全自動ウェーハマウンター 概要 ダイシング前工程として、専用フレームへのウェーハマウントを全自動で行う装置です。 装置サイズは世界最小で真空チャンバーの採用により、極薄ウェーハ(厚み:175μm/Φ8インチ) にも対応できます。 特長 ●世界最小サイズのΦ4・5・6・8インチ対応の全自動ウェーハマウンターです。 ●テープにウェーハを真空中で貼付けますので、気泡の発生が無く、貼付けローラーの荷重も少なくてすみ、 ウェーハダメージを与えません。 ●特殊テーブルの使用により、外周3mmを除くウェーハ表面は完全にノーコンタクトで、且つ、吸着による ウェーハ固定を行いませんので、ウェーハへダメージを与えません。 ●専用フレームにテープを貼付けるステージとテープにウェーハを貼付けるステージを別に設けていますので、 テープの使用量が低減され、且つ、どの様なテープにも対応が出来ます。 ●操作は見やすいタッチパネル式で、トラブル時の状況も表示します。 ●非接触オリフラ合わせを標準装備しています。 オプション ●IDリーダー・バーコードシステムの装置内蔵 ●ウェーハマウント用ヒーターユニット ●SECS等各種通信システムに対応 ●その他特別仕様にも対応 化合物(割れ・カケ)・ガラスウェーハ・BGA基板にも 姉妹機種にて、対応できます。〉 仕 様 ATM-8200 スループット 95枚/h(ご使用条件により異なります) 対応ウェーハサイズ 4インチ、5インチ、6インチ、8インチ 使用フレーム 2―6―1、2―8―1 使用テープ幅 6インチ:幅 230mm 8インチ:幅 300mm ウェーハ貼付精度 ユーティリティ X・Y方向±0.5mm θ方向±0.5°以内(フレーム位置決めに対して) 電 源 AC100V 単相 50/60Hz 2.0KVA 空 気 源 圧力 0.5Mpa 300Nl/min 真 空 源 コンバム使用 装置寸法 D 1,150 × W 1,326 × H 1,800mm 重 量 700kg ※ 外観・仕様は改良の為、予告なく変更する場合があります。 本 社/〒634-8580 奈良県橿原市新堂町313-1 九州営業所/〒869-1101 熊本県菊池郡菊陽町津久礼字平の上65 TEL.0744-24-6608 FAX.0744-24-8352 TEL.096-232-2700 FAX.096-232-2891 URL http://www.takatori-g.co.jp E-mail info@takatori-g.co.jp 2001.11改
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