分析事例C0197 2010/10/27 2016/08/10 粘着テープの残渣評価 TOF-SIMSにより表面付着物成分を同定します 測定法 :TOF-SIMS 製品分野 :日用品 分析目的 :組成評価・同定・化学結合状態評価・組成分布評価・安全性試験 概要 粘着テープの残渣は、製造工程において密着不良・剥離の原因となります。不良の原因として残渣が疑 われる場合、表面付着物の成分とその分布を調べることができるTOF-SIMSが有効です。 粘着テープをSiウエハ表面に張り、剥がした後のSiウエハ表面および粘着テープの表面をTOF-SIMSで 測定した事例をご紹介します。 データ 粘着テープAの表面に存在するBa(安定剤由来)が、Siウエハ表面に付着物として残っている様子が確 認されました(図1)。 貼り付けるテープの種類を変えたところ、粘着テープBではジオクチルフタル酸(可塑剤DOP由来)が、 粘着テープCではアセチルクエン酸トリブチル(可塑剤ATBC由来)がSi表面から検出されました(図2)。 <模式図> 粘着テープ Siウエハ 391(C24H 39O4) このように、TOF-SIMSでは有機材料の成分とその分布を評価することができるため、残渣がどの工程 で生じたものか、何に由来したのかを調べることが可能です。 3.0E3 2.5E3 <063534R003> 粘着テープBの転写物 粘着テープA Intensity 2.0E3 粘着テープA O 1.5E3 OC8H17 OC8H17 1000 O 500 粘着テープAの転写物 Intensity 2.5E3 H2C COOC4H9 CH3COO C COOC4H9 2.0E3 H2C COOC4H9 387( C19H 31O 8) Baのイメージ 測定面 <063534R005> 粘着テープCの転写物 3.0E3 1.5E3 1000 粘着テープAに接触した Siウエハ 403( C20H35O 8) 測定面 500 Baのイメージ 380 図1 正イオン 粘着テープとSiウエハから検出される Ba(安定剤由来) ※測定面積 500μm角 385 390 395 400 m/z 405 410 415 420 図2 正イオン 粘着テープを接触させて検出される可塑剤 分析サービスで、あなたの研究開発を強力サポート! TEL : 03-3749-2525 E-mail : info@mst.or.jp URL : http://www.mst.or.jp/
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