO TEL.03-5638-6551 FAX.03-5638-6550 OSAKA TEL.06-6307-4835 FAX.06-6307-4834 KYUSHU TEL.092-481-4300 FAX.092-481-4310 □120mm その他 E119
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