スペラ 300 べローズポンプ R 低脈圧ポンプ PTFE Bellows Pump with No pulsation. 別途ダンパーの設置は不要、 また接液部はすべてふっ素樹脂製のクリーンなポンプです。 ▲ 洗浄装置循環ライン用 For Cleaning equipment 高温用 PS-E series PS-E series For Medium Temp. For High Temp. ▲ 薬液供給ライン用 For Chemical supply system 中温用 PS series SPELA R For Medium Temp. 300 BELLOWS PUMP 中温用 ▲ 洗浄装置循環ライン用 (プラスチックタイプ) For Cleaning equipment, Plastic type 中温用 PS-EN series For Medium Temp. PPLC 0902E スペラ300べローズポンプの特長 T 1 IN PO T 2 IN PO 低脈圧 ダンパー別途設置不要! ! ポンプ単体で脈圧を抑える事ができ、低脈圧を実現! 液の流れがスムーズ! ダンパー別途設置不要につき、 コンパクトな設計が可能。 <平面図> スペラ300 ■脈圧曲線 PS-E,PS,PS-ENシリーズ 3 スペラ300 フッ トプリント 比率 低脈圧ポンプ 0.7 PS-20MA フッ トプリント 比率 低コスト 1 ダンパー別途設置不要で、コストダウン設計に貢献。 T 4 IN PO 0.5 PS-E20MA 吐出圧力 MPaG T IN フッ トプリント 比率 低脈圧ポンプ 従来型 経過時間 PO 省スペース化 高品質 従来品 T 5 IN べローズ ■屈曲部分形状 R形状型 べローズ素材に優れたふっ素 樹脂を用い、応力分散に適し たR形状型を採用する事で、長 寿命化を実現。 特殊加工でR形状を形成し 応力分散 PO 〔ポンプ〕 PE-20MA + 〔ダンパー〕 PA-20HB スッキリ配管 従来のようなポンプ・ダンパー間の 配管不要! よりコンパクトに!より簡潔に! 脈圧低減システム スペラ300べローズポンプ内にダンパー機能を組み込んだ構造により、 ポンプ1台で脈圧を低減できます。 ダンパー機能 ポンプ機能 ●接液部はすべて耐薬品性に優れたふっ素樹脂(PTFE・PFA)を使用しています。 1 ポンプ、継手、バルブなど、半導体・液晶工場内で ピラー製品は幅広く使用されています。 PWシリーズ定量ポンプ クリーンルーム階 洗浄装置 P V スペラ300ベローズポンプ (PS-Eシリーズ) 薬液槽 洗浄槽 フィルタ V P V 薬液供給階 スペラベローズポンプ 薬液供給装置 V P フィルタ V 薬液タンク V スペラ300ベローズポンプ (PSシリーズ) V →バルブ 配管には、継手・チューブが 多数使用されています。 スペラベローズポンプ 一例) ピラーストップバルブ タンクローリー スーパー300タイプ ピラーフィッティング ラインナップ タイプ Type Line up 使用温度 (℃) Operating Temperature 最大供給 吐出量 /min 空気圧力 Discharge Capacity (MPaG) Max.Supply 2 10 20 40 主な用途 Application Air Pressure Circulating Pump 供給ポンプ Supply Pump プラスチックポンプ Plastic Pump PS-Eシリーズ PSシリーズ PS-ENシリーズ 掲載ページ Page 中温 10∼100 0.4 中温 10∼100 0.3 ○ ○ ○ Cleaning equipment 高温 10∼180 High 0.3 ○ ○ ○ Cleaning equipment for high temp. 中温 10∼100 0.5 ○ ○ ○ Chemical supply system 薬液供給ライン 7 中温 10∼100 0.3 ○ 洗浄装置循環ライン 9 Medium 循環ポンプ 備考 Remarks Medium Medium Medium 枚葉洗浄ライン ○ Single water processing cleaner 3 洗浄装置循環ライン ※ 高温洗浄装置循環ライン Cleaning equipment ※PS-E40H: 10∼160℃ 5 2 SPELA 300 BELLOWS PUMP R 性能曲線 PERFORMANCE CURVE ・PS-E2MA・ φ4×φ3×2M 吸込側 φ10×φ8×2M (揚程0. 5M) 吐出側 φ6×φ4 φ4×φ3×2M 吸込側 φ10×φ8×2M (揚程0. 5M) 吐出側 φ6×φ4 0.4 70 0.4 70 0.35 60 0.35 60 0.3 50 0.3 0.25 40 0.2 30 0.15 20 0.1 10 0.05 0 0 0.5 1 1.5 2 2.5 0 3 50 0.25 40 0.2 30 0.15 20 0.1 10 0.05 0 0 1 2 3 0 4 ・PS-E10MA・ φ6×φ4×2M 吸込側 φ19×φ15. 8×2M (揚程0. 5M) 吐出側 φ12×φ10 φ6×φ4×2M 80 0.3 70 0.25 60 0.2 0.15 0 5 10 15 70 60 40 0.15 40 0.1 30 10 0 80 0.25 50 20 0.05 0.3 0.2 30 0.1 吸込側 φ19×φ15. 8×2M (揚程0. 5M) 吐出側 φ12×φ10 0 50 20 0.05 10 0 0 5 10 15 0 ・PS-E20MA・ φ8×φ6×2M 吸込側 φ19×φ15. 8×2M (揚程0. 5M) 吐出側 φ19×φ15. 8 0.3 0.25 φ8×φ6×2M 140 0.3 140 120 0.25 120 0.2 100 100 0.2 80 0.15 60 0.1 40 0.05 0 20 0 5 10 15 20 吸込側 φ19×φ15. 8×2M (揚程0. 5M) 吐出側 φ19×φ15. 8 25 0 80 0.15 60 0.1 40 0.05 20 0 0 5 10 15 20 25 0 ・PS-E40MA・ φ12×φ10×2M 吸込側 φ25×φ22×2M (揚程0. 5M) 吐出側 φ25×φ22 φ12×φ10×2M 吸込側 φ25×φ22×2M (揚程0. 5M) 吐出側 φ25×φ22 0.3 300 0.3 300 0.25 250 0.25 250 0.2 200 0.2 200 0.15 150 0.15 150 0.1 100 0.1 100 50 0.05 0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 0 0.05 0 50 5 10 15 20 25 30 35 40 45 0 4 SPELA 300 BELLOWS PUMP R 性能曲線 PERFORMANCE CURVE 流体:エチレングリコール φ6×φ4×2M 流体:エチレングリコール ETHYLENE GLYCOL 吸込側 φ19×φ15. 8×2M 吐出側 φ1/2″ ×φ3/8″ 80 0.3 70 0.25 60 φ6×φ4×2M ETHYLENE GLYCOL 吸込側 φ19×φ15. 8×2M 吐出側 φ1/2″ ×φ3/8″ 0.3 80 0.25 70 60 0.2 50 0.2 0.15 40 0.15 40 0.1 30 30 0.1 20 0.05 0 10 0 5 10 15 0 50 20 0.05 0 10 0 5 10 15 流体:エチレングリコール φ8×φ6×2M 流体:エチレングリコール ETHYLENE GLYCOL 吸込側 φ19×φ15. 8×2M 吐出側 φ19×φ15. 8 0 φ8×φ6×2M ETHYLENE GLYCOL 吸込側 φ19×φ15. 8×2M 吐出側 φ19×φ15. 8 0.3 120 0.3 120 0.25 100 0.25 100 0.2 80 0.2 80 0.15 60 0.15 60 0.1 40 0.1 40 0.05 20 0.05 20 0 0 5 10 15 20 25 0 0 0 5 10 15 20 流体:エチレングリコール φ12×φ9×2M 25 0 流体:エチレングリコール ETHYLENE GLYCOL 吸込側 φ11/4″ ×φ11/10″ ×2M 吐出側 φ1″ ×φ7/8″ φ12×φ9×2M ETHYLENE GLYCOL 吸込側 φ11/4″ ×φ11/10″ ×2M 吐出側 φ1″ ×φ7/8″ 0.3 300 0.3 300 0.25 250 0.25 250 0.2 200 0.2 200 0.15 150 0.15 150 0.1 100 0.1 100 50 0.05 0 0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 0 50 0.05 0 0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 0 6 PS シリーズ series 中温用 For Medium Temp. ▲ 薬液供給ライン用 For Chemical supply system ■低脈圧で液の流れがスムーズ。 Minimized pulsation. ■コンパクト。PEシリーズポンプ+アキュームレータ比約2/3に低減。 Spece saving design. 寸法 DIMENSIONS ※2 D H C E F G J K L M 435 99 210 233 236 ー 218 193 148 197 198 157 83 Rc1/4" 4-M8 Rc1/4" PS-20MA 480 121 226 289 291 ー 261 236.4 192 251 254 201 105 Rc3/8" 4-M10 Rc1/4" ー 383 335 300 255 326 328 264 136.5 Rc1/2" 4-M12 Rc1/4" ー ー 335 300 255 326 328 264 136.5 Rc1/2" 4-M12 Rc1/4" IN側 フランジ 544 164 出し IN側 継手 544 164 出し 266 ー 266 389 STRUCTURAL CHART PS-10MA,PS-20MA,PS-40MA(IN側継手出し) PS-40MA(IN側フランジ出し) OUT OUT 2-N (空気供給口) Air Connection K EXH K J J (H) IN INT (H) IN 33 C (B) A 2-L (空気供給口) Air Connection 仕様 SPECIFICATIONS Discharge quantity per stroke E 7 J N PS-10MA PS40MA 構造図 FLANGE ※1 ※2 G F E (D) M (D) G F E M SPELA 300 BELLOWS PUMP R 性能曲線 PERFORMANCE CURVE ・PS-10MA・ φ6×φ4×2M 0.5 0.45 0.4 0.35 0.3 0.25 0.2 0.15 0.1 0.05 0 φ6×φ4×2M 吸込側 φ19×φ15. 8×2M (揚程0. 5M) 吐出側 φ12×φ10 150 120 90 60 30 0 2 4 6 8 10 0 0.5 0.45 0.4 0.35 0.3 0.25 0.2 0.15 0.1 0.05 0 吸込側 φ19×φ15. 8×2M (揚程0. 5M) 吐出側 φ12×φ10 150 120 90 60 30 0 2 4 6 8 10 0 ・PS-20MA・ φ8×φ6×2M 0.5 0.45 0.4 0.35 0.3 0.25 0.2 0.15 0.1 0.05 0 吸込側 φ25×φ22×2M (揚程0. 5M) 吐出側 φ19×φ15. 8 φ8×φ6×2M 300 250 200 150 100 50 0 5 10 15 20 0 0.5 0.45 0.4 0.35 0.3 0.25 0.2 0.15 0.1 0.05 0 吸込側 φ25×φ22×2M (揚程0. 5M) 吐出側 φ19×φ15. 8 300 250 200 150 100 50 0 5 10 15 20 0 ・PS-40MA・ φ12×φ10×2M 0.5 0.45 0.4 0.35 0.3 0.25 0.2 0.15 0.1 0.05 0 吸込側 硬質塩化ビニル管 呼び径32 (揚程0. 5M) 吐出側 φ25×φ22 φ12×φ10×2M 500 400 300 200 100 0 10 20 30 40 0 0.5 0.45 0.4 0.35 0.3 0.25 0.2 0.15 0.1 0.05 0 吸込側 硬質塩化ビニル管 呼び径32 (揚程0. 5M) 吐出側 φ25×φ22 500 400 300 200 100 0 10 20 30 40 0 8 PS-EN20M 中温用 For Medium Temp. ▲ 洗浄装置循環ライン用 (プラスチックタイプ) For Cleaning equipment, Plastic type ■プラスチックタイプの低脈圧ポンプ。 Plastic type pump with no pulsation. ■PS-Eシリーズよりもコンパクト。 More compact than PS-E series pump. 寸法 DIMENSIONS D A B C PS-EN20M 320 294 157.7 構造図 E 220 220 F G H J K L 170 66 170 120.3 49.5 Rc1/4" 4-φ12 Rc1/4" STRUCTURAL CHART 2-M (空気供給口) Air Connection 2-K (空気供給口) Air Connection OUT (G) INT H EXH J IN C B A 仕様 SPECIFICATIONS Discharge quantity per stroke E 9 G ※1 M (D) F E L SPELA 300 BELLOWS PUMP R ■低脈圧(PS-Eシリーズと同等以上の脈動圧力範囲±22.0%以内)で液の流れがスムーズ。 ■現行品PE、PS-Eシリーズより更にコンパクト化を実現。 ポンプ外形寸法〔W × L × H〕 (20Lポンプ比較・除く配管部) 現行品 PEシリーズ PS-Eシリーズ 324 × 184 × 187 (フットプリント約596cm2) W L H 373 × 176 × 181 (フットプリント約656cm2) プラスチックタイプ PS-ENシリーズ 320W × 170 L × 170 H(フットプリント約544cm2) W L H ・PE比 …… 9%減 ・PS-E比 … 17%減 ■現行品PS-Eシリーズより約25%軽量化を計りメンテナンス性向上。 ■ポンプ外観部及び一部を除く内部部品は全てプラスチック。接液部は全てふっ素樹脂。 ■ファイバセンサ使用につき、標準品で防爆雰囲気での使用が可能。 ・標準品はファイバセンサタイプです。近接センサタイプについては別途ご相談ください。 性能曲線 PERFORMANCE CURVE ・PS-EN20M・ φ8×φ6×2M 吸込側 φ19×φ16×2M (揚程0. 5M) 吐出側 φ19×φ16 0.3 0.25 φ8×φ6×2M 140 0.3 140 120 0.25 120 100 0.2 80 0.15 60 0.1 40 0.05 20 0 0 5 10 15 20 吸込側 φ19×φ16×2M (揚程0. 5M) 吐出側 φ19×φ16 25 0 100 0.2 80 0.15 60 0.1 40 0.05 0 20 0 5 10 15 20 25 0 10 PB-12 ■本社・営業本部 〒532-0022 大 阪 市 淀 川 区 野 中 南 2 丁目1 1 番 4 8 号 TEL:06 (6305) 1941 FAX:06 (6305) 0606 ■三 田 工 場 〒669-1333 兵庫県三田市下内神字打場541番1号 TEL:079 (567) 2121 FAX:079 (567) 1624 ■福知山事業所 〒620-0853 京都府福知山市長田野町2丁目66番地の3 TEL:0773 (27) 7871 FAX:0773 (27) 7870 ■九 州 工 場 〒861-1116 熊 本 県 合 志 市 福 原 1 番 地 2 5 TEL:096 (292) 4511 FAX:096 (292) 4521 ■東 京 支 店 〒100-0011 東 京 都 千 代 田 区 内 幸 町 2 丁目2 番 2 号 (富国生命ビル13階) TEL:03 (3508) 1611 FAX:03 (3508) 1881 ■横 浜 支 店 〒231-0012 横浜市中区相生町6丁目113番地 (オーク桜木町ビル8階) TEL:045 (201) 1361 FAX:045 (201) 1391 Head Office : 11-48, Nonakaminami 2 Chome, Yodogawa-ku, Osaka, 532-0022 Japan. Tel : 81-(0)6-6305-2821 Fax : 81-(0)6-6302-3300 E-mail : info@pillar.co.jp Nippon Pillar Corporation of America (Houston Office) : 6630 Roxburgh Drive, Suite 171, Houston, TX 77041, USA. Tel : U.S.A(1)281-529-6367 Fax : U.S.A(1)281-529-6380 URL : http://www.nipponpillar.com/ E-mail : sales@nipponpillar.com Nippon Pillar Corporation of America (Fremont Office) : 48521 Warm Springs Boulevard. Suite 317 Fremont, CA 94539, USA. Tel : U.S.A(1)510-573-6146 Fax : U.S.A(1)510-573-6236 URL : http://www.nipponpillar.com/ E-mail : sales@nipponpillar.com ■大 阪 支 店 〒532-0022 大 阪 市 淀 川 区 野 中 南 2 丁目1 1 番 4 8 号 TEL:06 (6302) 5201 FAX:06 (6305) 0373 Nippon Pillar Singapore Pte, Ltd. : No.237 Pandan Loop #03-01 Westech Building, Singapore 128424 Tel : (65) 6861-7138 Fax : (65) 6862-9098 E-mail : npillars@singnet.com.sg ■神 戸 支 店 〒673-0898 兵 庫 県 明 石 市 樽 屋 町 1 番 2 9 (日工住友生命ビル9階) TEL:078 (914) 6654 FAX:078 (914) 6643 Taiwan Pillar Industry Co.,Ltd. : 8F., No.45, SEC.1, MINQUAN E. RD., ZHONGSHAN DIST., TAIPEI CITY., 10452, TAIWAN. Tel : TAIPEI(886) 2-2587-1911 Fax : TAIPEI(886) 2-2585-3131 URL : http://www.taiwanpillar.com.tw/ E-mail : sales@taiwanpillar.com.tw Shanghai Pillar Trading Co.,Ltd. : Far East International Plaza A-1111, No.319, Xianxia Road, Changning District, Shanghai China.(200051) Tel : CHINA(86) 21-6208-7711 Fax : CHINA(86) 21-6235-0501 URL : http://www.pillar-cn.com/ E-mail : sales@sh.pillar-cn.com ■名古屋支店 〒461-0005 名古屋市東区東桜1丁目4番13号 (アイ高岳ビル9階) TEL:052 (962) 7861 FAX:052 (961) 5934 ■京 都 支 店 〒600-8482 京都市下京区堀川通り綾小路下る綾堀川町 293番1 (堀川通り四条ビル5階) TEL:075 (353) 4335 FAX:075 (353) 4336 ■広 島 支 店 〒732-0827 広 島 市 南 区 稲 荷 町 4 番 1 号 (住友生命広島ビル4階) TEL:082 (568) 2541 FAX:082 (262) 6685 ■九 州 支 店 〒861-1116 熊 本 県 合 志 市 福 原 1 番 地 2 5 TEL:096 (292) 4511 FAX:096 (292) 4521 CAT. No.400901F 1606(M) W16G013
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