カタログ - 日本ピラー工業

ACCUMULATOR
for
CMP
SLURRY
PCスラリーポンプ_F 2016.3.29 16:47 ページ 1
1 液が滞留なくスムーズに流れる流路設計で、ポンプ内部での液溜りが殆どありません。
2 シリカ系スラリーはもちろん、沈降速度が速いメタル系スラリーにも適応します。
3 長年培ってきた経験に基づいて社内製作した耐久性・信頼性に優れたベローズを採用しています。
4 接液部は、ふっ素樹脂を使用しているため、非常にクリーンです。
5 専用アキュームレータとの組合わせで、スラリーの低脈動吐出が可能です。
原液タンクや混合槽からスラリー液をCMP装置へ移送する際のポンプとして。
スラリー沈降防止のためのスラリー液常時循環用ポンプとして。
PPLC 0037F
PUMP
&
スラリー液の移送、循環に最適です。
PCスラリーポンプ_F 2016.3.29 16:47 ページ 2
適用流体は、シリカ、アルミナ、セリウムなどCMPプロセスに使用されるスラリー液です。Cu配線CMP用のスラリー液、CMPプロセス用途以外のスラリー液については、別途ご相談ください。
Fluid : For silica, alumina, ceria slurry of CMP process.
ポ ン プ 形 式 Type
ポンプ接続口径 ㎜ Pump connections
ポンプ接続口 PC−10MB
PC−20MB
PC−40MB
IN φ19 / OUT φ12
IN φ25 / OUT φ19
IN φ11/2" / OUT φ25
SUPER 300 TYPE ピラーフィッティング または SUPER TYPE ピラーフィッティング
Pump connectors
12
24
48
使用液温度 ℃ Operating temp.
10∼40
41∼70
71∼100
10∼40
41∼70
71∼100
10∼40
41∼70
71∼100
供給空気圧力 MPaG Supply air pressure
0.
2∼0.
5
0.
2∼0.
4
0.
2∼0.
3
0.
2∼0.
5
0.
2∼0.
4
0.
2∼0.
3
0.
2∼0.
5
0.
2∼0.
4
0.
2∼0.
3
最大吐出圧力 MPaG Max discharge pressure
0.
45
0.
35
0.
25
0.
45
0.
35
0.
25
0.
45
0.
35
0.
25
ポンプベローズ許容差圧 MPa 0.
3
0.
25
0.
2
0.
3
0.
25
0.
2
0.
3
0.
25
0.
2
Allowable differential Pressure of Bellows
0.
12
0.
24
0.
48
25 ∼ 110
55 ∼ 250
100 ∼ 350
※1
ポンプ雰囲気温度 ℃ Temperature in atmosphere
10 ∼ 50
供給空気接続口径 Air source connection
2−Rc1/4"
2−Rc3/8"
約 10
約 18
約 38
148L ×202W ×271H
192L ×245W ×293H
255L ×315W ×338H
質 量 Weight ㎏
ポンプ外形寸法(除配管) ㎜ Pump size
※2
2−Rc1/2"
★このポンプの性能を得るには、上記ポンプ接続口径の配管が必要です。また、ポンプI
N側の液配管距離は必ず2m以内で施工してください。★Different size of pump connections may vary the above figure. The
length of the suction pipe does not exceed 2m.
★ポンプ接続口は継手の種類によって形式が異なりますので、ご注文の際には必ずご指示ください。★Specify type of end connection when ordering.
★使用流体が有機液などにより、防爆処理が必要な場合は、防爆仕様センサ付ポンプがありますので別途ご相談ください。★We have also explosionproof sensor type pumps that are suitable for pumping an explosive organic solution.
★PC-40MBのI
N側接続口は、フランジタイプもございますのでご相談ください。★Flange type is also available about the suction connection of PC-40MB pump.
★配管条件によってはごく稀にポンプ吐出量が少なくなる場合があります。ご検討の際は別途ご相談ください。★PC-Pump can not be achieved the specified discharge rate rarely if you use special piping design. Contact us.
★下記アキュームレータとセットでご使用の場合はポンプ形式が異なりますので、ご注文の際はご注意ください。★At time of order, please note that the pump model is defferent if you use the pumps together with accumulators mentioned below.
※1)数値は標準ストローク時の値であり参考値です。ストロークスピードは必ず100spm以内でご使用下さい。※1)The value applies when the standard stroke is selected. Be sure to run the pump at a pumping speed of 100spm or lower.
※2)ポンプ外径寸法(鋳物寸法)はJIS規格公差内での設計であり参考値です。※2)The reference value of the pump size (cast metal size) is designed under the JIS standard tolerance.
スラリーポンプPCシリーズでスムーズな液の流れが必要な場合は、
このオートアキュームレータPA‐Cシリーズと組合せてご使用ください。
スラリーポンプPCシリーズにオートアキュームレータPA‐Cシリーズを接続した際の脈動圧力変動範囲
(Pulsation pressure range)
●
ポンプ吐出圧力0.
1MPaG以上の時、吐出圧力の±12.
5%以内
●
ポンプ吐出圧力0.
1MPaG未満の時、
0.
04MPa以内
Within ±12.5% of the pump discharge pressure when the pressure is over 0.1MPaG.
Less than 0.04MPa when pump discharge pressure is under 0.1MPaG.
オートアキュームレータ形式 Type
PA−C10MB
適用ポンプ Applicable pumps
オートアキュームレータ接続口径 オートアキュームレータ接続口 Accumulator connections
PC−10MB
PC−20MB
PC−40MB
IN φ25 / OUT φ19
IN φ25 / OUT φ25
SUPER 300 TYPE ピラーフィッティング または SUPER TYPE ピラーフィッティング
Accumulator connectors
Rc1/4"
Rc1/4"
約8
約 14
約 28
148L ×202W ×286H
192L ×245W ×322H
255L ×315W ×350H
質 量 Weight ㎏
Accumulator size
PA−C 40MB
IN φ19 / OUT φ12
供給空気接続口径 Air source connection
アキュームレータ外形寸法(除配管)㎜
PA−C 20MB
※2
Rc1/4"
※2)ポンプ外径寸法(鋳物寸法)はJIS規格公差内での設計であり参考値です。※2)The reference value of the pump size (cast metal size) is designed under the JIS standard tolerance.
※このカタログは予告なく変更することがありますのでご了承ください。
※このカタログに記載している数値は参考値であり、保証値ではありません。
※本文中の「スーパー300タイプピラーフィッティング」
「スーパータイプピ
ラーフィッティング」は日本ピラー工業(株)の登録商標です。
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ご注意
●ご使用の際には、安全に十分ご留意の上
正しくお 使 いくだ さ い 。
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◆関連会社◆
関東ピラーエンジニアリングサービス㈱
東 京 ピ ラ ー ㈱
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北 陸 ピ ラ ー ㈱
市 原
川 崎
名古屋
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CAT. No.410004F 1604(Kc)1