XY軸アルミクロスローラステージ XY軸マグネット付アルミクロスローラ

M a n u a l
P o s i t i o n e r s
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XY軸アルミクロスローラステージ
XY軸マグネット付アルミクロスローラステージ
干渉計
アプリケーション
システム
TAM-602 ステージサイズ□60mm
TAG-602S ステージサイズ□60mm
アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、軽量で高精度な直動ステージです。
◦TAG-602Sは、薄型マグネットベースの上面をステージの下面として利用したマグネットベース一体型の当社オリジナル製品です。
±6.5
mm
移 動 量
光学素子
32mm 38mm 49.6
mm
ステージ厚
ホルダー
49N 196N 343N
耐 荷 重
光源
※TAG-602Sは除く
(20.0kgf) (35.0kgf)
(5.0kgf)
ベース
手動ステージ
自動ステージ
アクチュエータ
索引
ご案内
ガイダンス
X軸
XY軸
Z軸
XZ軸
XYZ軸
注意
▶TAG-602Sは、
送り仕様にファインピッチスクリューを使用
したタイプ
(品番末尾FP)
もご用意しています。
W7034
▶品番末尾にFPがついている製品は、
ファインピッチスク
リューを使用しています。一般的なマイクロメータヘッドではありませんので、
ご注意ください。
ネジピッチ0.25mmで操作する際には、六角レンチまたは別売のツマミ付
六角レンチ
(KCL)
が必要となります。 テーブル面サイズ
〔mm〕
ゴニオ/傾斜
移動量
〔mm〕
ボールガイド
アリ溝
すり合わせ
±6.5
クロスローラ
主要材質
アルミ
表面処理
黒アルマイト
耐荷重
〔N〕
196
(20.0kgf)
真直度
〔μm〕
移動精度
許容モーメント荷重
□15㎜
□25㎜
60×60
移動ガイド
ネジ式V溝
その他
H010
仕様
回転
クロスローラ
▶マイクロメータヘッドを固定している部品やマイクロメータヘッドの種類により
ステージ上面から突出している場合があります。
▶ステージに取り付ける試料の形状により、固定出来ない場合や移動量が
確保出来ない場合がありますのでご注意ください。
モーメント剛性
2
ピッチング
〔″〕
25(但し、
TAG-602Sは40)
ヨーイング
〔″〕
15(但し、
TAG-602Sは30)
ピッチング
〔N・m〕
5.8(但し、
TAG-602Sは4.9)
ローリング
〔N・m〕
5.8(但し、
TAG-602Sは4.9)
ヨーイング
〔N・m〕
5.8(但し、
TAG-602Sは4.9)
ピッチング
〔″/N・cm〕
0.6(但し、
TAG-602Sは0.6)
ローリング
〔″/N・cm〕
0.6(但し、
TAG-602Sは−)
ヨーイング
〔″/N・cm〕
□40㎜
−
□50㎜
平行度
〔μm〕
50(但し、
TAG-602Sは80)
□60㎜
移動平行度
〔μm〕
20(但し、
TAG-602Sは25)
□70㎜
□80㎜
□100㎜
□120㎜
その他
品番
TAM-602C
TAM-602CFP
TAM-602S
TAM-602SFP
−
−
TAM-602SR
TAM-602SRFP
勝手違い品番
価格
〔¥〕
56,000
マイクロ操作位置
56,000
50,000
TAG-602S
−
−
−
110,000
86,000※
64,000
センター
センター
サイド
サイド
サイド
サイド
サイド
移動量/1回転
〔mm/1回転〕
0.5
0.25
0.5
0.25
粗:0.5
微:0.025
粗:0.25
微:0.005
0.5
マイクロメータ最小読取
〔mm〕
0.01
−
0.01
−
粗:0.01
微:0.0005
粗:0.005
微:0.0005
0.01
0.6
0.6
0.6
0.6
0.72
0.6
0.67
質量
〔kg〕
納期の目安
※この製品は価格改訂されています。
G068
50,000
TAM-602SDM TAM-602SWP
TOKYO TEL.03-5638-6551 FAX.03-5638-6550
OSAKA TEL.06-6307-4835 FAX.06-6307-4834
KYUSHU TEL.092-481-4300 FAX.092-481-4310
カタログ
コード
カタログ
コード
W7033
W7034
干渉計
外形図
25
(14)
TAM-602CFP
25
六角穴付ボルト
M4×8・・・4本
3mm
25
25
光源
30.5
TAM-602SR
8-M4 深7
六角穴付ボルト
M4×8・・・4本
21
60
25
手動ステージ
Y軸クランプ
25
アクチュエータ
25
25
21
21
50
50
25
MAX88
60
15.5
2.5
Y軸クランプ 12.3
21
4-φ4.5取付穴
φ8ザグリ
MAX88
25
(14)
ベース
(14)
60
50
60
25
TAM-602SRFP
38
60
25
ガイダンス
21
Y軸クランプ
25
MAX69
MAX69
M16 P1 深6
21
六角穴付ボルト
M4×8・・・4本
Y軸クランプ
M16 P1 深6
8-M4 深7
24.8
25
25
8-M4 深7
43.8
27.3
□40㎜
□50㎜
25
□100㎜
25
60
4-φ4.5取付穴
φ8ザグリ
□80㎜
□120㎜
(17)
25
50
□25㎜
□70㎜
60
MAX86
25
21
□15㎜
□60㎜
21
TAG-602S
M16 P1 深6
(14)
その他
19.3
Y軸クランプ
45
(16.3)
34.3
(103)
38
MAX86
2.5
4-φ4.5取付穴
φ8ザグリ
すり合わせ
ネジ式V溝
その他
X軸クランプ
27.3
38
50
ボールガイド
アリ溝
24.8
25
21
MAX124
X軸クランプ
12.3
クロスローラ
60
50
60
Y軸クランプ
25
25
MAX124
25
60
ゴニオ/傾斜
(103)
25
(14)
TAM-602SWP
4-φ4.5取付穴
φ8ザグリ
(14)
25
12.3
50
50
60
38
27.3
4-φ4.5取付穴
φ8ザグリ
(14)
M16 P1 深6
8-M4 深7
2.5
六角穴付ボルト
M4×8・・・4本
回転
2.5
27.3
38
2.5
(14)
TAM-602SDM
50
XYZ軸
12.3
X軸クランプ
X軸クランプ
Z軸
XZ軸
21
21
M16 P1 深6
X軸
XY軸
60
50
MAX69
60
25
25
3mm
25
2.5
8-M4 深7
六角穴付ボルト
M4×8・・・4本
(14)
MAX69
21
25
4-φ4.5取付穴
φ8ザグリ
50
Y軸クランプ 12.3
12.3
(14)
60
25
27.3
27.3
38
2.5
(14)
M16 P1 深6
50
X軸クランプ
(14)
8-M4 深7
4-φ4.5取付穴
φ8ザグリ
50
自動ステージ
索引
MAX88
MAX88
25
3mm
M16 P1 深6
38
15.5
38
2.5
(14)
(14)
8-M4 深7
X軸クランプ
六角穴付ボルト
M4×8・・・4本
ホルダー
8-M4 深7
30.5
4-φ4.5取付穴
φ8ザグリ
50
アプリケーション
システム
光学素子
Y軸クランプ
M16 P1 深6
TAM-602SFP
X軸クランプ
25
MAX48
M16 P1 深6
25
六角穴付ボルト
M4×8・・・4本
MAX48
60
50
60
25
MAX66
8-M4 深7
Y軸クランプ
TAM-602S
60
50
X軸クランプ
(14)
25
MAX66
25
六角穴付ボルト
M4×8・・・4本
60
(14)
(14)
TAM-602C
X軸クランプ
G069