E4990A 20Hz∼10/20/30/50/120MHz インピーダンス・アナライザ E4991B 1MHz∼500MHz/1GHz/3GHz インピーダンス・アナライザ 真のインピーダンス測定には高確度、 広測定範囲のイピーダンス・アナライザのみが実現 E4990A インピーダンス・アナライザ、 20Hz∼10/20/30/50/120MHz 新世代4端子対オートバランス・ブリッジ採用 インピーダンス・アナライザ 4294A 後継機種 高確度測定 基本確度 0.045% 代表値、0.08% 仕様 低インピーダンスから高インピーダンスまで最高の性能 治具の誤差を除去：オープン／ショート／ロード補正 上限周波数で 5 モデルから選択可能 20Hz∼10MHzモデルなら約 240 万円から 高速測定 3ms/ 点（ 120MHzモデル opt. 120 ） 30ms/ 点（ 10 、20 、30 、50MHzモデル） トレースノイズ 4294A 比で 1/10に改善 等価回路解析機能搭載 4トレース／チャネル、4チャネル同時使用可能 例） Ch1：広帯域 Z 測定 Ch3：AC 依存性測定 Ch2：狭帯域 Z 測定 Ch4：DCバイアス依存性測定 使いやすい新プラットフォーム Windows 7 embedded system 10.4インチ、タッチスクリーン・ディスプレイ 前面に2 、背面に4 個の USB I/F 小型 奥行約 30cm のコンパクト設計 E4990A Option 120 （120 MHz） アクセサリ対応表 4端子対用フィクスチャ E4990A 低周波モデル （10/20/30/50 MHz） 使用可能 ケーブル長 0 m / 1 m / 2 m 16451B 誘電体テストフィクスチャ 使用可能 42941A インピーダンスプローブ 42942A + 161xxA 7mm フィクスチャ 42942A + 16454A 使用可能 120 MHzまで 磁性体テストフィクスチャ 使用不可 120 MHzモデルに アップグレード必要 仕 様 周波数 20 Hz ∼ 10 / 20 / 30 / 50 / 120 MHz 出力信号レベル 5 mV ∼ 1 V、200 uA ∼ 20 mA 測定速度 3 ms/ 点 ＠ f> = 500 kHz、BW = 1（Fast） 測定範囲 3 m Ω∼ 500 m Ω 補正機能 オープン／ショート／ロード補正 オーダー情報 E4990A インピーダンス・アナライザ 20Hz ∼ 10/20/30/50/120MHz ¥170,180 Opt. 120 周波数範囲 20 Hz ∼ 120 MHz ¥4,809,300 Opt. 050 周波数範囲 20 Hz ∼ 50 MHz ¥3,763,800 Opt. 030 周波数範囲 20 Hz ∼ 30 MHz ¥3,031,950 Opt. 020 周波数範囲 20 Hz ∼ 20 MHz ¥2,509,200 Opt. 010 周波数範囲 20 Hz ∼ 10 MHz ¥2,195,550 E4991B インピーダンス・アナライザ、1MHz∼500MHz/1GHz/3GHz インピーダンスおよび材料測定の トータルソリューションを提供 RF帯での確度を追求した RF-IV法採用、確度保証 基本確度：0.65％（E4991A比20% 改善） 低損失キャパシタを使用した校正で高Q測定にも対応 従来のアクセサリを継承：7mmコネクタ 高速測定 E4991A比で3倍高速、 トレースノイズ1/2 4トレース／チャネル、4チャネル同時使用可能 使いやすい新プラットフォーム 10.4インチ、タッチスクリーン・ディスプレイ 前面に2、背面に4個のUSB I/F 小型 奥行約30cm のコンパクト設計 仕 様 1 MHz ∼ 5000 MHz、1GHz、3GHz 周波数 出力信号レベル Open 時 4.47 mV – 0.502 V @ all frequency Short 時 0.0894mA – 10mA @ all frequency 測定範囲 120 m Ω ∼ 52 k Ω 測定点数 2 ∼ 1601 点 校正機能 オープン／ショート／ 50Ω／低損失キャパシタ 補正機能 オープン／ショート、フィクスチャ電気長補正 オーダー情報 E4991B RF インピーダンス・アナライザ Opt. 300 周波数範囲 1 MHz ∼ 3 GHz ¥5,750,250 ¥262,305 Opt. 100 周波数範囲 1 MHz ∼ 1 GHz ¥4,913,850 Opt. 050 周波数範囲 1 MHz ∼ 500 MHz ¥3,868,350 Opt. 001 DC バイアス機能追加 ¥314,250 Opt. 002 材料測定機能追加 ¥523,750 Opt. 007 耐熱テストキット ¥733,250 インピーダンス測定のすすめ インピーダンスにより、LCR 部品の実動作状態での特性、材料評価、半導体プロセス、構造評価が可能。 − 20Hz∼3GHzと8桁周波数の広い範囲で評価 − シミュレーションへの活用 ⇒ 広いインピーダンス測定範囲が必要 ⇒ DCバイアス特性など様々な条件でのデータ必要 ⇒ 高確度測定必要 治具誤差補正も重要 結 論： DUT の真の特性把握は高確度、広測定範囲のインピーダンス・アナライザのみが実現 10% 測定確度範囲比較 100 M 10 M 1M 100 k 新E4990A （オート・バランス・ブリッジ法） 1 −− Z ＝ω C インピーダンス［Ω］ 10 k 新E4991B 1k （RF IV法） 100 10 ネットワーク・アナライザ （反射係数法） 1 100 m 100 KHz 1 MHz 10 MHz 100 MHz 1 GHz E4980A 周波数 [Hz] テスト・アクセサリ／フィクスチャ E4990A 10 KHz E4991B 1 KHz E4982A 100 Hz E4981A 1m 10 Hz 16034E SMD／チップ・テスト・フィクスチャ DC∼40 MHz ¥172,118 ● ● ● 16034G SMD／チップ・テスト・フィクスチャ （小型SMD用） DC∼120 MHz ¥211,999 ● ● ● 16034H SMD／チップ・テスト・フィクスチャ （アレイ部品タイプ） DC∼120 MHz ¥211,999 ● ● ● 16044A 4端子接触SMD／SMD／チップ・テスト・フィクスチャ DC∼10 MHz ¥329,125 ● ● ● 16047A 4端子接続アキシュアル／ラジアル・リード・テスト・フィクスチャ DC∼13 MHz ¥55,044 ● ● ● 16047E アキシュアル／ラジアル・リード・テスト・フィクスチャ DC∼120 MHz ¥150,498 ● ● ● 16048A 1 mのテストリード（BNC） DC∼30 MHz ¥65,080 ● ● 16048D 2 mのテストリード（BNC） DC∼30 MHz ¥83,041 ● ● 16048E 4 mのテストリード（BNC） DC∼1 MHz 16048G 1 mのテストリード（BNC） DC∼120 MHz ¥160,783 ● 16048H 2 mのテストリード（BNC） DC∼120 MHz ¥187,231 ● 16065A 外部電圧バイアス・フィクスチャ （安全カバー付き、≦200 V DC） 50 Hz∼2 MHz 16065C 外部電圧バイアス・フィクスチャ （≦40 V DC） 50 Hz∼1 Hz E4990A with 42942A Z ＝ ωL 10 m 16047E 16197A ¥83,041 ● ¥194,577 ● ● ¥98,149 ● 16453A ● 16089A/B/C/D/E ケルピン・クリップリード 5 Hz∼100 kHz ¥78,498 ∼ ● ● 16092A RFスプリング・クリップ・テスト・フィクスチャ、SMDおよびリード DC∼500 MHz ¥235,928 ● 1 ● 1 ● 2 ● ● 16192A 平行電極SMDテスト・フィクスチャ DC∼2 GHz ¥323,303 ● 1 ● 1 ● 2 ● ● 16194A 耐熱テスト・フィクスチャ、SMDおよびリード DC∼2 GHz ¥429,370 ● 1 ● 1 ● 2 ● ● 16196A/B/C/D 平行電極SMDテスト・フィクスチャ DC∼3 GHz ¥710,659 ∼ ● 1 ● 1 ● 2 ● ● 16197A 底面電極SMDテスト・フィクスチャ DC∼3 GHz ¥592,521 ● 1 ● 1 ● 2 ● ● 16200B 外部DCバイアス・アダプタ 1 MHz∼1 GHz ¥657,202 16334A SMD／チップ部品用ピンセット型テスト・フィクスチャ DC∼15 MHz ¥101,741 ● ● 16451B 誘電体材料テスト・フィクスチャ 5 Hz∼30 MHz 16452A 液体材料テスト・フィクスチャ 20 Hz∼30 MHz 16453A 誘電体材料テスト・フィクスチャ 1 MHz∼1 GHz ¥866,073 ● 16454A 磁性体材料テスト・フィクスチャ 1 kHz∼1 GHz ¥649,660 ● 42941A インピーダンス・プローブ・キット DC∼120 MHz ¥491,068 ● 42942A 4端子対構造から7 mm端子への変換用アダプタ DC∼120 MHz ¥332,058 ● ● ●2 ● ● ● ¥612,473 ● ● ● ¥1,297,152 ● ● 注記：周波数及び使用時の詳細情報については、インピーダンス・アクセサリ・ガイド（part number 5965-4792JA）を参照ください。 1：16085B との併用した場合に互換性があります。 2：3.5mm から 7mm への変換アダプタが必要です。 ● contact_ japan@agilent.com www.agilent.co.jp 価格は 2014 年 6 月のもので、消費税は含まれておりません。 お問い合わせ先 ©Agilent Technologies. Inc. 2014 Published in Japan, May 21. 2014 5991-4652JAJP 0000-08CS
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